Для здійснення процесу карбонітрації використовується шахтна електрична піч-ванна з тиглем з титанового сплаву, що запобігає забруднення розплаву солі і істотно поліпшує якість зміцненого шару. Деталі перед карбонітрацією обов’язково попередньо підігріваються до 300-350 ° С в окремій печі. Для очищення деталей від налипшої солі використовуються промивні ванни з гарячою чи холодною водою.