コンタミの測定・解析に加え、そのままコンタミの元素解析も可能です。レーザ元素分析ヘッド EA-300シリーズを装着できるデジタルマイクロスコープ VHXシリーズは、自動面積計測・カウント機能を活用して清浄度検査の国際工業規格ISO16232/VDA19に準拠したコンタミ測定・解析を行うことができます。さらに、微粒子の検出後、そのまま残留異物の元素分析（LIBS解析）の実施が可能です。コンタミの測定・解析のみならず元素分析と物質の判断に必要な一連の作業を1台で完結でき、装置間で試料を移動させる必要がないばかりか、視野/フォーカスの連動により対象とする微粒子を見失うリスクもありません。