AES (Auger Electron Spectroscopy) er en anden spektroskopisk metode til overfladeanalyse. Den fungerer ved at bombardere materialets overflade med elektroner, hvilket forårsager, at nogle af atomerne på overfladen afgiver Auger-elektroner. Ved at analysere energien af ​​disse Auger-elektroner kan man bestemme elementernes identitet og kemiske tilstand i overfladelaget.