W większości przypadków urządzeń MEMS nie da się naprawić, jeśli ulegną awarii lub ulegną uszkodzeniu. Próby naprawy, ze względu na ich złożony i delikatny charakter, często mogą pogorszyć sytuację. Zwykle bardziej opłacalna jest wymiana wadliwego urządzenia na nowe. Jednakże w zależności od konkretnego urządzenia możliwe mogą być pewne proste naprawy, takie jak wymiana zewnętrznych złączy lub przewodów.