Il existe trois types de filtres de pompes à vide industriels : Les filtres d'aspiration sont installés à l’admission d’une pompe à vide ou d’un compresseur. Ils ont pour but d’empêcher les particules, telles que la poussière et les impuretés, de pénétrer dans la pompe à vide et de la contaminer. Les filtres à huile sont utilisés dans les pompes à vide à palettes lubrifiées. Ils sont situés à l’extérieur de la pompe et sont raccordés au séparateur de brouillard d’huile. En éliminant les impuretés de l’huile qui est utilisée pour lubrifier la chambre de compression, ils garantissent qu'elle peut être réutilisée, qu'elle reste propre et qu'elle conserve d'excellentes propriétés de lubrification et d'étanchéité. Les filtres d’échappement, également appelés filtres à brouillard d’huile, sont installés en amont de la sortie à l’intérieur du séparateur de brouillard d’huile des pompes à vide lubrifiées. Ils filtrent le brouillard d'huile généré lors du fonctionnement, le capturent et le séparent du mélange pompé avant qu'il ne soit expulsé par l'échappement. Cela permet aux particules d'huile de s'agglomérer et d'être recyclées en étant réintroduites dans le système.