Die Beklagte hat hierbei jedoch weder die aus ihrer Sicht offenbar bestehenden verfassungsrechtlichen Bedenken gegen die Vorschrift des [REF] [DATE] näher ausgeführt noch aufgezeigt, weshalb trotz des von ihr nicht in den Blick genommenen Urteils des Senats vom [DATE] , in dem der Senat entschieden hat, dass [REF] [DATE] keine verfassungswidrige Sonderabgabe darstellt und die Elektrizitätsversorgungsunternehmen auch sonst durch die Belastung mit der EEG-Umlage in ihren Grundrechten nicht verletzt werden, noch ein Klärungsbedarf hinsichtlich der von ihr aufgeworfenen Rechtsfragen bestehe. Bereits aus diesem Grund war die Nichtzulassungsbeschwerde zurückzuweisen. Daraus ergibt sich zugleich, dass der Senat den Anspruch der Beklagten auf rechtliches Gehör nicht in entscheidungserheblicher Weise verletzt hat .