Det finnes tre typer industrielle filter til vakuumpumpe: Inntaksfiltre installeres ved inntaket til en vakuumpumpe eller kompressor. Formålet er å hindre at støv og rusk kommer inn i en vakuumpumpe og forurenser den. Oljefiltre brukes i oljesmurte lamellvakuumpumper. De er plassert på utsiden av en vakuumpumpen og er koblet til en oljetåkeutskiller. Ved å fjerne forurensninger fra olje som smører kompresjonskammer, sikrer de at den kan gjenbrukes, forblir ren og beholder utmerkede smøre- og tetningsegenskaper. Eksosfilter, også kjentsom oljetåkefilter, installeres oppstrøms fra utløpet inne i oljetåkeutskiller i oljesmurte vakuumpumper. De filtrerer oljetåken som blir produsert under drift, fanger opp og separerer den fra oljen før den blir sendt ut gjennom eksosen. Dette bidrar til at oljepartiklene kan smelte sammen og resirkuleres tilbake inn i systemet.