Sấy thăng hoa gồm có 3 giai đoạn Giai đoạn làm lạnh sản phẩm: trong giai đoạn này do hút chân không làm áp suất trong buồng sấy giảm, ẩm thoát ra chiếm khoảng 10 – 15%. Giai đoạn thăng hoa: giai đoạn này chế độ nhiệt trong buồng sấy đã ở chế độ thăng hoa. Ẩm trong vật dưới dạng rắn sẽ thăng hoa thành hơi và thoát ra khỏi vật. Giai đoạn bay hơi ẩm: trong giai đoạn này nhiệt độ của vật tăng lên. Ẩm trong vật là ẩm liên kết và ở trạng thái lỏng. Nhiệt độ môi chất trong buồng sấy lúc này cũng cao hơn giai đoạn thăng hoa