Berzelius obtuvo el tetracloruro de silicio y el alemán Friedrich Wöhler el «silicio-cloroformo» (triclorosilano); el francés Charles Friedel y el estadounidense James Crafts prepararon entre 1863 y 1866 los primeros compuestos de silicio-carbono por reacción del zinc dietilo sobre el tetracloruro de silicio.