XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy) er en spektroskopisk metode til overfladeanalyse. Den fungerer ved at bombardere materialets overflade med røntgenstråler, hvilket resulterer i udsendelse af fotoelektroner fra atomerne i materialet. Ved at analysere energien af ​​de udsendte fotoelektroner kan man bestemme elementernes identitet og kemiske tilstand i overfladelaget.