Der Senat hat in seinem Urteil vom 0 [DATE] noch Bedenken geäußert, ob durch biologische Filter eine Geruchsminderung mit einem dort im Bebauungsplan verlangten Wirkungsgrad von 0 % erreichbar sei und neben anderen Erkenntnissen auf eine Stellungnahme der Landwirtschaftskammer verwiesen, wonach bei den im Einsatz befindlichen Anlagen Wirkungsgrade zwischen 0 und 0 % erreicht würden. Eine Erhöhung dieser Wirkungsgrade stelle wegen hoher Kosten die Wirtschaftlichkeit in Frage. In Beschlüssen vom [DATE] , vom [DATE] und vom [DATE] hat der Senat allerdings bereits eine höhere Wirksamkeit von Biofiltern akzeptiert.