Relevante Normen für die Materialprüfung im Reinraum sind ISO 14644 1:2016-06 "Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration", ISO 14644-14 "Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft" sowie die Richtlinie VDI 2083 Blatt 9.1 "Reinraumtechnik - Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit".