Soweit die Antragsteller darüber hinaus rügen, dass nicht vertraglich abgesichert sei, dass der Antragsgegnerin aufgrund des Bebauungsplanverfahrens keine Kosten entstünden, wird schon keine im vorliegenden Bebauungsplanverfahren zu beachtende Verfahrensvorschrift bezeichnet. Rechtsirrig scheinen die Antragsteller von einem vorhabenbezogenen Bebauungsplan auszugehen, der nach [REF] den Abschluss eines Durchführungsvertrags voraussetzt, der eine entsprechende Verpflichtung des Vorhabenträgers zum Inhalt haben kann. Ein vorhabenbezogener Bebauungsplan stand indessen zu keiner Zeit in Rede. Insofern geht auch der Hinweis auf ein „kombiniertes Verfahren nach [REF] “ fehl. Dass ein konkreter Bauantrag Anlass für die Festsetzung des Sondergebiets „Lebensmittel und Getränkemarkt“ gewesen war, führte nicht dazu, dass ein vorhabenbezogener Bebauungsplan aufzustellen gewesen wäre. Vielmehr konnte die Antragsgegnerin das Verfahren frei wählen . Das Fehlen eines Durchführungsvertrags führte im Übrigen auch bei einem vorhabenbezogenen Bebauungsplan nicht auf einen Verfahrensfehler, sondern auf einen materiellen Fehler, da eine Wirksamkeitsvoraussetzung des vorhabenbezogenen Bebauungsplans in Rede steht. 0