Die dargestellte Rechtsprechung zur Schiedsamtsähnlichkeit der Entscheidungen des EBewA hat der Senat erst zeitlich nachfolgend zu dem Urteil vom [DATE] entwickelt. Insoweit liegt dem Urteil vom [DATE] noch die Annahme zugrunde, dass es sich bei den Bewertungsausschüssen im Unterschied zu den Bundes und Landesausschüssen sowie zu den Schiedsämtern lediglich um Vertragsausschüsse der Spitzenverbände der Krankenkassen und der KZBV handele . Betont wurde in diesem Zusammenhang etwa, dass die Mitglieder des BewA im Unterschied zu den Mitgliedern der Schiedsämter keine weisungsfreien Repräsentanten seien . Die die Schiedsamtsähnlichkeit der Entscheidungen des BewA betonende Rechtsprechung des Senats entwickelte sich jedoch erst deutlich nach dem Urteil vom [DATE] , maßgeblich ab dem Jahre [DATE] . In Kongruenz mit dieser Entwicklung in der Rechtsprechung findet sich nachfolgend keine dem Urteil vom [DATE] vergleichbare Entscheidung mehr, in der im Rahmen der Inzidentprüfung eines Normsetzungsvertrages formale Fragen der Beschlussfassung im Schiedsamt oder im Bewertungsausschuss erörtert worden wären. Deshalb stellt der Senat nunmehr ausdrücklich klar, dass der Umfang der gerichtlichen Kontrolle von Entscheidungen des erweiterten Bewertungsausschusses und der Schiedsämter im Rahmen von Inzidentprüfungen identisch ist und aus dem Urteil vom [DATE] keine gegenteiligen Schlussfolgerungen mehr gezogen werden können.