Los vidrios que contienen tanto boro como fósforo (vidrio de borofosfosilicato, BPSG) se someten a flujo viscoso a temperaturas más bajas; alrededor de 850 ° C es alcanzable con los vidrios que contienen alrededor de 5% en peso de ambos componentes, pero la estabilidad en el aire puede ser difícil de lograr.El óxido de fósforo en altas concentraciones interactúa con la humedad ambiental para producir ácido fosfórico.