Nach den Ausführungen des BVerfG im Urteil vom [DATE] [REF] soll die Verschonungsregelung nach § [REF] a.F. vor allem Unternehmen schützen, die durch einen besonderen personalen Bezug des Erblassers oder auch des Erben zum Unternehmen geprägt sind, wie es namentlich für Familienunternehmen typisch ist. Mit dem Ziel, die vorhandene Struktur kleiner und mittelständischer Familienunternehmen und damit auch deren Arbeitsplätze zu erhalten und zu stärken, verfolgt der Gesetzgeber ein Gemeinwohlziel, dem er einen hohen Stellenwert zuordnen durfte. Das Maß der Ungleichbehandlung der Erwerber begünstigten Vermögens gegenüber Erwerbern nicht begünstigten Vermögens ist umso größer, je umfangreicher der steuerbefreite Erwerb ist. Je umfangreicher die Steuerverschonung und je größer deshalb das Maß der Ungleichbehandlung gegenüber den Erwerbern nicht begünstigten Vermögens ist, desto anspruchsvoller wird die Rechtfertigungslast hierfür.