Der Kläger kann sich im vorliegenden Fall die Rechtswidrigkeit der Förderung der Deichflächen unterstellt ausnahmsweise auf Umstände berufen, auf Grund deren sein Vertrauen in die Ordnungsmäßigkeit der Beihilfe geschützt ist, so dass er sie nicht zurückzuerstatten hat. In einem solchen Falle ist es Sache des nationalen Gerichts, alle Umstände zu würdigen . Das Bundesverwaltungsgericht hat in diesem Zusammenhang in Bezug auf einen Widerruf von Bewilligungen dargelegt , dass eine Aufhebung eines Bewilligungsbescheides auch länger zurückliegende Zeiträume erfassen und damit hohe Rückzahlungspflichten auslösen könne. Dies werfe die Frage auf, ob die Rücknahme aus Gründen der Verhältnismäßigkeit im Einzelfall auf bestimmte Zeiträume oder in anderer Weise zu beschränken sei . Das Bundesverwaltungsgericht hat erläuternd und zur Begründung seiner Auffassung insbesondere auf Pflichtverletzungen des Zuwendungsempfängers von nur geringem Gewicht oder die Gefahr der Vernichtung der wirtschaftlichen Existenz des Landwirts hingewiesen, die eine Beschränkung der Rücknahme rechtfertigen können . Gegebenenfalls dürfte sogar zu erwägen sein, in Ausnahmefällen von einer Aufhebung eines Bewilligungsbescheides gänzlich abzusehen.