摘要-
本計畫“前瞻性無鉛微型壓電式超音波傳感器(PMUT)的開發與優化:從材料走到元件”，將致力於發展新型的無鉛微型壓電式超音波元件平台，不僅是打造創新的應用，並且開創一個環境友善的系統。在此計畫中，我們將探討無鉛材料的製備與合成，材料的應用與優化，薄膜製備於軟性基板，一邊建立無鉛微型壓電式超音波傳感器(PMUT)的初階版本，也同時一邊驗證元件的表現。為了達成計畫目標，本團隊由三個不同國家的小組所構成，利用各個小組的專長互相交流，整合出最佳成果。在台灣的團隊，主要負責壓電材料的應用，製備初版微型壓電式傳感器，以及模擬元件表現驗證的部分；在拉脫維亞的團隊，主要負責無鉛材料的製備，在過往他們有當豐富的經驗，能製備出特性良好的無鉛壓電材料；在立陶宛的團隊，他們目前已經握有成熟的壓電材料分析的技術，是寬能隙介電材料及聲學分析領域的專家。相信在多個團隊的合作之下，將大大提升此無鉛材料元件的發展性。
本計畫的目標，是打造出一個可以廣泛應用於生醫和其他各種領域的，無鉛材料微型壓電式超音波傳感器。我們藉由多種製備方式，例如:脈衝雷測沉積系統，刮刀徒步系統，創造出元件更多的應用性，相信能完成一個特性卓越的壓電式超音波元件平台。