Schwefelhexafluorid wird hauptsächlich in der Elektroindustrie verwendet und dient dort vornehmlich als Isoliergas in der Hochspannungstechnik. Es dient als gasförmiges dielektrisches Medium für Hochspannungs-Schutzschalter, Schaltanlagen und andere elektrische Geräte und ersetzt häufig ölgefüllte Schutzschalter, die schädliche polychlorierte Biphenyle (PCB) enthalten können. Weitere Anwendung findet es als Ätzgas beim Ionenätzen in der Halbleiter-Herstellung.