Standar yang relevan untuk pengujian bahan di lingkungan ruang bersih adalah ISO 14644 1:2016-06 Cleanroom an lingkungan terkendali terkait - Bagian 1: Klasifikasi kebersihan udara berdasarkan konsentrasi partikel , ISO 14644-14 Cleanroom dan lingkungan terkendali terkait - Bagian 14: Penilaian kesesuaian penggunaan peralatan berdasarkan konsentrasi partikel di udara serta pedoman VDI 2083 Halaman 9.1 "Teknologi cleanroom - Kompatibilitas dengan kebersihan yang disyaratkan dan dibersihkan permukaan.