Aus diesem folgt auch für die Tarifvertragsparteien das Gebot, wesentlich Gleiches gleich und wesentlich Ungleiches ungleich zu behandeln. Das Grundrecht ist verletzt, wenn sich ein vernünftiger, aus der Natur der Sache folgender oder sonst sachlich einleuchtender Grund für die jeweilige Differenzierung oder Gleichbehandlung nicht finden lässt . Der die Ungleichbehandlung tragende sachliche Grund muss dem Ziel und dem Ausmaß der Ungleichbehandlung angemessen sein. Dabei ergeben sich je nach Regelungsgegenstand und Differenzierungsmerkmalen aus dem allgemeinen Gleichheitssatz im Sinne eines stufenlosen, am Grundsatz der Verhältnismäßigkeit orientierten Prüfungsmaßstabs unterschiedliche Grenzen, die vom bloßen Willkürverbot bis zu einer strengen Bindung an Verhältnismäßigkeitserfordernisse reichen .