Die zu erreichende Genauigkeit hängt von verschiedenen Faktoren ab. Zum einen vom Typ des zum Einsatz kommenden Scanners. Zum anderen von der Entfernung zwischen Scannerstandpunkt und Messobjekt. Scanner für die Vermessung von Objekten aus Industrie und Anlagenbau erreichen zum Beispiel 3D-Punktgenauigkeiten von:
1,9mm bei 10m 2,9mm bei 20m 5,3mm bei 40m
Bei der Aufnahme von Gebäuden sind geringere Genauigkeiten in der Regel ausreichend. Hier kommen kleinere, kostengünstigere Scanner zum Einsatz, die zum Beispiel die folgenden 3D-Punktgenauigkeiten erzielen:
4,0mm bei 10m 7,0mm bei 20m