Pour garantir des performances et une durée de vie optimales à une pompe à vide, un entretien régulier est nécessaire. Il s'agit notamment de vérifier et, si nécessaire, de remplacer les pièces d'usure telles que les joints ou les filtres, de nettoyer la pompe des dépôts ou des contaminants, de vérifier la lubrification ou le refroidissement (si nécessaire) et d'inspecter et de nettoyer régulièrement les orifices d'entrée et de sortie.