Die Inanspruchnahme des Investitionsabzugsbetrags hängt u.a. davon ab, dass „der Betrieb am Schluss des Wirtschaftsjahres, in dem der Abzug vorgenommen wird, die in Abs. 0 S. 0 Nr. 0 der Vorschrift genannten Größenmerkmale nicht überschreitet. Nach der Rechtsprechung des BFH zur Vorgängervorschrift war die Bildung einer Ansparrücklage in Fällen der Betriebseröffnung bereits möglich, bevor die Betriebseröffnung vollendet ist. Andererseits reichte es für die Annahme eines Betriebes i.S.d. [REF] a.F. nicht aus, wenn lediglich die ersten Vorbereitungshandlungen getroffen waren. Um in Fällen, in denen die Betriebseröffnung noch nicht vollendet ist, eine ungerechtfertigte Inanspruchnahme der Förderung zu vermeiden, hat der BFH verlangt, dass die Investitionsentscheidung ausreichend konkretisiert sein muss; das setze in Anschaffungsfällen die verbindliche Bestellung der betreffenden wesentlichen Betriebsgrundlagen voraus. Im Falle der Herstellung eines Wirtschaftsgutes müsse eine Genehmigung verbindlich beantragt oder falls eine Genehmigung nicht erforderlich ist mit dessen Herstellung tatsächlich begonnen worden sein . Die Finanzverwaltung ist dem gefolgt .