اروزیل یا فوم سیلیکا از طریق هیدرولیز سیلیسیوم تتراکلرید (SiCl4) در دمای بالاتر از 1500 درجه سانتیگراد و تحت تاثیر گاز هیدروژن، اکسیژن و هیدروژن کلراید به وجود می آید. در طی این واکنش، فوم سیلیکا (سیلیسیوم دی اکسید) تولید می گردد.