MEMS(Microelectromechanical Systems)는 기계, 전기, 때로는 광학 구성 요소를 소규모로 통합하는 소형 장치 또는 시스템입니다. 일반적으로 미세 가공 기술을 사용하여 제작되므로 미세 규모에서 복잡한 구조와 기능을 생산할 수 있습니다.