Plasmabehandlungen sind weitaus umweltfreundlicher als herkömmliche Methoden der Oberflächenbehandlung, bei denen oft sehr hohe Temperaturen oder Nasschemikalien zum Einsatz kommen.
Die Verwendung besonderer Prozessgase ist in den meisten Fällen nicht notwendig. Nebenprodukte wie CO oder CO2 sind nicht in schädlichen Mengen vorhanden. Wenn NOx generiert wird, kann es mit normalen Hauben abgesaugt werden.