نوعي پوشش دهي است كه با ایجاد میزان زیادی خلا در محفظه دستگاه کتینگ و سپس با استفاده از گازهاي خنثي که معمولا آرگون میباشد و جريان بالاي dc ماده تارگت (هدف) را بخار كرده و با استفاده از جريان برق داخل دستگاه در دما و شرايط مشخص همراه با گازهاي ديگر مانند نيتروژن ،اكسيژن بر روي کاشی بصورت لايه اي نازك و بسيار مقاوم مي نشاند.