دستگاههای ازن ژنراتور در مقاسهای مدیکال و خانگی کوچک در حد ۱۰ سانتیمتر در ۲۴ سانتیمتر به ارتفاع ۸ سانتیمتر؛ ولی در بعدهای صنعتی از کوچکترین ابعاد ۲۰ در ۳۰ در ۱۵ سانتیمتر شروع میگردد و تا ابعاد ۳ متر مکعب نیز میرسد.