El relieve es muy diverso y por lo general ondulado, se encuentran mesetas que configuran cuencas endorreicas con lagos y lagunas (casi todos ellos salinos o alcalinos) y extensos salares como los de Atacama, Antofalla, Pocitos, Pastos Grandes, Arizaro, de Incahuasi y Hombre Muerto, así como estrechas quebradas y pequeños vallecillos reparados llamados vegas.