mwirth-epo/epo-nmt-datasets huggingface dataset:
De vlam 8 is hier als twee afzonderlijke vlammen 8 getoond maar zal bij voorkeur over in hoofdzaak de gehele omtrek van de smalle zijde 6 van de brandermond 7 zijn gevormd.
Said flame 8is shown as two separate flames 8but will preferably be provided at substantially the complete circumference of the narrow side 6of burner nozzle 7.
Gasmengsel dat via de gasstroom 4 door de conus 3 en door de vlam 8 wordt gevoerd zal daardoor gedurende korte tijd aan een hoge temperatuur van de vlam 8 worden blootgesteld zodat verontreinigingen in het gasmengsel worden afgebroken.
Gas mixture that is supplied via gas flow 4through cone 3and through flame 8, will for a short period be subjected to a high temperature of flame 8such that contaminants in said gas mixture will be decomposed.
Fig. 2 geeft een doorsnede van de branderconfiguratie 1 weer.
FIG. 2provides a sectional view of the burner configuration 1.
De conus 3 is deels binnen en deels buiten de cilinder 2 geplaatst.
The cone 3is positioned partly within and partly outside cylinder 2.
De gasstroom 4, 4' die in de conus 3 en in de cilinder 2 is gevoerd is aangeduid, evenals het stroompad van het gasmengsel binnen in de cilinder 2 nadat het gedeeltelijk door de vlam 8 is geleid en nadat het gedeeltelijk via de ruimte tussen de conus 3 en de wand van de cilinder 2 in de cilinder is terecht gekomen.
The gas flow 4, 4′ that is supplied into the cone 3and into the cylinder 2has been shown in the drawing, as is the flow path of the gas mixture within the cylinder 2after it has been guided through flame 8and after it has been received in the cylinder after it has been partially received within the interstitial space between the cone 3and the wall of the cylinder 2.
De vermenging van de beide deelstromen 4, 4' is duidelijk zichtbaar.
Mixing of both partial flows 4, 4′ is clearly visible.
In Fig. 3 is een variant van de branderconfiguratie 1 getoond waarbij de conus 3 geheel binnen de cilinder 2 is geplaatst.
In FIG. 3an alternative embodiment of the burner configuration 1has been shown wherein the cone 3is positioned fully within the cylinder 2.
Fig. 4 toont juist de variant waarbij de conus 3 geheel buiten de cilinder 2 is geplaatst.
On the contrary, FIG. 4shows an embodiment wherein the cone 3is positioned fully outside the cylinder 2.
In de variant volgens Fig. 3 heeft het de voorkeur dat de conus 3 kleiner is dan in de variant volgens Fig. 4.
In the embodiment according to FIG. 3it is preferred that the cone 3is smaller than in the embodiment according to FIG. 4.
De verhouding van de diameter van het ruimste deel van de conus tot de inwendige diameter van de cilinder is in de variant volgens Fig. 3 duidelijk kleiner dan in de variant volgens Fig. 4, om een geschikte geleiding van het gasmengsel 4, 4' te kunnen verkrijgen.
The ratio of the diameter of the widest part of the cone with respect to the inner diameter of the cylinder is, according to the embodiment of FIG. 3, clearly smaller than in the embodiment according to FIG. 4, so as to obtain a suitable flow of gas mixture 4, 4′.
De toevoer van de brandstof kan geschieden via langs de brede zijde van de conus te positioneren leidingen, die aftakkingen bevatten naar de brandermonden, die nabij de smalle zijde van de conus zijn geplaatst.
The supply of fuel may be obtained through pipes that are positioned at wide sides of the cones, said pipes comprising branches to the burner nozzles, which are positioned near the narrow sides of the cone.
Indien h2 gas en 02 gas worden gebruikt als brandstof, maar ook in geval van mengsels van andere brandstof en zuurstof, heeft het de voorkeur dat de brandstof en het zuurstof in afzonderlijke leidingen worden toegevoerd en pas in of na de brandermond worden gemengd om een adequate verbranding te verschaffen.
If H2 gas and O2 gas are used as fuel, and also where other mixtures of any other fuel with oxygen are used, it is preferred that the fuel and the oxygen are supplied through separate pipes and are mixed only in or after the burner nozzle so as to yield a proper combustion.
De uitvinding is niet beperkt tot de hiervoor beschreven en in de figuren getoonde uitvoeringsvormen.
The invention is not limited to the embodiments described herein and as shown in the drawing.
De uitvinding wordt slechts beperkt door de bijgevoegde conclusies.
The invention is limited only by the appended claims.
De uitvinding strekt zich tevens uit over elke combinatie van maatregelen die hiervoor onafhankelijk van elkaar zijn beschreven.
The invention also embodies all combinations of features that have been described herein before independently with respect to each other.
1.Inrichting voor het reinigen van een verontreinigingen omvattend gasmengsel, omvattende een cilinder en een brandermond voor het toevoeren van een te verbanden brandstof, welke brandermond is ingericht voor het in de cilinder richten van een vlam, waarbij de vlam in een stromingsrichting van het te reinigen gasmengsel is gericht, met het kenmerk, dat de inrichting een conusvormige gasgeleider met een relatief ruime ingang en een relatief smalle uitgang omvat waarvan de toelopende vorm in de stromingsrichting is gelegen en waarvan het smalle deel nabij of binnen de cilinder is gepositioneerd, en waarbij de brandermond is voorzien nabij het smalle deel van de conus.
Variations and modifications of the present invention will be obvious to those skilled in the art and it is intended to cover in the appended claims all such modifications and equivalents.
Inrichting volgen binnen de cilinder i cilinder is gelegen.
A device according to claim 1, wherein the exit of the cone is positioned inside the cylinder and the entrance to the cone is positioned outside the cylinder.
Inrichting volgen uitgang binnen de ci 4.
A device according to claim 1, wherein both the entrance and the exit of the cone are positioned inside the cylinder.
Inrichting volgen uitgang buiten de ci 5.
A device according to claim 1, wherein both the entrance to the cone and the exit are positioned outside the cylinder.
Inrichting volgen uitgang van de conus 6.
A device according to claim 1, wherein the burner nozzle is provided at the exit of the cone.
Inrichting volgen hoofdzaak verdeeld o' voorzien. conclusie 1, waarbij gelegen en de ingang conclusie 1, waarbij inder zijn gelegen. conclusie 1, waarbij inder zijn gelegen. conclusie 1, waarbij is voorzien. conclusie 1, waarbij er de omtrek van de u de uitgang van de conus van de conus buiten de zowel de ingang als de zowel de ingang als de de brandermond aan de de brandermond in tgang van de conus is 7.
A device according to claim 1, wherein the burner nozzle is provided substantially distributed over the circumference of the exit of the cone.
Inrichting volgens conclusies 6, waarbij de brandermond ten minste twee brandermonden omvat welke verdeeld over de omtrek van de uitgang van de conus zijn voorzien.
A device according to claim 6, wherein the burner nozzle comprises at least two nozzles that are distributed over the circumference of the exit of the cone.
Inrichting volgens een der voorgaande conclusies, waarbij de brandstof H2 en 02 omvat, bij voorkeur in in hoofdzaak stoechiome trische verhouding van 2 delen H2 en 1 deel 02.
A device according to claim 1, wherein the fuel comprises H2 and O2, preferably in a substantially stoichiometric ratio of 2 parts H2 and 1 part O2.
Inrichting volgens conclusies 8, waarbij de brandstof H2 en 02 omvat in een verhouding van 2 delen H2 en 0,8 tot 1 deel 02.
A device according to claim 8, wherein the fuel comprises H2 and O2 in a ratio of 2 parts H2 and 1 to 1.2 part O2.
Inrichting volgens conclusie 1 of 9, waarbij het te reinigen gas oxideerbare verontreinigingen omvat.
A device according to claim 1, wherein the gas to be cleaned comprises oxidizable contaminants.
Inrichting volgens een der conclusies 6 en 7, waarbij de vlammen uit de brandermonden in hoofdzaak zijn gericht in een stroompad van het te reinigen gas.
A device according to claim 6, wherein the flames from the burner nozzles are substantially directed into a flow path of the gas to be cleaned.
Inrichting volgens een der voorgaande conclusies, waarbij de conus en de cilinder in hoofdzaak coaxiaal zijn gelegen.
A device according to claim 1, wherein the cone and the cylinder are positioned substantially coaxially.
Inrichting volgens een der voorgaande conclusies, waarbij de verhouding van de diameter van de conus tot de diameter van de cilinder is gelegen in het traject van ten minste 0,6 : 1, bij voorkeur ten minste 0,7 : 1, met meer voorkeur ten minste 0,8 : 1, met nog meer voorkeur tussen 0,7 : 1 en 0,9 : 1.
A device according to claim 1, wherein the ratio of the diameter of the cone to the diameter of the cylinder is in a range of at least 0.6:1, preferably at least 0.7:1, more preferably at least 0.8:1, and still more preferably between 0.7:1 and 0.9:1.
Toepassing van een branderconfiguratie volgens een der voorgaande conclusies voor het reinigen van een verontreinigingen omvattend gas, omvattende het aan de brandermond toevoeren van een brandstof en het ontsteken ervan ter verkrijging van een vlam, zodanig dat de vlam in de cilinder is gericht en het te reinigen gas via de ingang van de conus naar de uitgang van de conus en ten minste gedeeltelijk in de vlam wordt gevoerd voor het verhitten van in het gasmengsel aanwezige verontreinigingen.
Use of the burner configuration according to claim 1for cleaning a gas that comprises contaminants, comprising the steps of supplying to the burner nozzle a fuel and igniting same for obtaining a flame, such that the flame is directed into the cylinder and a first part of said gas to be cleaned is supplied via the entrance of the cone to the exit of the cone and is at least partially fed into the flame for heating and decomposing contaminants in said gas mixture and a second part of said gas mixture is supplied into the cylinder around the cone for mixing said second part of the gas mixture to be cleaned with said heated first part.
Werkwijze volgens conclusie 14, omvattende het toevoeren van een H2 en 02 omvattende brandstof aan de brandermond.
A use according to claim 14, comprising the step of supplying a fuel comprising H2 and O2 to the burner nozzle.
Werkwijze volgens conclusies 14 of 15, omvattende het toevoeren van een stoechiometrische overmaat 02 in de brandstof.
A use according to claim 15, comprising the step of supplying a stoichiometric excess of O2 in the fuel.
NLP201133A Werkwijzen voor het structureren van een object en deeltjesstraalsysteem hiervoor De uitvinding betreft werkwijzen voor het structureren van een object met behulp van een deeltjesstraalsysteem, dat twee deeltjesstraalkolommen, zoals bijvoorbeeld een ionenstraalkolom en een elektronenstraalkolom, omvat, alsmede een deeltjesstraalsysteem hiervoor.
The disclosure relates to a method for structuring an object using a particle beam system, which includes two particle beam columns, for example an ion beam column and an electron beam column, and to an associated particle beam system.
Een deeltjesstraalsysteem, dat twee deeltjesstraalkolommen omvat, waarvan de deeltjesstralen op een gemeenschappelijk werkgebied op een object kunnen worden gericht, wordt traditioneel voor het structureren van het object gebruikt.
A particle beam system, which includes two particle beam columns, the particle beams of which can be directed onto a common working region on an object, is traditionally used for structuring the object.
Hierbij wordt een deeltjesstraal, bijvoorbeeld een ionenstraal of een elektronenstraal, gebruikt om de structuren van het object te vormen, terwijl de andere deeltjesstraal, bijvoorbeeld een elektronenstraal van een elektronenstraalmicroscoop, wordt gebruikt om het proces van het structureren van het object te bewaken.
Here, a particle beam, for example an ion beam or an electron beam, is used to form the structures on the object, while the other particle beam, for example an electron beam of an electron beam microscope, is used to monitor the process of structuring the object.
Het structureren van het object vindt plaats door het afscheiden van materiaal op het object of door het verwijderen van materiaal van het object, doordat de hiervoor gebruikte deeltjesstraal op een veelheid van plaatsen van het object wordt gericht.
The object is structured by way of depositing material on the object or by removing material from the object by way of directing the particle beam used for this purpose at a multiplicity of sites of the object.
Het afscheiden van materiaal op het object of het verwijderen van materiaal van het object kan door het toevoeren van een procesgas worden ondersteund.
Depositing of material on the object and removing material from the object can be assisted by way of supplying a process gas.
Een voorbeeld van een proces, waarbij een ionenstraal voor het structureren van een object wordt gebruikt, is de vervaardiging van een zogenoemde TEMlamel, d.w.z. het uit een substraat snijden van een voor onderzoek met een transmissie-elektronenstraalmicroscoop geschikt monster, zoals bijvoorbeeld een zich in vervaardiging bevindende halfgeleiderwafel.
One example of a process in which an ion beam is used for structuring an object is the production of what is known as a TEM lamella, i.e. cutting a sample suitable for examination with a transmission electron microscope out of a substrate, such as for example a semiconductor wafer in production.
Dergelijke processen voor het structureren van een object met een deeltjesstraal kunnen enkele minuten, enkele tientallen minuten of zelfs uren duren.
Such processes for structuring an object using a particle beam can take a few minutes, a few tens of minutes or even hours.
Gedurende deze tijd kunnen verschuivingen met betrekking tot de plaatsen, waarop de deeltjesstraal het object treft, optreden, welke verschuivingen de nauwkeurigheid en reproduceerbaarheid van de vervaardigde structuren nadelig beïnvloeden.
During this time, drifts with respect to the sites at which the particle beam is incident on the object may occur, which influence the accuracy and reproducibility of the manufactured structures in a disadvantageous manner.
De verschuivingen kunnen door temperatuurveranderingen en veranderingen van de voor de werking van de deeltjesstraalkolom gebruikte hoogspanning of dergelijke zijn veroorzaakt.
The drifts can also be caused by temperature changes or changes in the high voltage used during the operation of the particle beam column or the like.
Zelfs wanneer de voortgang van het structureren van het object met een deeltjesstraalkolom door de andere deeltjesstraalkolom wordt bewaakt en de voortgang van het structureren in afhankelijkheid van deze bewaking wordt uitgevoerd, kan een zo hoog mogelijk lijkende precisie niet worden bereikt, aangezien ook de positie van de beide deeltjesstraalkolommen ten opzichte aan een mechanische drift onderhevig is en niet alle met de ene deeltjesstraalkolom geproduceerde structuren door de andere deeltjesstraalkolom optimaal kunnen worden bewaakt, aangezien de door de beide deeltjesstraalkolommen geproduceerde deeltjesstralen onder verschillende hoeken het object treffen.
Even if the process of structuring the object using a particle beam column is monitored by the other particle beam column and the process of structuring is performed in dependence on this monitoring, it is not possible to achieve the highest possible precision, because the locations of the two particle beam columns relative to one another is also subject to mechanical drift, and not all structures which are produced using the one particle beam column can be observed in optimum fashion by the other particle beam column because the particle beams which are generated by the two particle beam columns are incident on the object at different angles.
Het is daarom een doel van de onderhavige uitvinding, een werkwijze voor het structureren van een object voor te stellen, die een hogere precisie mogelijk maakt.
The present disclosure proposes a method for structuring an object which permits greater precision.
Uitvoeringsvormen van de uitvinding stellen een werkwijze voor het structureren van een object met behulp van een deeltjesstraalsysteem voor, dat twee deeltjesstraalkolommen omvat, waarbij de ene deeltjesstraalkolom wordt gebruikt om een gewenste doelstructuur te produceren door middel van het afscheiden van materiaal of het verwijderen van materiaal en tijdens dit produceren van de gewenste doelstructuur herhaald een markering op het substraat te produceren, en de andere deeltjesstraalkolom wordt gebruikt om de positie van een nieuw geproduceerde markering en/of de posities van vooraf geproduceerde markeringen vast te stellen.
Embodiments of the disclosure propose a method for structuring an object by way of a particle beam system, which includes two particle beam columns, wherein one particle beam column is used to produce a desired target structure by depositing material or removing material and to repeatedly produce a marking on the substrate while the desired target structure is being produced, and the other particle beam column is used to capture the position of a newly produced marking and/or the positions of previously produced markings.
Op basis van deze vastgestelde posities kan vervolgens het verdere produceren van de gewenste doelstructuur worden uitgevoerd.
Based on these captured positions, it is then possible to perform the further production of the desired target structure.
Aangezien de markeringen door dezelfde deeltjesstraal worden geproduceerd, waarmee ook de gewenste doelstructuur wordt geproduceerd, kunnen in deze deeltjes-straalkolom optredende verschuivingen tijdens heteventueel langdurige proces van het produceren van de gewenste doelstructuur worden herkend en worden gecorrigeerd.
Since the markings are produced using the same particle beam with which the desired target structure is produced, it is possible, during the possibly prolonged process of producing the desired target structure, to detect and correct drifts which occur in this particle beam column.
Een verschuiving in de deeltjesstraalkolom, de voor bewaking wordt gebruikt, of een verschuiving in de mechanische positionering van de beide deeltjesstraalkolommen ten opzichte van elkaar beïnvloedt deze werkwijze in slechts geringe mate, aangezien de posities van de markeringen in zeer korte tijd kunnen worden vastgesteld en de posities daarvan ten opzichte van elkaar onafhankelijk van dergelijke verschuivingen precies kunnen worden bepaald.
A drift in the particle beam column used for observation or a drift in the mechanical positioning of the two particle beam columns relative to one another negatively impacts this method only to a small degree, because the positions of the markings can be captured very quickly and the positions thereof relative to one another can be precisely determined independently of such drifts.
Volgens uitvoeringsvormen van de uitvinding omvat een werkwijze voor het structureren van een object: het aanbrengen van een substraat in een werkgebied van een eerste deeltjesstraalkolom en een tweede deeltjesstraalkolom; het produceren van een gewenste doelstructuur van het substraat door middel van het richten van een door de eerste deeltjesstraalkolom geproduceerde deeltjesstraal op een veelheid van plaatsen van het substraat, om hierop materiaal af te scheiden of daarvan materiaal te verwijderen; het meermalig onderbreken van het produceren van de gewenste doelstructuur en het produceren van een markering op het substraat door middel van het richten van de eerste deeltjesstraal op het substraat en het voortzetten van het produceren van de gewenste doelstructuur; en het vaststellen van posities van de markeringen op het substraat door middel van het richten van een door de tweede deeltjesstraalkolom geproduceerde tweede deeltjesstraal op de markeringen op het substraat en het detecteren van deeltjes of straling, die daarbij door de tweede deeltjesstraal op het substraat worden/wordt geproduceerd; waarbij door de eerste deeltjesstraalkolom te produceren straalafbuigingen van de eerste deeltjesstraal zodanig in afhankelijkheid van de vastgestelde posities van de markeringen worden bepaald, dat de eerste deeltjesstraal op de veelheid van plaatsen van het substraat wordt gericht.
According to embodiments of the disclosure, a method for structuring an object includes: arranging a substrate in a working region of a first particle beam column and a second particle beam column; producing a desired target structure on the substrate by directing a first particle beam generated by the first particle beam column at a multiplicity of sites of the substrate to deposit material thereon or to remove material therefrom; repeatedly interrupting the production of the desired target structure and producing a marking on the substrate by directing the first particle beam onto the substrate and continuing the production of the desired target structure; and capturing positions of the markings on the substrate by directing a second particle beam produced by the second particle beam column onto the markings on the substrate, and detecting particles or radiation which are produced in the process by the second particle beam on the substrate; wherein beam deflections of the first particle beam which are to be produced by the first particle beam column are determined in dependence on the captured positions of the markings such that the first particle beam is directed onto the multiplicity of sites of the substrate.
Het afscheiden van materiaal op het object resp. het verwijderen van materiaal van het object vindt op elk tijdstip plaats op de plaats van het substraat, waarop de eerste deeltjesstraal zojuist is gericht.
Depositing material on the object or removing material from the object takes place at any one time at the site of the substrate onto which the first particle beam is being directed.
Deze plaatsen en hun volgorde in de tijd worden door de geometrie van de gewenste doelstructuur bepaald en kunnen bijvoorbeeld vooraf zijn vastgelegd.
These sites and their temporal succession are given by the geometry of the desired target structure and can be fixed in advance, for example.
Om op een gewenste plaats het substraat te treffen, dient de eerste deeltjesstraal door de eerste deeltjesstraalkolom op passende wijze te worden afgebogen.
In order to strike a desired site on the substrate, the first particle beam is suitably deflected by the first particle beam column.
De deeltjesstraal kan hierbij op elke gewenste plaats gedurende een zekere tijdsduur verblijven en zich vanaf elke gewenste plaats naar de respectieve volgende gewenste plaats snel bewegen resp. springen.
The particle beam can here reside at any desired site for a specific time period and quickly move or jump from each desired site to the next desired site.
Voorts kan de deeltjesstraal door het continu afbuigen over de gewenste plaatsen worden bewogen.
The particle beam can furthermore be moved over the desired sites by continuous deflection.
Bijvoorbeeld kan een besturing van de deelt j esstraalkolom een tabel of een rekenvoorschrift omvatten, die een relatie tussen coördinaten van plaatsen van het substraat en straalafbuigingen instelt, die dienen te worden geproduceerd om de eerste deeltjesstraal op de respectieve plaatsen te richten.
By way of example, a controller of the particle beam column can include a table or a calculation rule which establishes a relationship between coordinates of sites of the substrate and beam deflections which must be produced to direct the first particle beam to the relevant sites.
De straalafbuigingen kunnen hierbij door bijvoorbeeld stuur-spanningen of stuurstromen ofandere stuursignalen worden gerepresenteerd, die aan straalafbuigers van de eerste deeltjesstraalkolom worden toegevoerd.
The beam deflections can here be represented for example by control voltages or control currents or other control signals that are fed to beam deflectors of the first particle beam column.