To jeden z ważniejszych parametrów w przypadku urządzeń do inhalacji, wyrażany w mikronach. Od wielkości cząsteczek zależy to, jak skuteczna będzie terapia i jaki obszar górnych i dolnych dróg będzie obejmowała. Cząsteczki aerozolu o wielkości większej niż 8 mikronów będą się wchłaniać jedynie w nosie czy gardle. Nieco mniejsze cząsteczki - od 4 do 8 mikronów będą oddziaływać również na tchawicę i oskrzela duże. Urządzenia ze wskaźnikiem cząsteczek od 2 do 5 mikronów, mogą okazać się pomocne w przypadku infekcji oskrzeli i oskrzelików, natomiast dopiero inhalatory wytwarzające cząsteczki o wielkości od 0,5 do 3 mikronów dotrą aż do płuc. Za optymalny rozmiar cząsteczek do inhalacji domowych uważa się te, które mieszczą się w przedziale od 1 do 5 mikronów.