Además, algunos autores (Suzuki y Adachi, 1991; Montel et al., 1996; Braun et al., 1998; Cocherie et al., 1998; Crowley y Ghent, 1999) han mostrado que, gracias a su alta resolución espacial (1-2 micrones), la técnica de EPMA es el mejor método para detectar inhomogeneidades a una escala muy pequeña, lo cual ha permitido demostrar la carencia de procesos de difusión significativos en monacita a 700 grados (Cocherie et al., 1998) y aun a 900 grados (Braun et al., 1998).