Pompa próżniowa służy do opróżniania komory gazowej z powietrza. Z kolei sprężarka próżniowa w procesie odzyskiwania SF 6 zapewnia ciśnienie początkowe sprężarki większe niż 1 bar SF 6 , a tym samym umożliwia ciśnienie resztkowe w zbiorniku gazu do 1 mbar.