Vynález se týká systému pro vytvárení a zpracování svazku cástic, príkladne elektronového mikroskopu, a zejména scintilacního detektoru BSE, který obsahuje sestavu (21) scintilátoru s povrchem (29), který je vystaven dopadajícím elektronum vyzarovaným ze zkoumaného predmetu (35). Povrch (29) smeruje smerem ke zkoumanému predmetu (35). Sestava (21) scintilátoru obsahuje plochu (55) pro výstup svetla vytvoreného elektrony dopadajícími na povrchu (29). Povrch (29) sestavy (21) scintilátoru je umísten blíže povrchu zkoumanému predmetu (35) než se nachází hlavní rovina (67) cocky objektivu (39). Plocha (55) pro výstup svetla se nachází ve vetší vzdálenosti od povrchu zkoumanému predmetu (35) než se nachází hlavní rovina (67) cocky objektivu (39), mereno ve smeru s optickou osou (32) systému. Ve výhodném provedení sestava (21) scintilátoru obsahuje svetlovodné teleso (23), tvaru komolého kužele, které je opatrené osovým pruchozím otvorem (25). Povrch pruchozího otvoru (25) je opatren elektricky vodivou vrstvou. V prostoru mimo magnetickou zaostrovací cocku (41) je umísten alespon jeden svetlovod (57) a fotocitlivý detektor (59). V dalším provedení svetlovodné teleso (23) prstencového tvaru je usporádáno v prostoru pólu (42a, 43a) magnetické zaostrovací cocky (41a), ve které je usporádána Cassagrainova zrcadlová soustava. V dalším provedení sestava (21) scintilátoru je opatrena telesem (87) ze scintilacního materiálu. V dalším provedení sestava (21) scintilátoru je opatrena telesem (87c) ze scintilacního materiálu a vloženým telesem (89) z transparentního materiálu, mezi nimiž je zakrivené rozhraní. V dalším provedení sestava (21) scintilátoru
Output: BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a particle beam forming and processing system, for example an electron microscope, and more particularly to a BSE scintillation detector comprising a scintillator assembly (21) with a surface (29) exposed to the incident electron radiated from the object (35). The surface (29) faces the object to be examined (35). The scintillator assembly (21) comprises a light exit surface (55) formed by electrons incident on the surface (29). The surface (29) of the scintillator assembly (21) is positioned closer to the surface of the object to be examined (35) than the main lens plane (67) of the objective (39). The light exit surface (55) is located at a greater distance from the surface of the object to be examined (35) than the main lens plane (67) of the lens (39), measured in the direction of the optical axis (32) of the system. In a preferred embodiment, the scintillator assembly (21) comprises a frustoconical light guide body (23) provided with an axial through hole (25). The surface of the through hole (25) is provided with an electrically conductive layer. At least one light guide (57) and a photosensitive detector (59) are located in the space outside the magnetic focusing lens (41). In another embodiment, the annular light guide body (23) is disposed in the pole (42a, 43a) of the magnetic focusing lens (41a) in which the Cassagrain mirror system is arranged. In another embodiment, the scintillator assembly (21) is provided with a body (87) of scintillation material. In another embodiment, the scintillator assembly (21) is provided with a body (87c) of scintillator material and an intermediate body (89) of transparent material, between which is a curved interface. In another embodiment, the scintillator assembly (21)