Esistono tre tipi di filtri per pompe per vuoto industriali: I filtri in aspirazione sono installati sull'aspirazione di una pompa per vuoto o di un compressore. Il loro scopo è impedire alle particelle, come polvere e detriti, di entrare nella pompa per vuoto e di contaminarla. I filtri dell'olio sono utilizzati nelle pompe per vuoto rotative a palette lubrificate ad olio. Si trovano all'esterno della pompa per vuoto e sono collegati al separatore nebbie d'olio. Eliminando i contaminanti dall'olio che lubrifica la camera di compressione, assicurano che possa essere riutilizzato, rimanga pulito e mantenga eccellenti proprietà di lubrificazione e sigillatura. I disoleatori, detti anche filtri per nebbie d'olio, sono installati a monte dello scarico all'interno del separatore nebbie d'olio delle pompe per vuoto lubrificate ad olio. Filtrano la nebbia di olio prodotta durante il funzionamento, raccogliendola e separandola dal mezzo trasferito prima che venga espulsa attraverso lo scarico. Questo consente alle particelle di olio di saldarsi ed essere riciclate nel sistema.