Im Anhang zu den Leitlinien für Umweltschutz- und Energiebeihilfen finden sich Werte, die festlegen bis zu welcher Höhe Beihilfen gewährt werden dürfen. Die sogenannte Beihilfeintensität wird als Anteil an den beihilfefähigen Kosten ausgedrückt und liegt bei Investitionsbeihilfen zur Förderung erneuerbarer Energien bei bis zu 100%, sofern eine Ausschreibung erfolgt. Erfolgt keine Ausschreibung, können für große Unternehmen 30% der beihilfefähigen Kosten als Förderung ausbezahlt werden. Weitere 15% sind möglich, wenn nachgewiesen wird, dass die Ziele des EU Green Deals eingehalten werden. Dieselben Höchstwerte betreffen Beihilfen für Kraft-Wärme-Kopplungsanlagen sowie Fernwärme- und Fernkältesysteme.
Als beihilfefähige Kosten gelten bei erneuerbaren Stromerzeugungsanlagen die Investitionsmehrkosten im Vergleich zu einem konventionellen Kraftwerk mit derselben Erzeugungskapazität. Bei der Wärmeerzeugung aus erneuerbaren Energiequellen werden die Mehrkosten im Vergleich zu einem konventionellen Wärmeerzeugungssystem als beihilfefähige Kosten ermittelt. Anschließend wird ein festgelegter Anteil davon als Beihilfe ausbezahlt. Die beihilfefähigen Kosten von Fernwärme- und Fernkälteanlagen sind die gesamten Investitionskosten für den Bau, die Erweiterung oder die Modernisierung solcher Anlagen.