نتایج Linescan به صورت یک نمودار از تغییرات درصد وزنی عناصر مورد بررسی در طول خط اسکن ارائه می‌شود. نتایج Mapping به صورت چندین عکس با نقاط رنگی است، هر تصویر نشان‌دهنده توزیع یک عنصر در منطقه مورد بررسی (منطقه‌ای که از آن تصویر SEM گرفته شده است) می‌باشد.