De este matrimonio nacieron cuatro hijos: Ana, casada con Carlos de Goyeneche, diplomático (hijo de los condes de Guaqui); Federico Carlos, conde de San Mateo de Valparaíso, abogado y diplomático, casado con Mercedes Pidal (hija del político conservador Alejandro Pidal); Álvaro, marqués del Castañar, diplomático, casado con Liselotte-Ysabel de Pfefferle; y Alfonso Silvela y de la Viesca.