藉由 OLVMS-ML 機器學習智能監控系統，根據手臂取放晶圓、移動過程中，X軸、Y軸、Z軸、θ軸動作產生之綜合振動動態，在優良狀態下的進行規範學習，透過重覆性的動作訊號辨識與規範比對結果，細拆檢測手臂Z軸、Ｙ軸θ軸、X軸與是否為穩定運行狀態，當判定為非穩定運作時，提前進行處置，達到機械動作品質檢測與預防保養目的。