Es gibt praktisch keinen. Es handelt sich dabei nur um zwei unterschiedliche Begriffe für ein und dieselbe Sache. Bei VSD wird das Ergebnis betrachtet, d. h. die unterschiedlichen Drehzahlen der Vakuumpumpe, VFD hingegen steht für die Ursache der unterschiedlichen Drehzahlen, nämlich die variable Frequenz.