Dans la plupart des cas, les dispositifs MEMS ne sont pas réparables une fois qu'ils tombent en panne ou sont endommagés. En raison de leur nature complexe et délicate, les tentatives de réparation peuvent souvent aggraver la situation. Il est généralement plus rentable de remplacer l'appareil défectueux par un neuf. Cependant, certaines réparations simples, telles que le remplacement de connecteurs ou de fils externes, peuvent être possibles en fonction de l'appareil spécifique.