MEMS(微小電気機械システム)とは、マイクロマシン、マイクロアクチュエータ、信号処理、および制御回路を統合した大量生産されたマイクロデバイスまたはシステムを指します。マイクロメカニカル構造の準備プロセスには、フォトリソグラフィ、イオンビームエッチング、化学エッチング、ウェーハボンディングなどが含まれ、電子制御用の機械構造上に電極が準備されます。