آون خلا از نوع خاص خانواده آون ها است که برای فرآیندهای ظریف خشک کردن ، مانند خشک کردن قطعات کوچک یا از بین بردن حلال های قابل اشتعال ، استفاده می شود. در فشار کم دمای تبخیر پایین می آید و فرآیند اکسایش به حداقل می رسد.