株式会社日立ハイテク
有価証券報告書－第97期(2015/04/01－2016/03/31)

６【研究開発活動】当社グループは、電子デバイスシステム、ファインテックシステム、科学・医用システム、産業・ＩＴシステムの各セグメントで、製品競争力の強化と新製品の開発、新規事業製品の開発に取り組んでおります。これらの活動に係る当連結会計年度の研究開発費は20,163百万円であり、セグメントごとの研究開発成果は、以下の通りであります。電子デバイスシステム半導体市場では、PC需要が減少する一方で、サーバー及びスマートフォンが成長したことから、モバイル機器向けのアプリケーションプロセッサ及びメモリー(NAND、DRAM)が堅調でした。先端デバイスにおいては、マルチパターニング(Multi-Patterning)技術による14～16nm世代製品の量産比率が高まるとともに、10nm世代の試作ライン構築及び7nm世代の開発がスタートしました。また、各メモリーメーカーは3D-NANDの量産に注力しています。このように、微細化とともに、ロジック・メモリーとも三次元構造化が進み、最先端のデバイス製造では、工程数増加に対応する高生産性、複雑構造化へ対応した高度な技術、低コストの両立が要求されております。一方、IoT(InternetofThings)に代表されるセンサーやパワーデバイス市場が伸長しており、今後の成長が見込まれています。このようなニーズを支える計測・検査技術として、当社は高精度測長装置及び検査装置を事業展開しております。三次元構造デバイスの高アスペクトな穴・溝構造に対応した計測技術を開発し、新機種を市場に投入しました。また、IoT市場向けに小口径半導体用の計測装置を開発し市場に投入しました。国内外の開発拠点を強化し、次世代向け新製品や、新たな構造に対する検査・計測アプリケーションの開発、IoT市場向けの製品ラインアップ拡充を加速してまいります。また、デバイス製造装置では、当社は微細加工のキープロセスの一つであるプラズマエッチング装置を事業展開しております。エッチング装置では、量産ニーズである高生産性と低コストの両立を実現するために、リニア搬送方式プラットフォームに多様なバリエーションのリアクタを搭載し、性能及び生産性の向上に向けた開発を推進しております。アプリケーション別では、先端ロジック及び先端メモリ向けにマイクロ波ECR(ElectronCyclotronResonance)をプラズマ源にした「Mシリーズ」を、また、不揮発性材料用エッチング装置「Eシリーズ」を磁気ヘッド及び次世代不揮発性メモリの開発・量産装置としてラインアップしております。顧客先開発体制の強化、開発機の拡充によりソリューション提供のスピードアップを図るとともに、外部リソース活用の推進などによりデバイスの微細化・構造の複雑化・新材料に対するプロセスソリューション提案力を強化し、最先端プロセスニーズに対応してまいります。当セグメントに係る研究開発費は7,440百万円であります。ファインテックシステムファインテックシステム事業は、社会インフラ検査と産業インフラ関連を成長分野と位置付け、事業の柱とすべく開発を進めています。社会インフラ検査分野では、鉄道検測に関する新事業に加え、送電線、道路・橋梁など今後ニーズの拡大が予想される社会インフラ検査領域に注力しています。また、産業インフラ関連分野では、産業用インクジェット設備など高機能の自動化設備を開発し、市場に投入してまいります。当セグメントに係る研究開発費は385百万円であります。科学・医用システム電子顕微鏡を中心とした解析システム製品の分野では、三次元構造解析の精度・スループットを向上した、リアルタイム３ＤアナリティカルFIB-SEM複合装置「NX9000」(FIB:FocusedIonBeam,SEM:ScanningElectronMicroscope)を2015年６月に市場投入しました。「NX9000」は、「NX2000」に続く㈱日立ハイテクサイエンスと当社の共同開発製品です。同年９月には、ソフトマテリアルや生体材料など含水率の高い試料について、大気圧下でSEM観察を実現した、卓上大気圧顕微鏡「AeroSurf1500」を市場投入しました。これにより含水試料の煩雑な前処理が不要となり、試料そのままの姿のSEM観察が可能になりました。さらに加速電圧200kVの電界放出形透過電子顕微鏡「HF5000形」を開発しました。球面収差補正器の搭載により、サブÅ(サブオングストローム、0.1nm以下)の空間分解能を実現しており、2016年７月の市場投入を予定しております。医用システムの分野では、2015年６月にドイツのキアゲン社と遺伝子検査事業に関する事業提携を開始しました。両社が保有する独自の強みを活かして遺伝子検査事業に参入し、PCR(polymerasechainreaction)法を用いた全自動遺伝子分析装置や次世代シーケンシング技術を用いた自動化システムの共同開発及び販売提携を展開します。分析計測装置を製造販売している㈱日立ハイテクサイエンスでは、2015年７月に微小粗さ・形状及び膜厚の三次元測定を、非接触・非破壊で行う走査型白色干渉顕微鏡「VS1000シリーズ」を国内市場に投入しました。従来多く利用されている触針式粗さ計・段差計に比べ非接触で高速かつ容易に測定が行えます。また、計測精度と操作性を大きく向上させた走査型プローブ顕微鏡システム「AFM5500M」を2016年３月に市場投入しました。カンチレバー交換や光軸調整を自動化するなど、操作性を大幅に向上させることで、オペレーターの負担を軽減しました。当セグメントに係る研究開発費は10,694百万円であります。産業・ＩＴシステム計装システムでは、DCS(DistributedControlSystem)「EX-N01」のプロセス制御ソフト構築支援ツールとして、会話型エンジニアリングツールによる開発工数削減を目的としたファイルコンペア機能の開発及び機能拡充を行いました。また、海外対応の強化として英語、中文簡体語、韓国語に加え、中文繁体語(台湾)を開発しました。更に、簡易水道向けにクラウド対応可能なオンプレミス型システムの開発を実施しました。品質管理システムにおいては、化学・食品業界向けに「LabDAMS」を開発し、MES(ManufacturingExecutionSystem)との連携機能の開発も実施しました。計装機器では、新型差圧・圧力伝送器N8シリーズの表示部について、現行の横向きに加え、海外では主流の正面向きを開発しました。中国対応強化として伝送器、電磁流量計について計測器中国輸出認証(CPA)を取得しました。当セグメントに係る研究開発費は168百万円であります。全社当社グループでは、新事業創生活動の強化を目的に、2014年４月に新事業創生本部を新設しました。当社グループが注力する事業ドメインにおける戦略的トップダウンテーマと当社グループ従業員からの提案に基づいたボトムアップテーマの事業化可能性について、オープンイノベーションを活用したマーケティング及びプロジェクトマネージメント機能を強化し推進しております。戦略的トップダウンテーマとしては、脳科学の産業応用事業の開発を推進しております。脳科学の産業応用事業においては、日常環境でも計測可能な脳活動計測装置の展開と、計測にて得られたデータを解析するコンサルテーション事業を推進していますが、近赤外光を用いて脳活動を可視化する脳活動計測装置の新製品として、2015年９月に、前額部の血流量変化をリアルタイムに計測し、スマートフォンやタブレットでの脳活動データ活用によるトレーニングアプリケーションの開発を可能にした、携帯型脳活動計測装置「HOT-1000」を開発しました。本製品は、企業・大学の研究及びコンテンツ開発向けに提供を開始し、開発されたコンテンツとともに本製品の市場展開をめざします。さらに、2016年２月に、㈱日立国際八木ソリューションズと共同で、毛髪部位の計測に対応した小型・携帯型脳活動計測装置「WOT-HS」を開発しました。今後は、前額部と側頭部に加え、頭頂部に対応した装置も開発していく予定です。脳活動計測製品を通じて、より日常に近い環境における脳活動の計測手法を多くの研究機関に提供し、脳機能の解明に貢献してまいります。本事業等に係る研究開発費は1,475百万円であります。