கேள்வி: நுண் மின் எந்திர அமைப்புகள் என்பது என்ன?
பதில்: படிமம்:MEMsfounding.jpg படிமம்:MEMS_Microcantilever_in_Resonance.pngயின் உள்ளே ஒத்ததிரும் நுண்வளைவிட்டம்]] நுண் மின் எந்திர அமைப்புகள் (''Microelectromechanical systems'')(MEMS) என்பன மின்னன், நகரும் பகுதிகளை உள்ளடக்கிய நுண் கருவிகளின் தொழில்நுட்பமாகும். நுண் மின எந்திர அமைப்புகள் 1 முதல் 100 மைக்ரோமீட்டர் அளவு (அதாவது 0.001 முதல் 0.1மிமீ வரை) அளவு உறுப்புகளால் ஆனது. நுண் மின எந்திர அமைப்புகள் பொதுவாக 20 மைக்ரோமீட்டர்கள் முதல் ஒரு மில்லிமீட்டர் வரை (அதாவது 0.02 முதல் 1.0 மிமீ வரை இருக்கும்)&nbsp;, வரிசைகளில் அமைக்கப்பட்ட உறுப்புகள் (எ.கா. இலக்கவியல் நுண்தெறிப்புக் கருவிகள் ) 1000 மிமீ 2 அள்வுக்கு மேல் இருக்கலாம்&nbsp; அவை வழக்கமாக தரவுகளை செயலாக்கும் ஒரு மைய அலகு ( நுண்செயலி போன்ற ஒரு தொகுசுற்று சில்லு), சுற்றுப்புறங்களுடன் தொடர்பு கொள்ளும் பல உறுப்புகளைக் ( உணரி போன்றவற்றைக்) கொண்டிருக்கும். நுண் மின எந்திர அமைப்புகளின் பெரிய பரப்பு/பருமன் விகிதத்தால், பெரிய அளவு எந்திரக் கருவிகளை விட, சூழல் மின்காந்தவியலும் ( எடுத்துகாட்டாக, நிலைமின் ஊட்டங்கள், காந்தத் திருப்புமைகள்) பாய்ம இயங்கியலும் (எடுத்துகாட்டாக, பரப்பு இழுவிசை, பிசுபிசுப்பு) உருவாக்கும் விசைகள் வடிவமைப்பில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. நுண் மின எந்திர அமைப்புகளின் தொழில்நுட்பம் மூலக்கூற்ரு மீநுண் தொழில்நுட்பங்கள் அல்லது மூலக்கூற்று மின்னனியலில் இருந்து வேறுபட்டனவாகும்நேனெனில் பின்னவை இரன்டும் பரப்பு வேதியியலையும் கருதுத்ல வேண்டும். மிகச்சிறிய இயந்திரங்களின் ஆற்றல், அவற்றை உருவாக்கக்கூடிய தொழில்நுட்பம் உருவாவதற்கு முன்பே பாராட்டப்பட்டது ( எடுத்துகாட்டாக, ரிச்சர்டு பெயின்மான் புகழ்பெற்ற 1959 விரிவுரை , கீழே உள்ள அறைகள் நிறைய உள்ளன ). மாற்றியமைக்கப்பட்ட குறைக்கடத்திக் கருவியின் புனைவமைப்புத் தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்திக் கருவிகள் புனையப்பட்டவுடன் நுண் மின எந்திர அமைப்புகள் நடைமுறைக்கு வந்தது, பொதுவாக மின்னணுவியல் உருவாக்க இது பயன்படுகிறது. வார்ப்பு, முலாம் பூசுதல், ஈரப் பொறித்தல் ( பொட்டாசியம் ஐதராக்சைடு, TMAH ) உலர் பொறித்தல் ( RIE, DRIE), மின்னிறக்க இயந்திரவினை (EDM), சிறிய கருவிகளை உருவாக்கும் திறன் கொண்ட பிற தொழில்நுட்பங்கள் ஆகியவை இதில் அடங்கும். அவை மீநுண் அளவில் மீநுண் மின் எந்திர அமைப்புகளாகவும் (NEMS.) மற்றும் நானோ தொழில்நுட்பம் தொழில்நுட்பமாகவும் இணைகின்றன.
கேள்வி: நுண் மின் எந்திர அமைப்புகள் - மேலும் படிக்க குறித்து விரிவாக சொல்லுங்கள்.
பதில்: * [http://www.microsystems.ru/eng/conf_news.php?id_table=1&file=102.htm நுண், மீநுண் நுட்ப இதழ்] * '' நுண்ணமைப்புத் தொழில்நுட்பங்கள்'', வெளியீடு ஸ்பிரிங்கர் பதிப்பகம், [https://www.springer.com/east/home?SGWID=5-102-70-1113744-0&changeHeader=true&referer=www.springeronline.com&SHORTCUT=www.springer.com/journal/542 இதழ் முகப்பு] *