I sistemi RAID 3 richiedono un minimo di 3 unità e i dischi devono avere una rotazione sincrona affinché l'array funzioni. Gli array RAID 3 hanno anche un'unità di parità dedicata. Un'unità di parità, invece di funzionare come disco di archiviazione, funziona come una ricostruzione dei dati in caso di guasto di una parte dell'array. I bit di parità funzionano anche come una forma di codice di protezione dagli errori. I dati su queste unità vengono elaborati a livello di byte e i dati vengono scritti in parallelo su tutte le unità. A causa dell'ulteriore necessità di scrittura sequenziale, le prestazioni sono più lente su array più grandi come RAID 3 e superiori.