針對曝光機避震平台做各軸向的量測，可得知各軸向變化，並將振動訊息可視化是把量測到的數值直接轉換成可以直觀形象理解的圖形或圖像表示方式，搭配現場操作人員經驗進而發現製程隱含的訊息做為機台各軸向維修門檻設立或線上監控的依據。利用 OLVMS-ML 機器學習智能監控系統學習正確動作行為作為規範，為各別動作進行監測與診斷，透過系統了解設備在哪一個動作出現異常或不穩定的狀態，提早進行預知保養，避免無預警異常的發生。