Es gibt einige wichtige Daten in der Geschichte von ASML, wie zum Beispiel 1984, als ASML als Joint Venture zwischen ASM International und Philips gegründet wurde. Im Jahr 1988 wurde es unabhängig. Im Juli 1999 erwarb die Gruppe die MaskTools-Gruppe. Im Mai 2001 erwarb ASML die Silicon Valley Group und im März 2007 Brion Technologies Inc. Im Juni 2016 erwarb ASML schließlich auch Hermes Microvision, ein taiwanesisches Unternehmen, das sich auf die Erkennung defekter Wafer spezialisiert hat.