Technologia MEMS znajduje zastosowanie w różnych dziedzinach, takich jak opieka zdrowotna (np. czujniki ciśnienia w urządzeniach medycznych), motoryzacja (np. czujniki napełnienia poduszek powietrznych), elektronika użytkowa (np. czujniki ruchu w smartfonach) i lotnictwo (np. akcelerometry w systemach nawigacji). .