La technologie MEMS trouve des applications dans divers domaines tels que les soins de santé (par exemple, les capteurs de pression pour les dispositifs médicaux), l'automobile (par exemple, les capteurs de déploiement d'airbags), l'électronique grand public (par exemple, les capteurs de mouvement dans les smartphones) et l'aérospatiale (par exemple, les accéléromètres pour les systèmes de navigation). .