Auszugehen ist auch hier von dem Grundsatz, dass ein Hoheitsakt wirksam ist, bis er in dem dafür vorgesehenen Verfahren beseitigt ist. Das erfordern Rechtssicherheit und klarheit sogar in besonderem Maße, weil die Unwirksamkeit nicht dem Hoheitsakt selbst zu entnehmen ist, sondern vorangegangene Entscheidungen in die Würdigung einzubeziehen sind. Eine Unwirksamkeit des Hoheitsakts aufgrund der Wirkungslosigkeit vorangegangener Entscheidungen ist demzufolge nur unter engen Voraussetzungen anzunehmen. Sie kann vorliegen, wenn die spätere Entscheidung die Wirksamkeit der früheren in zulässiger Weise zur Bedingung macht, oder sie kann aus der Natur der Sache folgen. Letzteres ist regelmäßig nicht schon dann der Fall, wenn die spätere Entscheidung auf der früheren beruht. Voraussetzung ist vielmehr, dass die Wirkungslosigkeit der früheren Entscheidung der späteren jeglichen Regelungszweck nimmt. Dies wird etwa für spätere Entscheidungen des Insolvenzgerichts angenommen, wenn der Eröffnungsbeschluss wirkungslos ist .