Sachverhalt: A. Aufgrund einer Selbstanzeige der in Oslo domizilierten Düngemittelgrossproduzentin D._ International Asa (im Folgenden: D._) richteten die norwegischen Strafverfolgungsbehörden am 5. September 2011 ein Rechtshilfeersuchen an die Schweiz. Gestützt darauf eröffnete die Bundesanwaltschaft am 27. Januar 2012 ein Strafverfahren gegen die A._ AG (im Folgenden: A._), B._ und C._ wegen Bestechung fremder Amtsträger (Art. 322septies i.V.m. Art. 102 Abs. 2 StGB) und Urkundenfälschung (Art. 251 StGB). Die A._ ist, wie ihre Schwesterfirma F._ AG (im Folgenden: F._), eine hundertprozentige Tochter der F._ Holding AG (im Folgenden: F._ Holding); alle drei Firmen haben ihren Sitz an der gleichen Adresse in Binningen. B._ ist Verwaltungsratspräsident der drei Firmen sowie CEO der F._ Holding. C._ ist Verwaltungsrat und CEO der A._ sowie Verwaltungsrat der F._. Aufgrund der Ermittlungen in Norwegen und der Schweiz ergab sich für die Bundesanwaltschaft der Verdacht, dass die A._ im Auftrag der D._ libysche Amtsträger bestach, um letzterer den Zugang zum libyschen Düngemittelmarkt zu eröffnen. Konkret soll die A._ am 29. März 2007 1.5 Mio USD auf eine Kontoverbindung der Offshorefirma G._ Ltd bei der H._ AG eingezahlt haben; wirtschaftlich Berechtigter an diesem Konto sei I._ gewesen, der Sohn des vormaligen Premier- und Erdölministers von Libyen, J._. Die Rückzahlung der 1.5 Mio USD von der D._ an die A._ soll mittels künstlich überhöhter Rechnungen für Ammoniaklieferungen von A._ an eine in Genf domizilierte Tochter der D._ - der K._ SA (im Folgenden: K._) - verschleiert worden sein. Am 31. Januar 2012 führte die Bundesanwaltschaft eine Hausdurchsuchung bei der A._ in Binningen und der K._ in Genf durch. Bei der A._ wurden dabei die Jahre 2007 und 2008 betreffende Verträge und Rechnungen, Buchhaltungsunterlagen sowie IT-Daten (eine logische Kopie vom Server und von der Mailbox der A._ sowie der Userhome von C._) beschlagnahmt. Die Prüfung dieser Unterlagen durch das Kompetenzzentrum Wirtschaft und Finanzen der Bundesanwaltschaft (CCWF) verstärkte bei dieser den Verdacht, dass die A._ zur Verschleierung der Bestechungszahlungen Falschbeurkundungen vorgenommen hatte. Weiter fand das CCWF Hinweise auf mögliche weitere Korruptionshandlungen der A._ und der F._ in Tunesien und Nigeria. B. Aufgrund dieser neuen Erkenntnisse führte die Bundesanwaltschaft am 3. Oktober 2013 eine erneute Hausdurchsuchung in den Geschäftsräumlichkeiten der A._ in Binningen durch und beschlagnahmte umfangreiche elektronische Dateien und physische Unterlagen. Die physischen buchhalterischen Unterlagen und die Bankunterlagen der A._ für den Zeitraum 2006 bis und mit 2013 konnten in den durchsuchten Geschäftsunterlagen nicht gefunden werden; B._ verweigerte die Auskunft über deren Aufbewahrungsort. Die beschlagnahmten Unterlagen und Daten wurden - soweit sie nicht auf Betreiben der Rechtsvertreter der A._ bereits während der Hausdurchsuchung wieder freigegeben worden waren - auf Antrag der A._ versiegelt. Am 22. Oktober 2013 beantragte die Bundesanwaltschaft dem Zwangsmassnahmengericht des Kantons Bern, die am 3. Oktober 2013 in den Geschäftsräumlichkeiten der A._ sichergestellten und versiegelten Unterlagen und Daten zu entsiegeln. Am 4. Juni 2014 erkannte der Zwangsmassnahmenrichter: "1. Das Entsiegelungsgesuch wird insoweit gutgeheissen, als dass folgende sichergestellte Positionen entsiegelt und der Gesuchstellerin mit der Ermächtigung zur Durchsuchung nach Eintritt der Rechtskraft dieses Entscheides herausgegeben werden: - 01.01.0001 (Siegelungsnummer 1999), 01.01.0002, 01.01.0003, 01.01.0004, 01.01.0005 und 01.01.0006 - 01.02.0001 bis 01.02.0079, 01.02.0081 bis 01.02.0084 - 01.03 0001 bis 01.03.0011 - 01.02.0080 - 01.02.0085 - 01.04.0001 bis 01.04. 0005 - 01.05.0001 bis 01.05. 0002. 2. Die Gesuchstellerin wird aufgefordert, innert 30 Tagen nach Rechtskraft dieses Entscheides Stellung zu nehmen, ob sie am Antrag auf Entsiegelung der Position 01.01.0001 (Siegelungsnummer 1955) festhält. 3. Über die Entsiegelung der Position 01.01.0001 wird nach Eingang der Stellungnahme der Gesuchstellerin entschieden. 4. .. (Eröffnung) " C. Mit Beschwerde in Strafsachen beantragen die A._, B._ und C._, diesen Entscheid des Zwangsmassnahmengerichts aufzuheben, das Entsiegelungsgesuch der Bundesanwaltschaft abzuweisen und alle sichergestellten Unterlagen und Datenträger unverzüglich der A._ herauszugeben. Eventuell sei der Entscheid des Zwangsmassnahmengerichts aufzuheben und die Sache zu neuem Entscheid an die Vorinstanz zurückzuweisen. Subeventuell sei die Entsiegelung in Bezug auf folgende Positionen zu verweigern und die Bundesanwaltschaft anzuweisen, sie unverzüglich der A._ herauszugeben: 01.01.0001 bis 01.01.0006, 01.02.0080, 01.02.0085, 01.04.001 bis 01.04. 0005. Ausserdem ersuchen sie, ihrer Beschwerde aufschiebende Wirkung zuzuerkennen. D. Das Zwangsmassnahmengericht verzichtet auf Vernehmlassung. Die Bundesanwaltschaft beantragt, die Beschwerde abzuweisen, soweit darauf einzutreten sei. In ihrer Replik halten die A._, B._ und C._ an der Beschwerde fest.