Gas-Handling-Geräte können bis zu einem bestimmten Grad Partikel und Feuchtigkeit aus dem Gas herausfiltern. Erfüllt das Gas nach Trocknungs- und Filterprozess wieder die Spezifikation, so kann das Gas wieder zurück in die Anlage gefüllt werden. Ansonsten muss der Gasraum entleert und neues, reines SF 6 -Gas nachgefüllt werden.