株式会社日立ハイテク
有価証券報告書－第98期(2016/04/01－2017/03/31)

６【研究開発活動】当社グループは、科学・医用システム、電子デバイスシステム、産業システムの各セグメントで、製品競争力の強化と新製品の開発、新規事業製品の開発に取り組んでおります。これらの活動に係る当連結会計年度の研究開発費は23,581百万円であり、セグメントごとの研究開発成果は、以下の通りであります。科学・医用システム電子顕微鏡を中心とした解析システム製品の分野では、SEM/TEM(SEM:ScanningElectronMicroscope,TEM:TransmissionElectronMicroscope)共にボリュームゾーンへのリーズナブルな新製品投入をすることができました。小型・軽量化を図りながらも、特に低加速領域での分解能を向上したコンパクトSEM「FlexSEM1000」を2016年４月に市場投入し、2017年３月には、直観的な視野探しが可能なImageNavigation機能を搭載しSTEM(ScanningTransmissionElectronMicroscope)やEDX(EnergydispersiveX-rayspectrometry)、トモグラフィーなどの拡充性も備えた「HT7800シリーズ」を発売しました。バイオメディカル分野からナノ材料分野まで幅広い分野での利用が可能です。更に、2017年４月には、断面観察の試料作製に使用するイオンミリング装置の新製品「ArBlade5000」を発売しました。従来モデルで定評のあるハイブリッドミリング機能を装備し、新型アルゴンイオンガン、ワイドエリア断面ミリングホルダの新規開発により、ミリングレートの大幅な向上と広領域の断面試料作製を実現しました。医用システム分野では、従来機と同じ設置面積で約２倍の処理能力と同じく約２倍の同時測定項目数を実現した「cobas8000シリーズ」の免疫自動分析装置「e801」を2016年６月に発売し、海外展開を開始しました。また、日本国内市場向けとして、2004年以来12年ぶりの新型機「LABOSPECT008α」を2016年12月に発売しました。この装置は、従来機と同等の処理能力で微量分注と反応液量低減を実現し、さらに操作部GUI(GraphicalUserInterface)を一新してユーザビリティの向上を図っております。さらには装置から離れた場所でも装置状態をモニタリングできる「LABOSPECTMobile」との接続にも対応しております。遺伝子解析では米国PromegaCorporation(以下、プロメガ社)との小型のキャピラリー電気泳動型シーケンサ分野における事業提携を開始しました。研究現場における簡単かつ手軽な遺伝子解析のニーズに応えるために、当社の装置開発とプロメガ社の試薬開発という両社の強みを生かし、全世界において、少量サンプルでDNAを安価に短時間で解析出来る小型のキャピラリー電気泳動型シーケンサ事業分野にフォーカスしたコラボレーションを展開します。分析計測装置を製造販売している㈱日立ハイテクサイエンスでは、従来から販売しているリチウムバッテリ用X線異物解析装置「EA8000」のインライン化や、環境規制物質(フタル酸エステル)のスクリーニング装置の技術発表に加え、高速液体クロマトグラフィー用データー処理ソフト(Part11対応)や分光光度計の自動XYステージ、自動偏光装置の開発を行い、製品の差別化を強化しました。当セグメントに係る研究開発費は12,696百万円であります。電子デバイスシステムスマートフォン市場、並びにデータセンター向けサーバー市場の成長により、半導体市場はモバイル機器用アプリケーションプロセッサやメモリーが堅調に推移しました。また、IoT(InternetofThings)時代の到来に伴い各種センサ・信号処理チップの生産量が増え、自動車分野では運転支援システムやハイブリッド・電気自動車制御機器用半導体の生産量が増えています。先端ロジックデバイスについては、最先端半導体メーカーと製造受託企業(ファウンドリ)において10nm世代品の量産が始まるとともに７nm品の開発が本格化しました。微細化技術の主流となっているマルチパターニング(Multi-Patterning)技術は第二世代、第三世代へと進み加工プロセスが複雑化し、それに対応したパターン加工技術、計測検査技術が求められています。一方、メモリー(特にNANDフラッシュ)に関しては、構造を３次元化した３D-NANDの生産比率が急速に高まり、メモリーセル積層数がここ数年内に100層を超えると予想されています。積層数の増加に伴い深い構造物の加工、計測検査技術が求められるとともに生産性向上についても根強い要求があります。このようなニーズに応える計測検査技術として、当社は微細パターン測長装置及び欠陥検査装置を事業展開しております。３次元構造デバイス特有の高アスペクト比パターン(溝・穴)に対応した計測技術を新たに開発し、測長装置新機種を市場に投入しました。また、IoT用半導体市場向けには小口径ウェハ用測長装置を、パワーデバイス用にはSiCやGaNウェハで発生した結晶欠陥を顕在化できる新型検査装置を開発しました。また、当社は微細加工のキープロセスの一つであるプラズマエッチング装置事業を展開しており、先端ロジックおよび先端メモリー向けにマイクロ波ECR(ElectronCyclotronResonance)をプラズマ源に用いたエッチング装置を製品化しています。先端デバイスで必要な加工性能と半導体量産工場で重視される高生産性の両立を実現するために、リニア搬送方式プラットフォームに多様なバリエーションのリアクタを搭載できるようにしました。次世代プロセス向けに新たにドライリムービングプロセス用のリアクタの開発を進めています。開発スピードの増す先端半導体において顧客からの技術開発要求はますます高度化しており、それに応えるため国内外の開発体制の整備と強化を図るとともに、顧客とのコラボレーションを通した次世代装置の開発を推進しています。これらの取り組みを通し顧客に対するソリューション提供のスピードアップを図っていきます。当セグメントに係る研究開発費は9,478百万円であります。産業システムファインテックシステム事業は、社会インフラ検査と産業インフラ関連の事業規模拡大を図るべく、新製品の開発を進めています。社会インフラ検査分野では、鉄道検測の新分野製品に加え、画像検査技術を展開した道路やトンネルの検査装置など、事業領域の拡大に注力しています。産業インフラ関連分野では、産業用インクジェット設備や検査技術と自動組立技術を融合した高機能の自動化設備などを新規に開発し、市場に投入してまいります。計装システムでは、DCS(DistributedControlSystem)「EX-N01」のIoT対応として、上位システムとの連携強化を図りました。強化内容は、ロット実績管理、インターロック機能などで、特に医薬向けを意識した機能の拡充を行いました。また、ビックデータ解析ツール「BD-CUBE」の製品化を行い、DCSからのデーターを活用した解析ビジネスの拡大を図ります。計装機器では、差圧・圧力伝送器「N８シリーズ」について、高温・高真空領域が測定可能な高温高真空タイプに、接液部材質タンタルラインナップを加えました。また、国内防爆規格に加え、米国のFM(FactoryMutualResearchCorporation)防爆規格を取得しました。一方、中国対応強化として、超音波流量計、挿入形電磁流量計の計測器中国輸出認証(CPA)を取得しました。分析装置では、微生物迅速検査装置「Lumione」を開発しました。本装置は、ATP(AdenosineTriphosphate)生物発光法と日立独自の解析技術により、製薬用水中の微生物の有無を最速１時間で検出可能となりました。当セグメントに係る研究開発費は1,081百万円であります。全社当社グループでは、更なる新事業創生活動を目的とし、研究開発本部と新事業創生本部を合体し、2016年４月よりイノベーション推進本部を新設しました。これにより、当社グループが注力する事業ドメインにおける戦略的トップダウンテーマと当社従業員からの提案に基づいたボトムアップテーマの事業化の可能性について、オープンイノベーションを活用したマーケティング及びプロジェクトマネジメント機能を強化し推進しております。戦略的トップダウンテーマとしては、脳科学の産業応用事業の開発を推進しております。脳科学の産業応用事業においては、日常環境でも計測可能な脳活動計測装置の展開と、計測にて得られたデータを解析するコンサルテーション事業を推進しております。2016年９月には、携帯型脳活動計測装置「HOT-1000」とスマートフォンを使用し、認知トレーニングへの活用を目的としたシステムを発表いたしました。今までの認知トレーニングは、トレーニングにより個人の脳活動が上昇しているかどうかモニタリングすることなく実施されていましたが、今回のシステムでは、個人に合わせたコンテンツを提供し、よりパーソナライズしたトレーニングを推進します。またコンサルテーション事業では、引続き企業のさまざまなニーズに合わせた評価を支援しています。たとえば、東日本旅客鉄道株式会社とは、脳活動評価手法を用いて実際の新幹線実車の走行中の乗り心地評価を支援し、アンケートとは異なり連続的な乗り心地評価指標を発表しました(第25回交通・物流部門大会2016年12月)。今後も脳活動計測技術を通じて、より日常に近い環境における脳活動の計測手法を企業ニーズに合わせ広めてまいります。本事業等に係る研究開発費は326百万円であります。