La teoría de repulsión de pares de electrones de valencia (TREPEV) predice que los trifluoruros del grupo 17 tengan una geometría molecular en forma de T, lo que se cumple para todos los trifluoruros de halógeno conocidos que tienen una estructura AXE —un átomo central, indicado como A, rodeado por tres ligandos, X, y dos pares de electrones no compartidos, E—.