El término pulverización electrónica puede referirse tanto a la pulverización inducida por electrones con alta energía (como por ejemplo en un microscopio electrónico de transmisión), o a la pulverización mediante iones de muy alta energía o iones pesados altamente cargados que transfieren energía al sólido principalmente mediante una irradiación de partículas en la que la excitación electrónica produce la pulverización.