Der allgemeine Gleichheitssatz des [REF] gebietet, wesentlich Gleiches gleich und wesentlich Ungleiches ungleich zu behandeln . Dies bedeutet, dass eine Gruppe von Normadressaten im Vergleich zu anderen Normadressaten nicht anders behandelt werden darf, wenn zwischen den beiden Gruppen keine Unterschiede von solcher Art und solchem Gewicht bestehen, dass sie die ungleiche Behandlung rechtfertigen können . Er gilt für ungleiche Belastungen wie auch für ungleiche Begünstigungen . [DATE]