Die Frage führt nicht zur Zulassung der Revision, weil der Fall sie nicht aufwirft. Das Oberverwaltungsgericht hat nicht festgestellt, dass die Antragsgegnerin fehlerhaft weiche Tabukriterien als harte Tabukriterien behandelt hat, sondern dass es an einer Differenzierung fehle . Die Antragsgegnerin habe auch der Sache nach nicht zwischen harten und weichen Taburäumen unterschieden . Zumindest einige der Ausschlusskriterien, die die Antragsgegnerin ausweislich der Planbegründung selbst nicht entsprechend eingeordnet habe, ließen sich nicht als „harte" Tabukriterien qualifizieren. In der Rechtsprechung des Senats ist aber geklärt, dass der Plangeber sich zur Vermeidung eines Fehlers im Abwägungsvorgang den Unterschied zwischen harten und weichen Tabuzonen bewusst machen und ihn dokumentieren muss . Die weitere Frage der Beschwerde nach Anforderungen an Inhalt und Tiefe einer Begründungspflicht hinsichtlich weicher Tabukriterien stellt sich damit nicht.