Il n'y a pas de dimension moyenne pour les fuites de vide, elles peuvent être microscopiques ou de grande taille en fonction de leur origine. La dimension d'une fuite de vide peut être déterminée en mesurant le taux de fuite, qui correspond à la quantité de gaz de procédé ou d'air s'échappant du système par seconde. La plupart des fuites techniques sont trop petites pour être vues à l'œil nu. Les détecteurs de fuites à l’hélium, comme notre TAPIR, offrent la méthode la plus précise pour détecter et quantifier les petites fuites de vide.