mwirth-epo/epo-nmt-datasets huggingface dataset:
Il lembo più a valle (Fv) del foglio FI è stato precedentemente staccato dai rulli piegatori, mentre il lembo più a monte del foglio FI si trova aderente al rullo piegatore 3R ed è ivi trattenuto per aspirazione attraverso i fori aspiranti 41 del rullo piegatore 3R che si trovano nella gola di piegatura 5, vedasi Fig.4(A).
The border downstream (Fv) of the sheet F1has been previously detached from the folding rollers, while the border upstream of the sheet F1is sticking to the folding roller 3R and it is kept therein by suction through the suction holes 41of the folding roller 3R which are located in the folding nip 5, see FIG. 4(A).
Nella gola di piegatura 5, di fronte al lembo più a monte del foglio FI, si trova la mezzeria di un secondo foglio F2, che è stato ottenuto dal taglio del materiale nastriforme N2 alimentato al rullo piegatore 3L.
In the folding nip 5, in front of the upstream border of the sheet F1, there is the middle of a second sheet F2, which has been carried out by cutting the web material N2fed to the folding roller 3L.
Il lembo più a valle del foglio F2 è aderente al rullo piegatore 3R, ed è trattenuto dai fori aspiranti 43 che trattengono anche la linea di piegatura nella mezzeria del foglio FI.
The downstream border of the sheet F2is sticking to the folding roller 3R, and it is kept by the suction holes 43which keep also the folding line of the middle of the sheet F1.
In pratica, il secondo foglio F2 si trova per metà aderente al rullo piegatore 3R, e per metà al rullo piegatore 3L.
Basically, the second sheet F2is placed half sticking to the folding roller 3R, and half sticking to the folding roller 3L.
La linea di mezzeria del foglio F2 è trattenuta per aspirazione sul rullo piegatore 3L tramite i fori aspiranti 43 dell’allineamento longitudinale contrassegnato con la lettera (a) nella gola di piegatura 5.
The middle line of the sheet F2is kept by suction on the folding roller 3L by means of the suction holes 43of the longitudinal alignment countermarked by the letter (a) in the folding nip 5.
Il lembo più a monte del foglio F2 si trova in corrispondenza dei fori aspiranti 41 dell’allineamento (f) del rullo piegatore 3L, vedasi Fig. 4(C).
The upstream border of the sheet F2is placed in correspondence with the suction holes 41of the alignment (f) of the folding roller 3L, see FIG. 4(C).
Un foglio F3, ottenuto dal taglio del materiale nastriforme NI, si trova aderente alla superficie del rullo piegatore 3R, per mezzo di tre allineamenti di fori aspiranti 41, 43, 41 del rullo piegatore 3R.
A sheet F3, carried out by cutting web material N1, is sticking to the surface of the folding roller 3R, by means of the three alignments of the suction holes 41, 43, 41, of the folding roller 3R.
Più in particolare, il lembo più a valle del foglio F3 è trattenuto dai fori aspiranti 41 del rullo piegatore 3R che si trovano nella gola di piegatura 5, mentre il lembo più a monte è aspirato dai fori aspiranti 41 del rullo piegatore 3R che si trovano nella gola di trasferimento 15 tra il rullo piegatore 3R ed il corrispondente rullo di taglio 7.
More in particular, the downstream border of the sheet F3is kept by the suction holes 41of the folding roller 3R which are placed in the folding nip 5, while the upstream border is sucked by the suction holes 41of the folding roller 3R which are placed in the transfer nip 15between the folding roller 3R and the corresponding cutting roller 7.
La mezzeria del foglio F3 è aspirata dall’allineamento di fori aspiranti 43 che si trova sul rullo piegatore 3R subito a monte (rispetto al verso di rotazione) della gola di piegatura 5.
The middle of the sheet F3is sucked by the alignment of suction holes 43which is placed on the folding roller 3R immediately upstream (with respect to the rotation direction) of the folding nip 5.
4(A), 4(B), con riferimento al rullo piegatore 3L si osserva che i fori aspiranti 43 dell’ allineamento (a), che si trovano nella gola di piegatura 5, rimangono in comunicazione con la camera aspirante 23A per la successiva rotazione di circa 60° (regolabile agendo sulla posizione angolare della parete 29), perché essi si trovano tra otturatori 37 adiacenti, e quindi non vengono chiusi dagli otturatori 37.
In FIGS. 4(A), 4(B)with reference to the folding roller 3L it is observed that the suction holes 43of the alignment (a), placed in the folding nip 5, remain in communication with the suction chamber 23A for the following rotation of nearly 60° (adjustable acting on the angular position of the wall 29), because they 43are placed between adjacent shutters 37and thus they are not closed by the shutters 37.
Viceversa, i fori aspiranti 41 del rullo piegatore 3R che si trovano nella gola 5 cessano di aspirare da questa posizione in poi, in quanto vengono chiusi dagli otturatori 37 del rullo piegatore 3R e quindi non si trovano più in comunicazione con la camera aspirante 23A interna al rullo piegatore 3R.
Vice versa, the suction holes 41of the folding roller 3R which are placed in the nip 5stop sucking from this position forward, since they are closed by the shutters 37of the folding roller 3R and thus they are no more in communication with the suction chamber 23A inside the folding roller 3R.
Anche i fori 43 del rullo 3R a valle della gola di piegatura 5 (allineamento (b) di fori aspiranti), che hanno raggiunto la parete radiale 29, cessano di aspirare.
Also the holes 43of the roller 3R downstream the folding nip 5(alignment (b) of suction holes) that reach the radial wall 29, stop sucking (interrupted).
4(A), 4(B) e 4(C) dopo una rotazione di 60° dei rulli piegatori 3L, 3R e dei rispettivi rulli di taglio 7.
FIGS. 5(A), 5(B) and 5(C)show the same views of FIGS. 4(A), 4(B) and 4(C)after a rotation of 60° of the folding rollers 3L, 3R and of the respective cutting roller 7.
Il foglio FI è stato staccato, tramite il rispettivo pettine di distacco 17, dal rullo piegatore 3R.
The sheet F1has been detached, by means of respective removing comb 17, from the folding roller 3R.
La metà più avanzata del secondo foglio F2 si trova interfogliata con il foglio FI ed il lembo più avanzato del secondo foglio F2 è stato staccato dal rullo piegatore 3R.
The most advanced half of the second sheet F2is interfolded with the sheet F1and the most advanced border of the second sheet F2has been detached from the folding roller 3R.
Il distacco dei fogli di materiale nastriforme dal rullo piegatore 3R è ottenuto dall’effetto combinato dei pettini di distacco 17 e della cessazione dell’aspirazione attraverso i fori aspiranti 43 del rullo 3R che sono stati chiusi dagli otturatori 37 del rullo piegatore 3R.
The detachment of the sheets of web material from the folding roller 3R is carried out by the combined effect of the removing combs 17and of the stop of suction through the suction holes 43of the roller 3R which have been closed by the shutters 37of the folding roller 3R.
5(A) a 5(C), il secondo foglio F2 si trova impegnato in corrispondenza della piega mediana dai fori aspiranti 43 (posizione (a), Fig.5(C)) del rullo piegatore 3L che stanno raggiungendo la parete radiale 29 del rullo piegatore 3L, dove si interromperà l’aspirazione.
Always with reference to FIGS. 5(A)-5(C)the second sheet F2is engaged in correspondence with the middle fold from the suction holes 43(position (a), FIG. 5(C)) of the folding roller 3L which are going to reach the radial wall 29of the folding roller 3L, where the suction will be interrupted.
Il lembo più arretrato del foglio F2 è impegnato ai fori aspiranti 41 (allineamento (f) del rullo piegatore 3L) che hanno raggiunto la gola di piegatura 5.
The rear border of sheet F2is engaged to the suction holes 41(alignment (f) of the folding roller 3L) which reached the folding nip 5.
Qui, per effetto degli otturatori 37 del rullo 3L, l’aspirazione sul lembo più a monte del foglio F2 da parte del rullo 3L cessa e tale lembo verrà attratto dall’allineamento di fori aspiranti 43 del rullo piegatore 3R che si trovano nella gola di piegatura 5 e che rimarranno in comunicazione con la camera aspirante 23A del rullo piegatore 3R per la successiva rotazione di 60°.
Here, because of the effects of the shutters 37of the roller 3L, the suction on the upstream border of sheet F2by the roller 3L stops and such border will be attracted by the alignment of suction holes 43of the folding roller 3R which are located in the folding nip 5and which will remain in communication with the suction chamber 23A of the folding roller 3R for the next rotation of 60°.
Ciò in quanto questi fori aspiranti 43 del rullo piegatore 3R si trovano sfalsati rispetto agli otturatori 37 e non vengono chiusi da questi.
This because these suction holes 43of the folding roller 3R are staggered with respect to the shutters 37and are not closed by these latter.
II lembo più avanzato del foglio F3 si è staccato dal rullo piegatore 3R, in quanto i fori aspiranti 41 del rullo piegatore 3R (della fig. 4 non della 5) che lo trattenevano hanno cessato di aspirare (Fig.4) a partire dalla gola 5 essendo otturati dagli otturatori 37 interni al rullo piegatore 3R.
The most advanced border of sheet F3has been detached from the folding roller 3R, because the suction holes 41of the folding roller 3R (of FIG. 4and not of FIG. 5) which were keeping it stopped sucking (FIG. 4) starting from the nip 5being closed by the shutters 37inside the folding roller 3R.
Il lembo più avanzato del foglio F3, quindi, è stato impegnato dall’aspirazione dei fori aspiranti 43 dell’allineamento (a) del rullo piegatore 3L e si trova aderente al rullo 3L nel punto della piega intermedia del foglio F2.
The most advanced border of sheet F3, so, has been engaged by the suction of the suction holes 43of the alignment (a) of the folding roller 3L and it is sticking to the roller 3L in the point of middle fold of sheet F2.
6(A)-6(C) mostrano la fase ancora successiva, dopo una nuova rotazione di 60° dei rulli piegatori 3L, 3R e dei rispettivi rulli di taglio 7.
FIGS. 6(A)-6(C)show the following phase, after a new rotation of 60° of the folding rollers 3L, 3R and of the respective cutting rollers 7.
Il foglio F2 è stato compietamente staccato dal rullo piegatore 3R tramite l’effetto combinato della cessazione dell’aspirazione attraverso i fori aspiranti 43, che cessano di aspirare una volta raggiunta la parete radiale 29, e del pettine di distacco 17.
The sheet F2has been completely detached by the folding roller 3R by means of the combined effect of the stop of suction through the suction holes 43, which stop sucking reached the radial wall 29, and of the removing comb 17.
Fra le due metà ripiegate del foglio F2 si trova metà del foglio FI e metà del foglio F3.
Between the two folded halves of sheet F2there is the half of sheet F1and half of sheet F3.
L’altra metà del foglio F3 è ancora aderente al rullo piegatore 3R.
The other half of sheet F3is still sticking to the folding roller 3R.
La linea di piegatura centrale del foglio F3 è trattenuta dai fori aspiranti 43 del rullo piegatore 3R, i quali trattengono anche il lembo più a valle del successivo foglio F4.
The central fold line of sheet F3is kept by the suction holes 43of the folding roller 3R, which 43keep also the downstream border of the following sheet F4.
L’aspirazione cesserà una volta passata la parete radiale 29 del rullo piegatore 3R.
The suction will stop once the radial wall 29of the folding roller 3R is passed.
Il lembo più a monte, cioè più arretrato, del foglio F3 si trova aderente al rullo piegatore 3R perché attratto dai fori aspiranti 41 che in Fig. 6 si trovano nella gola di piegatura 5.
The upstream border, i.e. the rear one, of sheet F3is sticking to the folding roller 3R because attracted by the suction holes 41which in FIG. 6are in the folding nip 5.
L’aspirazione cessa in questo punto a causa della chiusura di tali fori aspiranti 41 da parte degli otturatori 37 del rullo piegatore 3R.
The suction stops in this point because of the closure of such suction holes 41by the shutters 37of the folding roller 3R.
Il lembo più a monte del foglio F3 verrà così attratto sulla superficie del rullo piegatore 3L per effetto dell’aspirazione attraverso i fori aspiranti 43 dell’ allineamento (e) trovantisi nella gola 5, aspirazione che verrà mantenuta per la successiva rotazione di 60°, fino al raggiungimento della parete radiale 29 del rullo piegatore 3L.
The upstream border of sheet F3will thus be attracted on the surface of the folding roller 3L because of the effect of the suction through the suction holes 43of the alignment (e) which are in the nip 5, suction which will be maintained for the following rotation of 60°, up to the reaching of the radial wall 29of the folding roller 3L.
6(A)- 6(C) si trovano nella gola di piegatura 5, trattengono in adesione al rullo piegatore 3L anche la linea centrale del successivo foglio F4 che è stato ottenuto dal taglio del materiale nastriforme N2.
The suction holes 43of the alignment (e), which in the angular position of FIGS. 6(A)-6(C)are in the folding nip 5, keep sticking to the folding roller 3L also the central line of the following sheet F4which has been carried out by cutting web material N2.
Il lembo più a monte del foglio F4 è trattenuto sulla superficie del rullo piegatore 3L per effetto dell’aspirazione attraverso i fori aspiranti 41 dell’allineamento (d), vedasi Fig. 6(B).
The upstream border of sheet F4is kept on the surface of the folding roller 3L by effect of suction through the suction holes 41of the alignment (d), see FIG. 6(B).
7-9 mostrano, con una rotazione di 60° da una figura all’altra, il movimento dei rulli piegatori 3L, 3R e dei rispettivi allineamenti di fori aspiranti 41, 43, nonché l’effetto dell’interruzione dell’aspirazione comandata dagli otturatori stazionari 37 che si trovano all’interno dei rulli piegatori 3L e 3R con ripetizione delle fasi sopra descritte, per i successivi fogli F3-F7.
The following FIGS. 7-9show, with a rotation of 60° from a figure to another, the movement of the folding roller 3L, 3R and of the respective alignments of suction holes 41, 43, as well as the effect of interruption of suction operated by the stationary shutters 37which are inside the folding roller 3L and 3R with repetition of phases described above, for the following sheets F3-F7.
In definitiva, come si comprende dalla sequenza delle Figg.4 a 9, i fogli FI, F2, F3,.
After all, as it is understood from the sequence of FIGS. 4-9the sheets F1, F2, F3...
Fn ottenuti per taglio dei materiali nastriformi NI, N2 ed alimentati alternativamente ai rulli piegatori 3R, 3L vengono piegati ed interfogliati per mezzo dell’effetto dell’aspirazione alternata attraverso i fori aspiranti 41, 43 dei due rulli piegatori.
Fn carried out by cutting the web material N1, N2and alternatively fed to the folding roller 3R, 3L are bended and interfolded by means of the effect of alternated suction through suction holes 41, 43of the two folding rollers.
La presenza degli otturatori 37 con struttura a pettine e lo sfalsamento longitudinale degli allineamenti dei fori aspiranti 41, 43 permette di attivare e disattivare l’aspirazione nelle posizioni angolari corrette per effettuare la piegatura dei fogli ed interfogliare i fogli piegati.
The presence of the shutters 37with comb structure and the longitudinal stagger of the alignments of the suction holes 41, 43allows to activate and deactivate the suction in angular correct positions to carry out the bending of the sheets and the interfolding of the bended sheets.
Il sistema 8 può comprendere mezzi, in particolare mezzi hardware e mezzi software, atti specificamente ad implementare il metodo di riscaldamento secondo la presente invenzione e che verrà descritto nel seguito.
The change in position can be a single one during said heating, but, more typically, the position will be change repeatedly.
Il metodo di riscaldamento secondo la presente invenzione prevede che, durante il riscaldamento del suscettore (2 in Fig. 2), da una prima temperatura ad una seconda temperatura, la posizione di almeno una prima spira (43 in Fig. 2), oppure di un primo gruppo di spire, dell’induttore (4 in Fig. 2) rispetto al suscettore venga modificata; tipicamente, la seconda temperatura è superiore alla prima temperatura.
In this way, it is possible to try to have all the substrate at constant temperature even during temperature transitions.
In molti casi, sarà vantaggioso che durante il riscaldamento del suscettore, dalla prima temperatura alla seconda temperatura, la posizione di almeno una seconda spira, oppure di un secondo gruppo di spire, dell’induttore rispetto al suscettore venga modificata.
For example, at the start, all at 25° C., after one minute all at 50° C., after another minute all at 75° C., after another minute all at 100° C., after another minute all at 100° C.,..., at the end all at 1150° C.; thereafter, during the period of the epitaxial deposition, all at 1150° C. It should be noted that, to obtain temperature uniformity during temperature transitions, it will be necessary to take into account the thermal inertia of the susceptor.
La modifica di posizione della seconda spira sarà tipicamente indipendente dalla modifica di posizione della prima spira.
According to this example, to each temperature interval of the transition (25-50° C., 50-75° C., 75-100° C.,..., 1125-1150° C.) could be associated a position for each of the turns of the inductor.
La prima temperatura può essere compresa da 0°C e 50°C, ossia “temperatura ambiente”.
The first temperature mentioned previously can be for example between 0° C. and 50° C., i.e. “ambient temperature”, or it can be between 100° C. and 300° C., i.e. “loading temperature”; depending on the reactors, it is possible to load a) one or more substrates or b) one or more supporting elements with one or more substrates or c) a susceptor with one or more substrates.
La seconda temperatura può essere compresa da 500°C e 2000°C, ossia “temperatura di processo” di un processo di deposizione epitassiale.
The second temperature mentioned above can be between 500° C. and 2000° C., i.e. “process temperature” of a process of epitaxial deposition.
In generale, una o più spire modificheranno opportunamente la loro posizione (allontanandosi dal od avvicinandosi al suscettore) durante tutto il periodo di riscaldamento del reattore in modo tale che la temperatura della faccia superiore del suscettore e dei substrati supportati sia uniforme.
In general, one or more turns will appropriately and repeatedly modify their position (moving them away from or approaching them to the susceptor) during the entire heating period of the reactor from the first temperature to the second temperature so that the temperature of the upper face of the susceptor and of the supported substrates is uniform preferably instant by instant during the entire heating period.
La geometria (in particolare piana) dell’induttore ha una corrispondenza con la geometria (cilindrica con altezza molto minore del diametro) del suscettore.
The geometry (in particular flat) of the inductor has a correspondence with the geometry (cylindrical with far smaller height than diameter) of the susceptor.
Poiché il suscettore è piuttosto sottile, la differenza di temperatura tra faccia inferiore e faccia superiore è piuttosto bassa (ad esempio 50-100°C), e la temperatura del suscettore può essere schematizzata, in prima approssimazione, con un diagramma radiale.
Since the susceptor is rather thin, the temperature difference between lower face and upper face is rather low (e.g. 50-100° C.), and the temperature of the susceptor can be schematically represented, in first approximation, with a radial diagram.
Tali modifiche di posizione avverranno tipicamente sotto il controllo di un sistema di controllo.
These position changes will typically take place under the control of a control system.
Durante il riscaldamento, il controllo di posizione delle spire è preferibilmente “ad anello aperto” ed il controllo elettrico dell’induttore è preferibilmente “ad anello aperto”; si tratta di un controllo semplice, ma persino migliore di quello “ad anello chiuso” per questa applicazione.
During heating and before deposition, control of the position of the turns is preferably “open loop” and the electrical control of the inductor is preferably “open loop”; it is a simple control, but even better than the “closed loop” control for this application.
Preferibilmente, durante il controllo “ad anello aperto”, si può rilevare la temperatura ad esempio tramite una termocamera.
Preferably, during “open loop” control, the temperature can be measured for example by means of a thermographic camera.
La legge di controllo può essere ad esempio memorizzata in una tabella; ogni riga corrisponde ad una differente temperatura (ad esempio la temperatura media del substrato rilevata dalla termocamera), per ogni temperatura è prevista una potenza elettrica da fornire all’induttore e, ad esempio, posizioni verticali delle spire dell’induttore.
The control law can be for example stored in a table; each row corresponds to a different temperature (for example the average temperature of the substrate measured by the thermographic camera), for each temperature, an electrical power to be supplied to the inductor is provided as are, for example, vertical positions of the turns of the inductor.
Si inizia dalla prima temperatura (ad esempio temperatura ambiente) e si imposta la prima potenza e le prime posizioni; quando la termocamera rileva la seconda temperatura, si imposta la seconda potenza e le seconde posizioni; e così via.
Starting from the first temperature (for example ambient temperature) the first power and the first positions are set; when the thermographic camera measures the second temperature, the second power and the second positions are set; and so on.
I dati per il “controllo ad anello aperto” derivano tipicamente da una o più campagne di esperimenti.
The data for the “open loop control” derive typically from one or more experimental campaigns.
Si è rilevato che i risultati migliori si ottengono quando la posizione delle spire viene modificata secondo una “legge sperimentale”.
It has been observed that the best results are obtained when the position of the turns is modified according to an “experimental law”.
Il vantaggio di utilizzare un controllo “ad anello aperto” sta nel fatto che, di processo in processo, a cambiare a livello termico è, in prima approssimazione, solo la temperatura finale della “ricetta di processo” (che si può considerare la “temperatura di processo”), e non la rampa per giungere a tale temperatura.
The advantage of using an “open loop” control is that, from process to process, only the final temperature of the “process recipe” (which can be considered the “process temperature”) changes at the thermal level in first approximation, and not the ramp to reach said temperature.
Dovendo realizzare una rampa di temperatura sempre identica a sé stessa (o comunque molto simile) non vale la pena di inserire un controllo “ad anello chiuso”, che, per sua natura, è eccellente nel gestire situazioni sempre diverse ed impreviste.
Since a temperature ramp that is always identical to itself (or very similar) has to be realised, it is not worthwhile to include a “closed loop” control, which, by its nature, is excellent in managing ever different and unforeseen situations.
In questo modo, persino tramite una sola campagna sperimentale, è possibile individuare una legge ottimale, svincolarsi dal problema dell’inerzia termica del suscettore ed evitare pericolose instabilità del sistema controllato.
In this way, through just one experimental campaign, it is possible to identify an optimal law, to obviate the problem of the thermal inertia of the susceptor and to avoid dangerous instabilities of the controlled system.
Durante i processi di deposizione epitassiale (ossia dopo la fase di riscaldamento e prima della fase di raffreddamento) è preferibile operare in modo diverso.
During epitaxial deposition processes (i.e. after the heating phase and before the cooling phase) it is preferable to operate in a different way.