Der findes tre typer af industrielle filtre til vakuumpumper: Indsugningsfiltre monteres ved indgangen til en vakuumpumpe eller kompressor. Deres formål er at forhindre partikler, såsom støv og snavs, i at trænge ind i pumpen og forurene den. Oliefiltre anvendes i oliesmurte lamelvakuumpumper. De sidder uden for pumpen og er tilsluttet olietågeudskilleren. Ved at fjerne forurenende stoffer fra olien, der smører kompressionskammeret, sikrer de, at det kan genanvendes, forbliver rent og bevarer fremragende smørings- og tætningsegenskaber. Udstødningsfiltre, også kendt som olietågefiltre, er monteret før udløbet inde i olietågeudskilleren på oliesmurte vakuumpumper. De filtrerer den olietåge, der produceres under driften, opsamler og adskiller den fra det pumpede medie, før den udstødes gennem udstødningen. Det gør, at oliepartiklerne samles og sendes tilbage i systemet igen.