Die Verzögerungsrüge hat der Antragsteller am [DATE] erhoben. Die Rüge ist indessen unwirksam. Nach [REF] kann die Verzögerungsrüge erst erhoben werden, wenn Anlass zur Besorgnis besteht, dass das Verfahren nicht in angemessener Zeit abgeschlossen wird. Wird die Rüge zur Unzeit erhoben, ist der Anspruch nicht begründet und die Klage abzuweisen . Die Gesetzesbegründung formuliert, dass die Rüge "ins Leere" geht . Sie ist damit endgültig unwirksam und wird auch dann nicht wirksam, wenn später tatsächlich eine unangemessene Verfahrensdauer eintritt . So liegt es hier. Das Erinnerungsverfahren wurde mit Schriftsatz vom [DATE] anhängig und war mit der Abhilfeentscheidung der Kostenbeamtin vom [DATE] abgeschlossen. Angesichts des Zeitablaufs bestand nicht einmal ansatzweise objektiv begründeter Anlass zur Besorgnis, dass das Verfahren nicht in angemessener Zeit abgeschlossen wird. Dass ein rund einen Monat anhängiges Verfahren nicht unangemessen gedauert haben kann, ist schlechterdings evident. Im Übrigen ist die Rüge insoweit auch deswegen unwirksam, weil der Antragsteller sie nach Abschluss des Verfahrens erhoben hat. Wird zu seinen Gunsten berücksichtigt, dass ihm die Abhilfeentscheidung nicht mitgeteilt worden ist, konnte er allerdings erst der neuen Kostenrechnung vom [DATE] entnehmen, dass die Kostenrechnung vom [DATE] hinfällig war und das Erinnerungsverfahren eine Erledigung gefunden hatte . Dass auch ein mit dem [DATE] beginnendes und insoweit am [DATE] endendes Erinnerungserfahren nicht unangemessen gedauert haben kann, bedarf gleichermaßen keiner Vertiefung.