Il punto di ebollizione della sostanza da separare è inferiore sottovuoto. La distillazione sottovuoto è quindi il processo migliore se i composti da separare hanno generalmente un punto di ebollizione elevato o sono esplosivi. L'uso del vuoto nei processi di distillazione offre pertanto diversi vantaggi: risparmi energetici grazie alla riduzione del calore necessario aumento della resa grazie alla riduzione delle reazioni avverse aumento dell'operatività grazie alla contaminazione ridotta dei dispositivi maggiore sicurezza grazie al minor rischio di esplosioni possibilità di separare le sostanze che si decomporrebbero a temperature più alte.