除了操作數相關的µPATH變化性，還有多種微架構特徵可能導致硬體側通道的存在。這些特徵包括：
資源競爭：當多個指令同時訪問共享資源（如快取、記憶體端口或功能單元）時，可能會導致執行延遲，這種延遲可以被攻擊者觀察到，從而推斷出敏感數據。例如，當一個指令在訪問快取時，另一個指令可能會因為快取未命中而遭遇延遲，這種延遲的變化可以被用來推測其操作數。
推測執行：在支持推測執行的設計中，指令的執行路徑可能會根據預測的結果而變化。這種變化可能導致不同的µPATH，並且如果推測的結果依賴於敏感數據，則可能會導致側通道洩漏。例如，當一個指令的執行依賴於先前指令的結果時，攻擊者可以通過觀察執行時間來推測這些結果。
微架構狀態：微架構的內部狀態（如重排序緩衝區、分支預測器的狀態等）也可能影響指令的執行路徑。這些狀態的變化可能會導致不同的µPATH，並且如果這些狀態受到敏感數據的影響，則可能會導致側通道洩漏。
執行延遲：某些指令的執行時間可能會根據其操作數的特性而變化，例如變量延遲的算術單元。這種延遲的變化可以被觀察到，並用來推測指令的操作數。
這些微架構特徵的變化性不僅影響指令的執行效率，還可能成為潛在的側通道攻擊向量，進一步強調了在設計和驗證過程中考慮這些特徵的重要性。