Do sự phức tạp của phân tích dữ liệu XRD, thành phần hóa học tương đối của các mẫu thực hiện phân tích XRD cần phải được biết trước để xác định chính xác các pha có trong mẫu. Thông tin này có thể được cung cấp khi nhận mẫu; nếu không, phân tích bán định lượng một phần mẫu sẽ được thực hiện với XRF để xác định thành phần theo khối lượng.