SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) er en spektroskopisk metode til overfladeanalyse. Den fungerer ved at bombardere materialets overflade med en primær ionestråle, hvilket fører til udskilning af sekundære ioner fra overfladen. Ved at analysere massen af ​​disse sekundære ioner kan man bestemme de kemiske elementer og fordelingen af ​​disse elementer i overfladelaget.