Die Auflichtmikroskopie wird in der Materialografie zur Untersuchung von Substratoberflächen mittels Vergrößerung verwendet, um dadurch kleinste Merkmale besser erkennen zu können. Sie bietet den Vorteil einer zerstörungsfreien Untersuchung. Auflichtmikroskopische Aufnahmen können von uns in verschiedenen Vergrößerungen hergestellt werden. Bei allen Produktionschargen wird eine auflichtmikroskopische Untersuchung der Realproben mit den Prozessparametern gemeinsam abgespeichert.