Nach den gemachten Ausführungen spricht nach dem bisherigen Erkenntnisstand Überwiegendes dafür, dass die Antragsgegnerin die von der Planung betroffenen betrieblichen Belange der Antragstellerin im Zusammenhang mit der heranrückenden Wohnbebauung nicht ausreichend betrachtet und abgewogen hat. Dies kann bei Vollzug des auf dieser Abwägungsentscheidung basierenden Bebauungsplans Nr. 0 zu nachträglichen immissionsschutzrechtlichen Beschränkungen ihrer Betriebsbetätigung führen, wie auch zur Beeinträchtigung bereits verdichteter betrieblicher Erweiterungsmöglichkeiten. Sollte die durch den Bebauungsplan ermöglichte Wohnbebauung bis zum Abschluss des Normenkontrollhauptsacheverfahrens weitgehend verwirklicht sein, würde der Antragstellerin der spätere Erfolg in jenem Verfahren möglicherweise nichts mehr nützen. Die Eigentümer genehmigter Bauvorhaben im Plangebiet könnten sich, sofern die Antragstellerin nicht jede einzelne Baugenehmigung mit Widerspruch und Anfechtungsklage angreifen würde, auf die Legalisierungswirkung der Baugenehmigungen berufen . Hierauf muss sich die Antragstellerin entgegen der Auffassung der Antragsgegnerin auch nicht verweisen lassen. Wenn eine Baugenehmigung bereits erteilt worden ist, ist Rechtsschutz dagegen nur noch im Wege des Widerspruchs und eines Antrags nach [REF] zu erlangen. Da der einstweilige Rechtsschutz gemäß [REF] einem anderen „Prüfprogramm“ folgt als derjenige nach [REF] und insbesondere nicht ohne Weiteres auch die Prüfung eventueller Abwägungsmängel des der Baugenehmigung zugrundeliegenden Bebauungsplans mit umfasst, würde die Antragstellerin nach Ergehen einer Baugenehmigung irreversible Einschränkungen ihres Rechtsschutzes erleiden. Nichts anderes gilt, soweit es vorliegend aufgrund von § 0 LBO der Erteilung einer Baugenehmigung nicht bedürfte, denn in diesem Fall wäre einstweiliger Rechtsschutz nur nach [REF] zu erlangen.