バキューム元圧と吸着時の圧力の確認をお願いします。正常ではない場合、ウェハー裏面又はアーム上やチャック上にコンタミが付着している可能性があります。 ●アーム上、チャック上の清掃後、ウェハーを変えて再ロードをお願いします。また、ウェハー裏面の確認をお願い致します。