Een vacuümlek is een onbedoelde of ongewenste opening in een vacuümsysteem. Hierdoor kan lucht - of andere gassen - in of uit het vacuümsysteem stromen. De hoeveelheid lucht of gas die uit een vacuümsysteem ontsnapt, is de zogenaamde lekwaarde. De lekwaarde hangt af van verschillende factoren. De afmeting en het aantal openingen, het type gas en de drukverschillen tussen de binnen- en buitenkant van het systeem. Er zijn twee soorten vacuümlekkages: Lekkages van buiten naar binnen. Hierbij stroomt omgevingslucht of gas in het systeem. Lekkages van binnen naar buiten. Procesgas of bedrijfsvloeistof ontsnapt uit het systeem.