La classe di pulizia ISO 5 stabilita dallo standard EN UNI ISO 14644-1 è l'equivalente della classe 100 della normativa US FED STD 209E. In particolare i livelli massimi di contaminazione previsti sono: in un metro cubo di aria devono essere contenute al massimo 100000 particelle di diametro superiore od uguale a 0.1 micron, 23700 di diametro superiore od uguale a 0.2, 10200 di diametro superiore od uguale a 0.3 e solamente 4 di diametro superiore od uguale a 0.5 micron.