在光阻塗佈過程中對晶圓的影響因素有很多，例如手臂的精度、穩定性、速度、機械振動等因素都有密切相關。機械手臂必須具有高度的精度和穩定性，以確保光阻均勻塗佈在整個晶圓表面。 如果機械手臂有不穩定性或精確度問題，可能導致光阻層不均勻，進而影響後續製程步驟的品質。機械手臂的振動可能會傳遞到晶圓上，造成振動對光阻均勻性的影響。 因此，確保減小機械振動對晶圓表面的影響是非常重要的。