靜電集塵一定會產生臭氧，這是跟其作用原理有關，但這不代表機器有臭氧問題，因為是否有臭氧問題需要考慮到的是濃度，任何不討論濃度問題而只抓著靜電集塵機種會產生臭氧狂打的都並不公允，目前台灣對於室內的要求是濃度低於0.06ppm，美國FDA有規定到0.05ppm，此外臭氧的活性很強，即使產生也很容易就反應掉而不會累積。
目前對於臭氧濃度的檢驗，一般是在實驗艙環境連續運轉24小時累積濃度(其實不用到24小時就已經穩定了)，只要通過這個測試基本上可以相信機器沒有問題，因為現實生活中更不容易像密閉的實驗環境那樣容易累積，而以現在的技術水準，不管是挑戰直接控制臭氧產生量，或是使用催化/活性碳作後端處理都不是辦不到的，所以臭氧問題已經不太能算是靜電集塵的弱點了。