English: 37/ 00 Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 take precedence; investigating or analysing surface structures in atomic ranges using scanning-probe techniques G01N 13/10, e.g. scanning tunnelling microscopy G01N 13/12; contactless testing of electronic circuits using electron beams G01R 31/305; details of scanning-probe apparatus, in general G12B 21/00) [2,5] 37/ 02 . Details 37/ 04 . . Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement 37/ 05 . . . Electron- or ion-optical arrangements for separating electrons or ions according to their energy (particle separator tubes H01J 49/00) [3] 37/ 06 . . . Electron sources; Electron guns 37/ 063 . . . . Geometrical arrangement of electrodes for beam-forming [3] 37/ 065 . . . . Construction of guns or parts thereof (H01J 37/067 to H01J 37/077 take precedence) [3] 37/ 067 . . . . Replacing parts of guns; Mutual adjustment of electrodes (H01J 37/073 to H01J 37/077 take precedence; vacuum locks H01J 37/18) [3] 37/ 07 . . . . Eliminating deleterious effects due to thermal effects or electric or magnetic fields (H01J 37/073 to H01J 37/077 take precedence) [3] 37/ 073 . . . . Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources [3] 37/ 075 . . . . Electron guns using thermionic emission from cathodes heated by particle bombardment or by irradiation, e.g. by laser [3] 37/ 077 . . . . Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources [3] 37/ 08 . . . Ion sources; Ion guns 37/ 09 . . . Diaphragms; Shields associated with electron- or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields [3] 37/ 10 . . . Lenses 37/ 12 . . . . electrostatic 37/ 14 . . . . magnetic 37/ 141 . . . . . Electromagnetic lenses [3] 37/ 143 . . . . . Permanent magnetic lenses [3] 37/ 145 . . . . Combinations of electrostatic and magnetic lenses [3] 37/ 147 . . . Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path (lenses H01J 37/10) [2] 37/ 15 . . . . External mechanical adjustment of electron- or ion-optical components (H01J 37/067, H01J 37/20 take precedence) [3] 37/ 153 . . . Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators [2] 37/ 16 . . Vessels; Containers 37/ 18 . . Vacuum locks 37/ 20 . . Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support (preparing specimens for investigation G01N 1/28) 37/ 21 . . Means for adjusting the focus [2] 37/ 22 . . Optical or photographic arrangements associated with the tube 37/ 24 . . Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for 37/ 244 . . Detectors; Associated components or circuits therefor [3] 37/ 248 . . Components associated with high voltage supply (high voltage supply in general H02J, H02M) [3] 37/ 252 . Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers (investigating or analysing thereby G01N 23/22) [3] 37/ 256 . . using scanning beams [3] 37/ 26 . Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes [2] 37/ 27 . . Shadow microscopy [3] 37/ 28 . . with scanning beams (microanalysers using scanning beams H01J 37/256) 37/ 285 . . Emission microscopes, e.g. field-emission microscopes [2] 37/ 29 . . Reflection microscopes [2] 37/ 295 . . Electron- or ion-diffraction tubes [2] 37/ 30 . Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects 37/ 301 . . Arrangements enabling beams to pass between regions of different pressure [3] 37/ 302 . . Controlling tubes by external information, e.g. programme control (H01J 37/304 takes precedence) [3] 37/ 304 . . Controlling tubes by information coming from the objects, e.g. correction signals [3] 37/ 305 . . for casting, melting, evaporating, or etching [2] 37/ 31 . . for cutting or drilling [2] 37/ 315 . . for welding [2] 37/ 317 . . for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. ion implantation (H01J 37/36 takes precedence) [3] 37/ 32 . Gas-filled discharge tubes (heating by discharge H05B) 37/ 34 . . operating with cathodic sputtering (H01J 37/36 takes precedence) [3] 37/ 36 . . for cleaning surfaces while plating with ions of materials introduced into the discharge, e.g. introduced by evaporation [3]
French: 37/ 00 Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 ont priorité; recherche ou analyse des structures de surface à l'échelle atomique utilisant des techniques de sonde à balayage G01N 13/10, p.ex. la microscopie à effet tunnel à balayage G01N 13/12; essais sans contact de circuits électroniques utilisant des faisceaux électroniques G01R 31/305; détails d'appareils à sonde à balayage, en général G12B 21/00) [2,5] 37/ 02 . Détails 37/ 04 . . Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique 37/ 05 . . . Dispositifs électronoptiques ou ionoptiques pour la séparation des électrons ou des ions en fonction de leur énergie (tubes séparateurs de particules H01J 49/00) [3] 37/ 06 . . . Sources d'électrons; Canons à électrons 37/ 063 . . . . Disposition géométrique des électrodes pour la formation du faisceau [3] 37/ 065 . . . . Montage des canons ou de leurs éléments constitutifs (H01J 37/067 à H01J 37/077 ont priorité) [3] 37/ 067 . . . . Eléments de rechange des canons; Réglage mutuel d'électrodes (H01J 37/073 à H01J 37/077 ont priorité; fermetures étanches H01J 37/18) [3] 37/ 07 . . . . Elimination des effets nuisibles dus à des effets thermiques ou à des champs électriques ou magnétiques (H01J 37/073 et H01J 37/077 ont priorité) [3] 37/ 073 . . . . Canons à électrons utilisant des sources d'électrons à émission par effet de champ, à photo-émission ou à émission secondaire [3] 37/ 075 . . . . Canons à électrons utilisant l'émission thermo-ionique de cathodes chauffées par bombardement de particules ou par irradiation, p.ex. par laser [3] 37/ 077 . . . . Canons à électrons utilisant comme sources d'électrons une décharge dans des gaz ou dans des vapeurs [3] 37/ 08 . . . Sources d'ions; Canons à ions 37/ 09 . . . Diaphragmes; Ecrans associés aux dispositifs électronoptiques ou ionoptiques; Compensation des champs perturbateurs [3] 37/ 10 . . . Lentilles 37/ 12 . . . . électrostatiques 37/ 14 . . . . magnétiques 37/ 141 . . . . . Lentilles électromagnétiques [3] 37/ 143 . . . . . Lentilles magnétiques permanentes [3] 37/ 145 . . . . Combinaisons de lentilles électrostatiques et magnétiques [3] 37/ 147 . . . Dispositions pour diriger ou dévier la décharge le long d'une trajectoire déterminée (lentilles H01J 37/10) [2] 37/ 15 . . . . Réglage mécanique externe de composants électronoptiques ou ionoptiques (H01J 37/067, H01J 37/20 ont priorité) [3] 37/ 153 . . . Dispositions électronoptiques ou ionoptiques pour la correction de défauts d'images, p.ex. stigmateurs [2] 37/ 16 . . Enceintes; Récipients 37/ 18 . . Fermetures étanches 37/ 20 . . Moyens de support ou de mise en position de l'objet ou du matériau; Moyens de réglage de diaphragmes ou de lentilles associées au support (préparation d'échantillons pour l'analyse G01N 1/28) 37/ 21 . . Moyens pour la mise au point [2] 37/ 22 . . Dispositifs optiques ou photographiques associés au tube 37/ 24 . . Circuits non adaptés à une application particulière du tube et non prévus ailleurs 37/ 244 . . Détecteurs; Composants ou circuits associés [3] 37/ 248 . . Composants associés à l'alimentation haute tension (alimentation haute tension en général H02J, H02M) [3] 37/ 252 . Tubes analyseurs à spot par faisceaux électroniques ou ioniques; Micro-analyseurs (recherche ou analyse avec ce matériel G01N 23/22) [3] 37/ 256 . . utilisant des faisceaux de balayage [3] 37/ 26 . Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions [2] 37/ 27 . . Microscopie à masque [3] 37/ 28 . . avec faisceaux de balayage (micro-analyseurs utilisant des faisceaux de balayage H01J 37/256) 37/ 285 . . Microscopes à émission, p.ex. microscopes à émission de champ [2] 37/ 29 . . Microscopes à réflexion [2] 37/ 295 . . Tubes à diffraction électronique ou ionique [2] 37/ 30 . Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets 37/ 301 . . Dispositifs permettant aux faisceaux de passer d'une région à une autre région à pression différente [3] 37/ 302 . . Commande des tubes par une information d'origine externe, p.ex. commande par programme (H01J 37/304 a priorité) [3] 37/ 304 . . Commande des tubes par une information en provenance des objets, p.ex. signaux de correction [3] 37/ 305 . . pour couler, fondre, évaporer ou décaper [2] 37/ 31 . . pour couper ou perforer [2] 37/ 315 . . pour souder [2] 37/ 317 . . pour modifier les propriétés des objets ou pour leur appliquer des revêtements en couche mince, p.ex. implantation d'ions (H01J 37/36 a priorité) [3] 37/ 32 . Tubes à décharge en atmosphère gazeuse (chauffage par décharge H05B) 37/ 34 . . fonctionnant par pulvérisation cathodique (H01J 37/36 a priorité) [3] 37/ 36 . . pour nettoyer les surfaces pendant le dépôt des ions issus des matériaux introduits dans l'intervalle de décharge, p.ex. introduits par évaporation [3]