Les microphones MEMS (acronyme anglais pour microsystème électromécanique) sont robustes et donc peu sensibles aux influences environnementales, aux fluctuations de température et au processus de vieillissement. Lors de l’utilisation de systèmes multi-microphones, la directivité reste ainsi constante, rendant la performance des aides auditives stable. De plus, les microphones MEMS sont peu énergivores, ce qui a un impact positif sur la durée de vie de la pile. Les microphones MEMS sont utilisés dans diverses aides auditives des générations G4 et G5.