Im Hinblick auf die Zulässigkeit der Enteignung im Rahmen einer Unternehmensflurbereinigung ist es nicht erforderlich, dass der Versuch des freihändigen Grunderwerbs schon vor der Anordnung der Flurbereinigung unternommen wird . Der Zeitpunkt, bis zu dem spätestens über den freiwilligen Landerwerb verhandelt worden sein muss, kann nicht vor dem Zeitpunkt liegen, bis zu dem nach [REF] die Planfeststellung unanfechtbar oder für vollziehbar erklärt worden sein muss, nämlich bis zur Bekanntgabe des Flurbereinigungsplans oder der vorläufigen Besitzeinweisung. Dies gilt auch für den Fall, dass die Planfeststellung bereits vor der Anordnung der Unternehmensflurbereinigung unanfechtbar geworden ist, so dass die für das Unternehmen benötigten Flächen bereits festgestanden haben und Verhandlungen über ihren freihändigen Erwerb möglich waren. Aus der Regelung in [REF] ist zu schließen, dass die weiteren Voraussetzungen für die Zulässigkeit der Enteignung und damit die ernsthaften Bemühungen um einen freihändigen Grunderwerb erst zu dem in dieser Bestimmung genannten Verfahrensstadium vorliegen müssen, in dem die enteignende Wirkung der Flurbereinigung tatsächlich eintritt. Eine unterschiedliche Behandlung der verschiedenen Voraussetzungen für die Zulässigkeit der Enteignung ist nicht gerechtfertigt .