Er zijn verschillende belangrijke data in de geschiedenis van ASML, zoals 1984, het jaar waarin ASML werd opgericht als een joint venture tussen ASM International en Philips. In 1988 werd het onafhankelijk. In juli 1999 heeft de groep de MaskTools-groep overgenomen. In mei 2001 verwierf het Silicon Valley Group en in maart 2007 Brion Technologies Inc. Tot slot heeft ASML in juni 2016 ook Hermes Microvision overgenomen, een Taiwanees bedrijf dat gespecialiseerd is in de detectie van defecte wafers.