Gli strumenti per il maneggiamento del gas sono in grado, in un certo modo, di filtrare particelle e umidità dal gas. Se il gas rientra all’interno delle specifiche dopo il processo di essicazione e filtraggio, esso può essere riportato nel sistema. Altrimenti, il serbatoio del gas deve essere svuotato e nuovamente riempito con gas SF 6 nuovo e puro.