La pompa da vuoto viene utilizzata per svuotare il recipiente del gas dall’aria. Al contrario, nel processo di recupero del gas SF 6 un compressore per il vuoto assicura una pressione iniziale maggiore di 1 bar al compressore per gas SF 6 e questo consente di avere una pressione residua nel serbatoio fino a un minimo di 1 mbar.