La técnica LIBS comienza con el enfoque del láser en una pequeña área de la muestra (nótese que no es precisa la preparación de la muestra como en la mayoría de las técnicas analíticas); cuando el láser impacta en el objetivo, ablaciona una cantidad minúscula del material, del orden de nanogramos a picogramos, generando instantáneamente una pluma de plasma que alcanza temperaturas en torno a los 10.000 K - 20.000 K.