Der Reinheitsgrad hängt vom Herstellungsprozess ab. Membrangeneratoren erreichen etwa 95 bis 99,9 Prozent. Stickstoffgeneratoren mit Druckwechseladsorptionstechnik (PSA) erzeugen technische Gase mit einer Reinheit von 99,999 Prozent – in einigen Fällen sogar bis zu 99,9999 Prozent (N2 6.0). Über die Steuerung lässt sich das in der Regel flexibel einstellen.