آنالیز EDS روشی برای تخمین میزان غلظت عناصری است که می دانیم در نمونه وجود دارد. درصد حدودی این عناصر را می توانیم با این روش تخمین بزنیم. ولی اگر نمی دانید در نمونه چه عناصری وجود دارد بهتر است از دیگر روش های عنصری استفاده شود. به دلیل انرژی نزدیک عناصر امکان خطا در صورتی که دستگاه نوع عنصر را شناسایی کند وجود دارد. مزیت مهم این روش امکان ردیابی عناصر کربن و اکسیژن و نیتروژن است.