Sowohl PVD als auch CVD sind Vakuumbeschichtungsverfahren. Der Hauptunterschied besteht darin, dass das Beschichtungsmaterial bei PVD-Prozessen fest oder flüssig und bei CVD-Prozessen gasförmig ist. ALD ist eine spezielle Form der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), bei der die Materialien in Form von Atomlagen schichtweise aufgebracht werden.