English: C 30 B Single-crystal growth from vapours [3] 23/ 00 23/ 02 23/ 04 23/ 06 23/ 08 25/ 00 Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials [3] . Epitaxial-layer growth [3] . . Pattern deposit, e.g. by using masks [3] . . Heating of the deposition chamber, the substrate, or the materials to be evaporated [3] . . by condensing ionised vapours (by reactive sputtering 25/06) [3] Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour deposition growth [3] . Epitaxial-layer growth [3] . . Pattern deposit, e.g. by using masks [3] . . by reactive sputtering [3] . . Reaction chambers; Selection of materials therefor [3] . . Heating of the reaction chamber or the substrate [3] . . Substrate holders or susceptors [3] . . Feed and outlet means for the gases; Modifying the flow of the reactive gases [3] . . Controlling or regulating (controlling or regulating in general G 05) [3] . . characterised by the substrate [3] . . . the substrate being of the same materials as the epitaxial layer [3] . . Sandwich processes [3] 29/ 12 29/ 14 29/ 16 29/ 18 29/ 20 29/ 22 29/ 24 . . . . . . . Halides [3] Phosphates [3] Oxides [3] . Quartz [3] . Aluminium oxides [3] . Complex oxides [3] . . with formula AMeO3, wherein A is a rare earth metal and Me is Fe, Ga, Sc, Cr, Co, or Al, e.g. ortho ferrites [3] . . . with formula BMe2O4, wherein B is Mg, Ni, Co, Al, Zn or Cd and Me is Fe, Ga, Sc, Cr, Co, or Al [3] . . . with formula A3Me5O12, wherein A is a rare earth metal and Me is Fe, Ga, Sc, Cr, Co or Al, e.g. garnets [3] . . . Niobates; Vanadates; Tantalates [3] . . . Titanates; Germanates; Molybdates; Tungstates [3] . Silicates [3] . Carbides [3] . Nitrides [3] . AIIIBV compounds [3] . . Gallium arsenide [3] . . Gallium phosphide [3] . Sulfur-, selenium- or tellurium-containing compounds [3] . . AIIBVI compounds [3] . . . Cadmium sulfide [3] . Alloys [3] Organic compounds [3] . Tartrates [3] . Macromolecular compounds [3] characterised by shape [3] . Whiskers or needles [3] . Flat crystals, e.g. plates, strips, disks [5] . Crystals of complex geometrical shape, e.g. tubes, cylinders [5] . Crystals with laminate structure, e.g. "superlattices" [5] . . . . . . .
French: C 30 B Croissance des monocristaux à partir de vapeurs [3] 23/ 00 23/ 02 23/ 04 23/ 06 23/ 08 25/ 00 Croissance des monocristaux par condensation d’un matériau évaporé ou sublimé [3] . Croissance d’une couche épitaxiale [3] . . Dépôt suivant une configuration déterminée, p.ex. en utilisant des masques [3] . . Chauffage de l’enceinte de dépôt, du substrat ou du matériau à évaporer [3] . . par condensation de vapeurs ionisées (par pulvérisation réactive 25/06) [3] Croissance des monocristaux par réaction chimique de gaz réactifs, p.ex. croissance par dépôt chimique en phase vapeur [3] . Croissance d’une couche épitaxiale [3] . . Dépôt suivant une configuration déterminée, p.ex. en utilisant des masques [3] . . par pulvérisation réactive [3] . . Enceintes de réaction; Emploi d’un matériau spécifié à cet effet [3] . . Chauffage de l’enceinte de réaction ou du substrat [3] . . Porte-substrat ou supports [3] . . Moyens d’introduction et d’évacuation des gaz; Modification du courant des gaz réactifs [3] . . Commande ou régulation (commande ou régulation en général G 05) [3] . . caractérisée par le substrat [3] . . . le substrat étant dans le même matériau que la couche épitaxiale [3] . . Procédés dans lesquels la croissance intervient sur les deux faces [3] 29/ 12 29/ 14 29/ 16 29/ 18 29/ 20 29/ 22 29/ 24 . . . . . . . . . . . . . . Halogénures [3] Phosphates [3] Oxydes [3] . Quartz [3] . Oxydes d’aluminium [3] . Oxydes complexes [3] . . de formule AMeO3, dans laquelle A est un métal des terres rares et Me est Fe, Ga, Sc, Cr, Co ou Al, p.ex. orthoferrites [3] . . . de formule BMe2O4, dans laquelle B est Mg, Ni, Co, Al, Zn ou Cd et Me est Fe, Ga, Sc, Cr, Co ou Al [3] . . . de formule A3Me5O12, dans laquelle A est un métal des terres rares et Me est Fe, Ga, Sc, Cr, Co ou Al, p.ex. grenats [3] . . . Niobates; Vanadates; Tantalates [3] . . . Titanates; Germanates; Molybdates; Tungstates [3] . Silicates [3] . Carbures [3] . Nitrures [3] . Composés AIII BV [3] . . Arséniure de gallium [3] . . Phosphure de gallium [3] . Composés contenant du soufre, du sélénium ou du tellure [3] . . Composés AII BVI [3] . . . Sulfure de cadmium [3] . Alliages [3] Composés organiques [3] . Tartrates [3] . Composés macromoléculaires [3] caractérisés par la forme [3] . Aiguilles ou "whiskers" [3] . Cristaux plats, p.ex. plaques, bandes, pastilles [5] . Cristaux de forme géométrique complexe, p.ex. tubes, cylindres [5] . Cristaux avec une structure multicouche, p.ex. superréseaux [5]