mwirth-epo/epo-nmt-datasets huggingface dataset:
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie comprendente un telaio (2) rigido, un visore (3) trasparente, un facciale (4) morbido applicabile a tenuta sul viso dell’utente e presentante un diaframma (7) che delimita una camera superiore (8) di visione conformata così da contenere gli occhi dell’utente ed una camera inferiore (9) di respirazione conformata così da contenere il naso e la bocca dell’utente, caratterizzata dal fatto di comprendere un primo circuito bidirezionale di scambio forzato di aria indotto dalla respirazione (5) dell’utente, detto primo circuito (5) collegando detta camera inferiore (9) con l’ambiente atmosferico esterno, ed un secondo circuito bidirezionale di scambio convettivo di aria indotto dalla differenza di temperatura (10) tra la camera superiore (8) e l’ambiente atmosferico esterno, detto secondo circuito (10) collegando detta camera superiore (8) con l’ambiente atmosferico esterno per la aerazione (10) della camera superiore (8) e comprendendo un diffusore (31) estendentesi internamente alla camera superiore (8) verso la zona antistante gli occhi dell’utente.
A mask (1) for surface snorkelling comprising a rigid frame (2), a transparent visor (3), a soft face mask (4) sealingly applicable to the face of the user and having a membrane (7) which delimits an upper viewing chamber (8) being shaped to contain the eyes of the user and a lower breathing chamber (9) being shaped to contain the nose and mouth of the user, characterised in thatit comprises a first two-way circuit of forced air exchange induced by a user's breathing (5), said first circuit (5) connecting said lower chamber (9) with the external atmospheric environment, and a second bidirectional circuit of convective air exchange induced by the temperature difference (10) between the upper chamber (8) and the external atmospheric environment, said second circuit (10) connecting said upper chamber (8) with the external atmospheric environment for aeration (10) of the upper chamber (8) and comprising a diffuser (31) extending internally of the upper chamber (8) towards the zone in front of the user's eyes.
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto diffusore (31) presenta una conformazione tubolare.
The mask (1) for surface snorkelling according to claim 1, characterised in thatsaid diffuser (31) has a tubular shape.
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detto diffusore (31) è delimitato dalla parete interna del visore (3) e da un elemento indipendente di demarcazione (32) montato sulla parete interna del visore (3).
The mask (1) for surface snorkelling according to any one of the preceding claims, characterised in thatsaid diffuser (31) is delimited by the internal wall of the visor (3) and by an independent marking out element (32) mounted on the internal wall of the visor (3).
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto primo circuito (5) comprende un primo condotto (11) di collegamento di detta camera inferiore (9) all’ambiente atmosferico esterno alla maschera (1), e detto secondo circuito (10) comprende un secondo condotto (12) di collegamento di detta camera superiore (8) all’ambiente atmosferico esterno alla maschera (1), e dal fatto che detto primo e secondo condotto (11, 12) sono muniti di mezzi otturatori a galleggiante (13a, 13b).
The mask (1) for surface snorkelling according to claim 1, characterised in thatsaid first circuit (5) comprises a first connecting conduit (11) for connecting said lower chamber (9) to the atmospheric environment external to the mask (1), and said second circuit (10) comprises a second connecting conduit (12) for connecting said upper chamber (8) to the atmospheric environment external to the mask (1), and in thatsaid first and second conduits (11, 12) are equipped with floating shutter means (13a, 13b).
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo la rivendicazione precedente, caratterizzata dal fatto che detto primo condotto (11) presenta una sezione di passaggio libera per tutta la sua lunghezza quando detti mezzi otturatori (13a, 13b) sono in posizione di apertura così stabilendo un collegamento d’aria diretto di detta camera inferiore (9) all’ambiente atmosferico esterno alla maschera.
The mask (1) for surface snorkelling according to the preceding claim, characterised in thatsaid first conduit (11) has a passage section which is free throughout its length when said shutter means (13a, 13b) are in open position thus establishing a direct air connection of said lower chamber (9) to the atmospheric environment external to the mask.
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo una qualunque rivendicazione da 4 a 5, caratterizzata dal fatto che detto secondo condotto (12) presenta una sezione di passaggio libera per tutta la sua lunghezza quando detti mezzi otturatori (13a, 13b) sono in posizione di apertura così stabilendo un collegamento d’aria diretto di detta camera superiore (8) all’ambiente atmosferico esterno alla maschera (1).
The mask (1) for surface snorkelling according to any one of claims 4 and 5, characterised in thatsaid second conduit (12) has a passage section which is free throughout its length when said shutter means (13a, 13b) are in open position thus establishing a direct air connection of said upper chamber (8) to the atmospheric environment external to the mask (1).
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo una qualsiasi delle rivendicazioni da 4 a 7, caratterizzata dal fatto che detto diffusore (31) è disposto sul prolungamento del secondo condotto (12).
The mask (1) for surface snorkelling according to any one of claims from 4 to 7, characterised in thatsaid diffuser (31) is arranged on an extension of the second conduit (12).
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo una qualunque rivendicazione da 4 a 7, in cui detto secondo condotto (12) comprende una parte prossimale (12a) che sfocia nella detta camera superiore (8) ed una parte distale (12b) da detta camera superiore (8), caratterizzata dal fatto che detta parte prossimale (12a) è collegata a detto visore (3) e realizzata di pezzo con detto visore (3) e detta parte distale (12b) è impegnata rimovibilmente con detta parte prossimale (12a) e supporta detti mezzi otturatori (13).
The mask (1) for surface snorkelling according to any one of claims from 4 to 7, wherein said second conduit (12) comprises a proximal part (12a) which opens in said upper chamber (8) and a distal part (12b) from said upper chamber (8), characterised in thatsaid proximal part (12a) is connected to said visor (3) and is made in one-piece with said visor (3) and said distal part (12b) is removably engaged with said proximal part (12a) and supports said shutter means (13).
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo la rivendicazione precedente, in cui detto diffusore (31) presenta un accoppiamento meccanico o di attrito o di forma con detta parte prossimale (12a) del secondo condotto (12).
The mask (1) for surface snorkelling according to the preceding claim, wherein said diffuser (31) has a mechanical or friction or shape coupling with said proximal part (12a) of the second conduit (12).
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo la rivendicazione 4, in cui detto primo condotto (11) comprende una parte prossimale (11a) che sfocia nella detta camera inferiore (9) ed una parte distale (11b) da detta camera inferiore (9), caratterizzata dal fatto che detta parte prossimale (11a) è delimitata da scanalature (16, 17) contrapposte rispettivamente di detto visore (3) e di detto facciale (4), e detta parte distale (11b) è impegnata rimovibilmente con detta parte prossimale (11a) e supporta detti mezzi otturatori (13a, 13b).
The mask (1) for surface snorkelling according to claim 4, wherein said first conduit (11) comprises a proximal part (11a) which opens in said lower chamber (9) and a distal part (11b) from said lower chamber (9), characterised in thatsaid proximal part (11a) is delimited by opposite grooves (16, 17) respectively of said visor (3) and said face mask (4), and said distal part (11b) is removably engaged with said proximal part (11a) and supports said shutter means (13a, 13b).
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo la rivendicazione precedente, in cui detto visore (3) presenta una parete anteriore (18) presentante una porzione piana (18a) che delimita detta camera superiore (8) ed una porzione (18b) concava verso l’interno che delimita detta camera inferiore (9), ed una parete laterale (19) che si sviluppa perimetralmente e posteriormente alla detta parete anteriore (18), caratterizzata dal fatto che detta scanalatura (17) in detto visore (3) è delimitata da un setto (20) che si prolunga da detta porzione piana (18a).
The mask (1) for surface snorkelling according to the preceding claim, wherein said visor (3) has a front wall (18) having a flat portion (18a) which delimits said upper chamber (8) and an inwardly concave portion (18b) which delimits said lower chamber (9), and a lateral wall (19) which extends peripherally and at the rear of said front wall (18), characterised in thatsaid groove (17) in said visor (3) is delimited by a partition (20) that extends from said flat portion (18a).
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo la rivendicazione precedente, in cui detto visore (3) presenta una parete anteriore (18) presentante una porzione piana (18a) che delimita detta camera superiore (8) ed una porzione (18b) concava verso l’interno che delimita detta camera inferiore (9), ed una parete laterale (19) che si sviluppa perimetralmente e posteriormente alla detta parete anteriore (18), caratterizzata dal fatto che detto facciale (4) presenta un labbro perimetrale (26) e dal fatto che lungo il bordo perimetrale esterno di detta parete laterale (19) è formata una scanalatura (25) di alloggiamento di detto labbro (26).
The mask (1) for surface snorkelling according to the preceding claim, wherein said visor (3) has a front wall (18) having a flat portion (18a) which delimits said upper chamber (8) and an inwardly concave portion (18b) which delimits said lower chamber (9), and a lateral wall (19) which extends peripherally and at the rear of said front wall (18), characterised in thatsaid face mask (4) has a peripheral lip (26) and in thatalong the external peripheral edge of said lateral wall (19) a groove (25) is formed to house said lip (26).
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo la rivendicazione precedente, caratterizzata dal fatto che detto labbro (26) presenta una scanalatura perimetrale (28) di alloggiamento di detto telaio (2).
The mask (1) for surface snorkelling according to the preceding claim, characterised in thatsaid lip (26) has a peripheral groove (28) to house said frame (2).
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo la rivendicazione 4, caratterizzata dal fatto che detto primo e detto secondo condotto (11, 12) sono giustapposti.
The mask (1) for surface snorkelling according to claim 4, characterised in thatsaid first and said second conduit (11, 12) are juxtaposed.
Maschera (1) per la pratica dello snorkeling in superficie secondo la rivendicazione 4, caratterizzata dal fatto che detto primo e secondo condotto (11, 12) sono posizionati lateralmente rispetto ad un asse di simmetria centrale del detto visore (3).
The mask (1) for surface snorkelling according to claim 4, characterised in thatsaid first and second conduits (11, 12) are positioned laterally with respect to a central axis of symmetry of said visor (3).
METODO DI RISCALDAMENTO PER UN REATTORE PER DEPOSIZIONE EPITASSIALE E REATTORE PER DEPOSIZIONE EPITASSIALE DESCRIZIONE CAMPO DELL’INVENZIONE La presente invenzione riguarda un metodo di riscaldamento per un reattore per deposizione epitassiale ed un reattore per deposizione epitassiale.
The present invention relates to a heating method for a reactor for epitaxial deposition and a reactor for epitaxial deposition.
STATO DELLA TECNICA Qualsiasi reattore epitassiale comprende un sistema di riscaldamento per riscaldare i substrati da sottoporre a crescita epitassiale.
Any epitaxial reactor comprises a heating system to heat the substrates to be subjected to epitaxial growth.
Una fase di processo di deposizione epitassiale è preceduta da una fase di riscaldamento ed è seguita da una fase di raffreddamento.
A phase of an epitaxial deposition process is preceded by a heating phase and it is followed by a cooling phase.
Il riscaldamento può essere, ad esempio, del tipo a induzione elettromagnetica.
Heating can be, for example, of the electromagnetic induction type.
Spesso, in questo caso, il sistema di riscaldamento riscalda direttamente un suscettore (che si trova all’interno della camera di reazione del reattore epitassiale), ed i substrati ricevono calore per conduzione dal suscettore (che li supporta).
Often, in this case, the heating system directly heats a susceptor (which is located inside the reaction chamber of the epitaxial reactor), and the substrates receive heat by conduction from the susceptor (which supports them).
Sempre, in questo caso, il sistema di riscaldamento comprende almeno un induttore.
Always, in this case, the heating system comprises at least one inductor.
In passato, la presente Richiedente aveva previsto la possibilità che una o più delle spire di un tale induttore fossero mobili: si veda il documento brevettuale WO9610659A2.
In the past, the present Applicant had provided the possibility that one or more of the turns of such an inductor be movable: the patent document WO9610659A2.
Secondo questa soluzione, l’induttore era composto da una pluralità di cerchi rigidi collegati elettricamente e meccanicamente mediante ponti flessibili; un solo cerchio veniva mosso mediante un solo motore elettrico ed un solo attuatore traslante montato sull’albero del motore; la deformazione provocata da tale attuatore era interamente a carico dei ponti flessibili.
According to this solution, the inductor consisted of a plurality of rigid circles connected electrically and mechanically by flexible bridges; a single circle was moved by means of a single electric motor and a single translating actuator mounted on the shaft of the motor; the deformation caused by said actuator was entirely borne by the flexible bridges.
Le spire venivano posizionate in posizioni desiderate prima di iniziare il riscaldamento e quindi ben prima di iniziare la deposizione epitassiale; tale posizionamento era una delle operazioni del settaggio iniziale del reattore.
The turns were positioned in desired positions before starting the heating operation and hence well before starting epitaxial deposition; this positioning was one of the operations of the initial setting of the reactor.
L’obiettivo principale di un sistema di riscaldamento per reattore epitassiale era ed è quello di ottenere una temperatura uniforme del substrato durante il processo.
The main objective of a heating system for epitaxial reactor was and is to obtain a uniform temperature of the substrate during the process.
Un obiettivo secondario di un sistema di riscaldamento per reattore epitassiale era ed è quello di raggiungere la temperatura di processo in tempo breve.
A secondary objective of a heating system for epitaxial reactor was and is to reach the process temperature in a short time.
SOMMARIO Inoltre, la Richiedente si è resa conto, grazie ad esperimenti che ha effettuato, che è molto vantaggioso che la temperatura del substrato sia uniforme non solo durante il processo, ma anche durante il riscaldamento; il vantaggio può essere legato, ad esempio, alla riduzione di stress termici e difetti, in particolare “slip lines”.
The Applicant has realised, through experiments that it conducted, that it is very advantageous for the temperature of the substrate to be uniform not only during the process, but also during heating, or, rather, instant by instant during heating that precedes the epitaxial deposition process; the advantage can be tied, for example, to the reduction of thermal stresses and defects, in particular “slip lines”.
La Richiedente si è posta quindi l’obiettivo di fornire una soluzione che consenta di ottenere una temperatura del substrato uniforme sia durante il riscaldamento che durante la deposizione epitassiale.
The Applicant then set itself the objective of providing a solution that makes it possible to obtain a uniform temperature of the substrate both during heating and during the subsequent epitaxial deposition.
La Richiedente si è posta inoltre l’obiettivo di fornire una soluzione che consenta di raggiungere la temperatura di processo in tempo breve.
The Applicant also set itself the objective of providing a solution that makes it possible to reach the process temperature in a short time.
La Richiedente si è posta infine l’obiettivo di fornire una soluzione non sono efficace, ma anche semplice.
Lastly, the Applicant has set itself the objective of provide a solution that is not only effective, but also simple.
ELENCO DELLE FIGURE La presente invenzione risulterà più chiara dalla descrizione dettagliata che segue da considerare assieme ai disegni annessi in cui: Fig. 1 mostra una vista schematica in sezione verticale di una camera di reazione di un esempio di realizzazione di un reattore per deposizione epitassiale secondo l’arte nota, Fig. 2 mostra una vista schematica in sezione verticale di una camera di reazione di un esempio di realizzazione di un reattore per deposizione epitassiale secondo la presente invenzione, e Fig. 3 mostra in modo schematico una vista dall’alto di un induttore del reattore di Fig. 2.
These objectives are substantially achieved thanks to the heating method and to the reactor for epitaxial reactor having the technical features set forth in the accompanying claims The present invention shall become more readily apparent from the detailed definition that follows to be considered together with the accompanying drawings in which: FIG. 1shows a vertically sectioned schematic view of a reaction chamber of an embodiment of an epitaxial reactor according to the prior art, FIG. 2shows a vertically sectioned schematic view of a reaction chamber of an embodiment of an epitaxial reactor according to the present invention, and FIG. 3schematically shows a top view of an inductor of the reactor of FIG. 2.
Come si comprende facilmente, vi sono vari modi di implementare in pratica la presente invenzione che è definita nei suoi principali aspetti vantaggiosi nelle rivendicazioni annesse.
As is easily understandable, there are various way of implementing in practice the present invention which is defined in its main advantageous aspects in the appended claims.
DESCRIZIONE DETTAGLIATA Fig. 1 mostra una vista schematica in sezione verticale di una camera di reazione di un esempio di realizzazione di un reattore per deposizione epitassiale 1 secondo l’arte nota.
FIG. 1shows a vertically sectioned schematic view of a reaction chamber of an embodiment of an epitaxial reactor 1according to the prior art.
La camera di reazione è dotata di una cavità 10 definita da una parete superiore 11 (in particolare di quarzo trasparente), una parete inferiore 12 (in particolare di quarzo trasparente) e pareti laterali (in particolare fatte di quarzo trasparente) non mostrate in figura.
The reaction chamber is provided with a cavity 10defined by an upper wall 11(in particular made of transparent quartz), a lower wall 12(in particular made of transparent quartz) and lateral walls (in particular made of transparent quartz) not shown in the figure.
Un suscettore 2 è posto all’interno della cavità 10 ed è atto a supportare e riscaldare substrati durante deposizione epitassiale.
A susceptor 2is positioned within the cavity 10and it is adapted to support and heat substrates during epitaxial deposition.
Nel caso di Fig. 1, vi è un solo substrato 100 che è adagiato sul un elemento di supporto 3 (di forma discoidale, precisamente di cilindro con altezza moltissimo minore del diametro, disposto orizzontalmente e fatto di grafite eventualmente ricoperta di SiC o TaC) che, a sua volta, è adagiato sul suscettore 2 (di forma discoidale, precisamente di cilindro con altezza molto minore del diametro, disposto orizzontalmente e fatto di grafite eventualmente ricoperta di SiC o TaC); l’elemento 3 non è indispensabile ai fini della presente invenzione.
In the case of FIG. 1, there is a single substrate 100that is laid on a support element 3(with disk-like shape, specifically of a cylinder with far smaller height than diameter, positioned horizontally and made of graphite which may be coated with SiC or TaC) which, in turn, is laid on the susceptor 2(with disk-like shape, specifically of a cylinder with far smaller height than diameter, positioned horizontally and made of graphite which may be coated with SiC or TaC), the element 3is not indispensable for the purposes of the present invention.
È previsto un sistema di riscaldamento che comprende almeno un induttore 4 atto a riscaldare il suscettore 2 per induzione elettromagnetica quando alimentato elettricamente; l’induttore 4 è piano e comprende una pluralità di spire 41-47 (in particolare sette spire concentriche nell’esempio di Fig. 1), tipicamente connesse elettricamente in serie.
A heating system is provided that comprises at least one inductor 4adapted to heat the susceptor 2by electromagnetic induction when it is supplied electrical power; the inductor 4is flat and it comprises a plurality of turns 41-47(in particular seven concentric turns in the example of FIG. 1), typically connected electrically in series.
Il sistema può comprendere altri induttori sotto la camera, ma, tipicamente, nulla sopra la camera.
The system can comprise other inductors under the chamber, but, typically, nothing over the chamber.
All’interno della cavità 10 vi sono pareti interne 14 orizzontali allineate al substrato 100.
Inside the cavity 10are horizontal inner walls 14aligned to the substrate 100.
Il suscettore 2 è fissato ad un albero 5 rotante attorno ad un asse Z verticale.
The susceptor 2is fastened to a rotating shaft 5around a vertical axis Z. The lower wall 12has a hole and a sleeve 13for the passage of the shaft 5.
L’induttore 4 è situato sotto la parete inferiore 12 attorno al manicotto 13.
The inductor 4is situated under the lower wall 12around the sleeve 13.
L’esempio di realizzazione di Fig. 2 è un miglioramento della soluzione di Fig. 1 o di soluzioni similari.
The embodiment of FIG. 2is an improvement of the solution of FIG. 1or of similar solutions.
In Fig. 2, si vedono alcuni componenti di un sistema di movimentazione 6 per muovere le spire dell’induttore 4: un motore elettrico 61, una coppia di attuatori 62 con una corrispondente coppia di potenziometri (non mostrati in figura), ed una trasmissione 63.
In FIG. 2, some components of an actuation system 6to move the turns of the inductor 4are seen: an electric motor 61, a pair of actuators 62with a corresponding pair of potentiometers (not shown in the figure), and a transmission 63.
In Fig. 2, si vede una termocamera 7 posta sopra la parete superiore 11 atta a rilevare la temperatura nella camera, in particolare del substrato 100, in una sottile area radiale sottostante; in particolare, tale area radiale si estende tra l’asse Z (o molto vicino ad esso) ed il bordo del substrato 100 (o molto vicino ad esso); tale area di misura è sufficiente poiché il suscettore ed il substrato ruotano.
In FIG. 2, a thermographic camera 7is shown, located above the upper wall 11adapted to measure temperature in the chamber, in particular of the substrate 100, in a thin underlying radial area; in particular, the radial area extends between the axis Z (or very close thereto) and the edge of the substrate 100(or very close thereto); this measurement area is sufficient because the susceptor and the substrate rotate.