MEMS 센서는 기존 센서에 비해 여러 가지 장점을 제공합니다. 크기가 더 작고 전력 소비도 적으며 생산 비용도 더 효율적입니다. MEMS 센서는 다른 구성 요소 및 시스템과 통합될 수도 있으므로 소형화 및 기능 향상이 가능합니다. 작은 크기와 낮은 전력 소비로 인해 휴대용 및 웨어러블 장치에 적합합니다.