Temiz odalarda malzeme testi için ilgili standartlar şunlardır: ISO 14644 1:2016-06 "Temiz odalar ve ilgili temiz oda alanları - Bölüm 1:Parçacık konsantrasyonuna dayalı hava saflığının sınıflandırılması ", ISO 14644-14 "Temiz odalar ve ilgili temiz oda alanları - Bölüm 14:Havadaki partikül konsantrasyonuna göre cihazların temiz oda uygunluğunun değerlendirilmesi " ve VDI 2083 sayfa 9.1 "Temiz oda teknolojisi - temizlik uygunluğu ve yüzey temizliğ" kılavuzu.