內部振動源：設備運轉時，就會發生振動。所以泛指工廠內的各式設備、以及工作人員或搬運車輛移動時所發生的振動。外部振動源：廠外經過的重載車輛、或是建築工地打地樁、風力 、地震等等，只要會對建築產生作用力的都會影響到建物發生微振動。先進製程不斷的發展與提升，是現在世界各大半導體廠的首要目標，製程能夠得以持續的進步，除了大量研發人員的投入，相對應製程設備與量測儀器的投資與技術提升是進步很大之關鍵，而這些高精密的儀器則更需要有良好的環境才可以發揮其最大的效能。精密製程設備與量測儀器之振動因素已成為高科技產業導入先進製程之主要問題之一，因此各大半導體廠在規劃新廠時，振動的影響也勢必成為各大半導體廠所必須面對重大的課題之一。