Chociaż wydajność sprężarki SF 6 może służyć do orientacyjnego oszacowania prędkości procesowej, istotne mogą być również inne czynniki, takie jak średnica rury w urządzeniu do obsługi SF 6 konstrukcja rurociągu (liczba zwężeń itd.) optymalizacja procesów przez oprogramowanie ogólne warunki (długość i średnica użytego węża itd.)