Una vez finalizado su gobierno, el 31 de julio de 1661 entregó el bastón de mando a su sobrino Diego IV de Benavides y de la Cueva, VIII conde de Santisteban del Puerto y I marqués de Solera, y permaneció en Lima hasta la resolución de su juicio de residencia, que siendo favorable regresó a España el 2 de diciembre de 1662, donde falleció el 12 de marzo de 1667.