Es gibt verschiedene Arten von Vakuumpumpen, darunter Drehschieberpumpen, Flügelzellenpumpen, Schraubenpumpen, Turbomolekularpumpen und Diffusionspumpen. Jede Art von Vakuumpumpe hat ein unterschiedliches Funktionsprinzip, das auf spezifischen Mechanismen wie Dichtungs-, Verdichtungs- oder Molekularbewegungen basiert. Die Auswahl hängt von den Anforderungen der Anwendung ab, einschließlich des benötigten Unterdrucks und des Gasflusses.