Os microfones MEMS (sistemas microeletromecânicos) são robustos e, portanto, altamente resistentes a influências ambientais, flutuações de temperatura e envelhecimento. Como resultado, a tendência direcional durante o uso nos sistemas multi-microfone permanece constante e os aparelhos auditivos são, portanto, igualmente de alto desempenho. Além disso, os microfones MEMS não usam muita energia, e isso, por sua vez, tem um efeito positivo na duração da bateria. Os microfones MEMS são usados em vários aparelhos auditivos das gerações G4 e G5.