Tenor Die Berufung wird auf Kosten des Beklagten zurückgewiesen. Die Kostenentscheidung ist vorläufig vollstreckbar. Der Beklagte darf die Vollstreckung gegen Sicherheitsleistung in Höhe des beizutreibenden Betrages abwenden, wenn nicht die Klägerin zuvor Sicherheit in gleicher Höhe leistet. Die Revision wird nicht zugelassen. Die Klägerin betreibt seit [DATE] auf dem Grundstück H. 0 in B. eine Altholzverwertung; das Altholz wird mit einer mobilen Schredderanlage zu Spänen verarbeitet, die in Container verladen und später zu Kunden transportiert werden. [DATE] hatte ein Speditionsunternehmen eine Baugenehmigung zur Errichtung eines Reparaturzeltes mit Arbeitsgrube sowie eines Waschplatzes mit mobiler, oberirdischer Tankanlage auf dem Grundstück erhalten und diese auch ausgenutzt. Erstmals im [DATE] stellte ein Mitarbeiter des Beklagten bei zwei Ortsbesichtigungen fest, dass die Klägerin das o.g. Grundstück zur Lagerung großer Mengen Altholz nutzte. Nachdem der Beklagte die Klägerin daraufhin aufgefordert hatte, diese Nutzung einzustellen, beantragte sie unter dem [DATE] die Erteilung einer Genehmigung für die Nutzungsänderung, die Aufstellung eines sog. Wasch und WC-Containers auf dem Grundstück sowie die Nutzung von 0 qm Bürofläche im vorhandenen Bürogebäude. Unter dem [DATE] verfügte der Beklagte unter Anordnung der sofortigen Vollziehung die Einstellung der unerlaubten Nutzung. Hiergegen erhob die Klägerin Widerspruch und begehrte vorläufigen Rechtsschutz bei dem Verwaltungsgericht Gelsenkirchen . Mit Beschluss vom 0. Oktober [DATE] lehnte das Verwaltungsgericht den Antrag der Klägerin auf Wiederherstellung der aufschiebenden Wirkung des Widerspruchs ab. Zwischenzeitlich am [DATE] hatte der Beklagte bei einer weiteren Ortsbesichtigung festgestellt, dass die Klägerin auf dem Grundstück einen Holzschredder aufgestellt und in Betrieb genommen hatte. Nachdem der Beklagte verschiedene Behörden beteiligt hatte, erteilte er der Klägerin mit Bescheid vom [DATE] die begehrte Baugenehmigung. Mit Gebührenbescheid vom [DATE] zog der Beklagte die Klägerin zu Baugenehmigungsgebühren in Höhe von 0 DM heran. Ausweislich der diesem Bescheid beigefügten Anlage hatte der Beklagte unter Bezugnahme auf die Tarifstelle 0 des Allgemeinen Gebührentarifs zur Allgemeinen Verwaltungsgebührenordnung u.a. eine dreifache Gebühr nach der Tarifstelle 0 b in Höhe von 0 DM angesetzt. Die Klägerin legte rechtzeitig Widerspruch ein und trug vor: Es bestünden rechtliche Bedenken gegen den Ansatz einer Dreifachgebühr, liege ihr doch die Überlegung zugrunde, dass eine erst nach Fertigstellung von Baukörpern erfolgende bauaufsichtliche Überprüfung im Vergleich zum Normalfall maßgeblich erschwert sei. Vorliegend gehe es jedoch allein um eine Nutzungsänderung, bei der dies nicht zutreffe. Außerdem sei zu berücksichtigen, dass sich der überwiegende Teil der beantragten Nutzung im Rahmen dessen halte, was ohnehin nach der schon zuvor existierenden Baugenehmigung möglich gewesen sei. Der gleichwohl erfolgte Ansatz einer Dreifachgebühr stelle sich als verbotene Strafgebühr dar. Die Bezirksregierung Arnsberg wies den Widerspruch mit Widerspruchsbescheid vom [DATE] als unbegründet zurück. Die Klägerin hat rechtzeitig Klage erhoben, mit der sie ergänzend u.a. geltend machte: Die Dreifachgebühr stehe nicht in einem angemessenen Verhältnis zu dem Vorteil, den sie die Klägerin durch die Nutzungsänderung erlangt habe. Bei einer Nutzungsänderung sei der Prüfungsaufwand auch wesentlich geringer als bei einem Neubauvorhaben und im Übrigen vorrangig auf rechtliche Fragen beschränkt. Ob eine solche Prüfung vor oder nach Nutzungsaufnahme erfolge, sei für den Verwaltungsaufwand ohne Bedeutung. und zur Begründung im Wesentlichen auf die Begründung der angegriffenen Bescheide Bezug genommen sowie ergänzend vorgetragen: Die Verdreifachung der Gebühr sei wegen des mit der nachträglichen Überprüfung des Vorhabens verbundenen erhöhten Verwaltungsaufwandes gerechtfertigt. Ein solcher sei auch im vorliegenden Fall einer Nutzungsänderung entstanden, denn der ohne Baugenehmigung aufgenommene Betrieb der Klägerin habe stillgelegt werden müssen. Zudem entstünde bei ohne Baugenehmigung durchgeführten Vorhaben generell ein Mehraufwand, da nach Anfertigung von Skizzen, Aufmaßen, Fotografien und Einsehen von Bestandsakten oder Planunterlagen geprüft werden müsse, ob und ggf. gegen wen ordnungsbehördlich eingeschritten werden müsse. Außerdem müsse geprüft werden wie es auch hier geschehen sei , ob eine Stilllegungsverfügung dauerhaft befolgt werde sowie ggf., ob eine Abbruchverfügung ergehen müsse. Im vorliegenden Fall hätten zudem mehrere verschiedene Ämter Baukontrollen durchgeführt. Das Verwaltungsgericht hat Stellungnahmen von Bauaufsichtsbehörden einiger kreisfreier Städte und Kreise zu der Frage eines erhöhten Verwaltungsaufwandes bei der Prüfung der Genehmigungsfähigkeit von ohne Baugenehmigung ausgeführten Bauvorhaben bzw. Nutzungsänderungen eingeholt. Wegen des Ergebnisses wird auf den Inhalt der Stellungnahmen verwiesen. Mit dem angefochtenen Urteil hat das Verwaltungsgericht die angegriffenen Bescheide insoweit aufgehoben, als mit ihnen eine Gebühr von mehr als 0 DM festgesetzt worden war, und die Klage im Übrigen abgewiesen. Zur Begründung hat es im Wesentlichen ausgeführt: Es liege zwar eine genehmigungspflichtige Nutzungsänderung vor. Die Gebührenerhebung sei gleichwohl teilweise rechtswidrig, da der Gebührentatbestand der Tarifstelle 0 AGT wegen Verstoßes gegen [REF] es nichtig sei. Für die pauschale Gebührenverdreifachung seien sachliche Gründe nicht erkennbar. Im Falle der nachträglichen Genehmigung einer bereits vorgenommenen Nutzungsänderung, die keine oder nur geringfügige bauliche Änderungen zur Folge habe, sei der Verwaltungsaufwand nicht wesentlich höher als derjenige bei einer bauaufsichtlichen Prüfung vor Nutzungsaufnahme. Die von dem Beklagten benannten Handlungen stünden nicht im Zusammenhang mit der Erteilung der Baugenehmigung, sondern dienten der Vorbereitung der Entscheidung über eine zu erlassende Stilllegungs bzw. Nutzungsuntersagungsverfügung; diese stellten indes eigenständige, z.T. selbst Gebühren auslösende Amtshandlungen dar. Das Einholen fachbehördlicher Stellungnahmen sei in Baugenehmigungsverfahren die Regel. Die Gebührenhöhe könne auch nicht mit Blick auf Vorhaltekosten für Baukontrolleure bzw. eine erhöhte Bedeutung, einen erhöhten wirtschaftlichen Wert oder einen sonstigen Nutzen für den Bauherrn gerechtfertigt werden. Nichts anderes gelte für eine u.U. beabsichtigte Lenkungsfunktion. Allerdings habe der Beklagte nach entsprechender Absetzung der Dreifachgebühr eine Gebührenforderung in Höhe von insgesamt 0, DM gemäß Tarifstellen 0 a), 0 b) AGT zu Recht geltend gemacht. Wegen der Begründung im Einzelnen wird auf die Entscheidungsgründe des angefochtenen Urteils Bezug genommen. Mit seiner zugelassenen Berufung wendet sich der Beklagte gegen die teilweise Stattgabe. Zur Begründung bezieht er sich im Wesentlichen auf den Beschluss des Senats vom [DATE] [REF] und führt ergänzend aus: Es könne nicht unberücksichtigt bleiben, dass im Falle der nachträglichen Baugenehmigungserteilung Gebühren für die Bauüberwachung und die Bauzustandsbesichtigung nicht mehr erhoben werden könnten und demnach auch mit der Dreifachgebühr nach Tarifstelle 0 AGT abgegolten seien; entfalle diese, würden Schwarzbauer besser gestellt als diejenigen, die das Ergehen der Baugenehmigung abwarteten. Des Weiteren sei bei der erforderlichen örtlichen Überprüfung einer bereits fertig gestellten baulichen Anlage i.d.R. ein deutlich erhöhter Verwaltungsaufwand zu verzeichnen. Sie verteidigt das erstinstanzliche Urteil und weist ergänzend darauf hin, der Beklagte verkenne, dass es vorliegend nicht um die Errichtung eines Schwarzbaues, sondern allein um eine reine Nutzungsänderung gehe. Wegen der weiteren Einzelheiten des Sachverhalts und des Vorbringens der Beteiligten wird auf den Inhalt der Gerichtsakte, der Verfahrensakten [REF] und [REF] und der beigezogenen Verwaltungsvorgänge des Beklagten und der Bezirksregierung Arnsberg verwiesen. Die zulässige Berufung ist unbegründet. Der Gebührenbescheid des Beklagten vom [DATE] in der Gestalt des Widerspruchsbescheides der Bezirksregierung Arnsberg vom [DATE] ist im von dem Verwaltungsgericht angenommenen Umfang rechtswidrig und verletzt die Klägerin in ihren Rechten . Als Rechtsgrundlage für die von der Klägerin geschuldete Gebühr kommen die [REF] es für das Land Nordrhein-Westfalen i.V.m. [REF] in der im Zeitpunkt der Beendigung der gebührenpflichtigen Amtshandlung im [DATE] geltenden Fassung der 0. Änderungsverordnung vom [DATE] , GV NRW S. 0, sowie der Tarifstelle Nr. 0 des Allgemeinen Gebührentarifs zur Allgemeinen Verwaltungsgebührenordnung in Betracht. Danach fällt hinsichtlich der Prüfung von Bauvorlagen einschließlich der erforderlichen örtlichen Überprüfungen u.a. für ohne Baugenehmigung ausgeführte, genehmigungsbedürftige bauliche Anlagen oder Nutzungsänderungen, wenn diese nachträglich genehmigt oder ohne Genehmigung belassen werden, das Dreifache der Gebühr nach den Tarifstellen 0, 0 oder 0 AGT an. Nach lit. a) der ergänzenden Regelungen zur Tarifstelle 0 AGT ist die Gebühr auch zu erheben, wenn die Prüfung der Genehmigungsfähigkeit ohne Bauvorlagen vorgenommen worden ist. Es kann dahinstehen, ob die genannten Voraussetzungen für die Gebührenerhebung im Hinblick auf die berücksichtigten Nutzungsänderungen hier erfüllt sind. Denn die sog. Dreifachgebühr nach Tarifstelle 0 AGT steht, soweit sie sich auf Nutzungsänderungen bezieht, nicht mit höherrangigem Recht im Einklang. Die Regelung ist diesbezüglich nichtig, da sie gegen das in § 0 GebG NRW zum Ausdruck kommende Äquivalenzprinzip verstößt. Das Äquivalenzprinzip, das sich aus dem Grundsatz der Verhältnismäßigkeit und damit aus dem Rechtsstaatsprinzip ableitet, besagt, dass die Leistung des Bürgers in Gestalt der Gebühr und die konkrete Leistung der Verwaltung nicht in einem gröblichen Missverhältnis zueinander stehen dürfen. Vgl. BVerwG, Urteile vom 0. März [DATE] [REF] , BVerwGE 0, 0 und [DATE] [REF] , BVerwGE 0, 0 ; vgl. auch: Susenberger, Gebührengesetz für das Land Nordrhein Westfalen, Kommentar, [DATE] , § 0 Anm. 0 und § 0 Anm. 0 ff. Im Hinblick auf die Gebührenerhebung nach der Tarifstelle 0 AGT wegen einer ohne Baugenehmigung errichteten genehmigungsbedürftigen baulichen Anlage hat der Senat in seinem Urteil vom heutigen Tage in dem Verfahren [REF] u.a. ausgeführt: Zunächst ist in diesem Zusammenhang auf die Bedeutung bzw. den Nutzen der nachträglichen Baugenehmigung für den Kostenschuldner hinzuweisen. Die Annahme des Verwaltungsgerichts mag zutreffen, dass der formell zwar illegal, materiell aber legal Bauende von Anfang an davon ausgehen kann, seine Investitionen nicht vergebens getätigt zu haben. Die Bestätigung dieser Annahme sozusagen "letztendliche Sicherheit" erhält er insoweit aber erst mit Erlass der Baugenehmigung. Regelmäßig ist ihm auch erst ab diesem Zeitpunkt der Weiterbau bzw. die weitere Nutzung der baulichen Anlage möglich, was sich ebenfalls für ihn positiv auswirkt. Des Weiteren ist zu berücksichtigen, dass im Gegensatz zur nach Genehmigung erfolgenden Errichtung einer baulichen Anlage im Falle der nachträglichen Erteilung der Baugenehmigung außer der Gebühr nach der Tarifstelle 0 AGT Gebühren für die erforderlichen örtlichen Überprüfungen und damit sowohl der ggf. aufwändigen Bauüberwachung als auch der Bauzustandsbesichtigung nach Fertigstellung des Rohbaus regelmäßig nicht mehr erhoben werden können und damit mit der Gebühr nach der Tarifstelle 0 AGT abgegolten sind ... Schon die Kumulation ansonsten gesondert berechneter Amtshandlungen rechtfertigt nach § 0 GebG NRW eine im Verhältnis zur einfachen Genehmigungsgebühr deutliche Heraufsetzung. Ferner "genießt" der Schwarzbauer im Vergleich zum gesetzestreu Handelnden, der die mit einem Baugenehmigungsverfahren zwangsläufig verbundene Verzögerung des Beginns der Errichtung bzw. Änderung eines Bauwerks hin nimmt, den Vorteil des früheren Baubeginns und damit u.a. der früheren Nutzbarkeit der baulichen Anlage. Die Dreifachgebühr dient damit zugleich i.S.d. [REF] zur Vermeidung einer ungerechtfertigten Besserstellung des "Schwarzbauers". Schließlich hat der Verordnungsgeber ... dem Umstand Rechnung getragen, dass bei der Prüfung der Genehmigungsfähigkeit einer bereits errichteten baulichen Anlage im Regelfall ein deutlich erhöhter Verwaltungsaufwand ... anfällt. Dass ein solcher entsteht, hat der Senat bereits früher festgestellt. Die von dem Verwaltungsgericht ... eingeholten Stellungnahmen von Bauaufsichtsbehörden ... bestätigen dies in ihrer Gesamtheit im Wesentlichen: Danach erfolgt nach Bekanntwerden einer illegalen Anlage i.d.R. eine Ortsbesichtigung durch Mitarbeiter der Bauaufsichtsbehörde. Hierbei wird der Sachverhalt festgestellt und gehalten, was regelmässig die Anfertigung von Aktenvermerken, Skizzen, Fotografien und Aufmaßen beinhaltet . Im Anschluss ist der Grundstückseigentümer und sofern von dieser Person abweichend der Verantwortliche zu ermitteln . Nach Anhörung des Verantwortlichen ist bei einem fertig gestellten Schwarzbau zu prüfen, ob eine sofortige Nutzungsuntersagung zur Gefahrenabwehr geboten ist; ggf. wird diese mündlich ausgesprochen . Regelmäßig wird eine schriftliche Stilllegungs oder Nutzungsuntersagungsanordnung erlassen . Im weiteren Verfahrensablauf sind die bei der Ortsbesichtigung gefertigten Aufmaße, Skizzen und Fotos ggf. mit dem Inhalt vorhandener Hausakten abzugleichen . U.a. in Ermangelung prüffähiger Bauzeichnungen müssen häufig Unterlagen beigezogen und anschließend verwertet werden . Der Bauherr wird daneben regelmäßig zur Einreichung von Bauvorlagen insbesondere statischer Berechnungen aufgefordert werden, damit die Genehmigungsfähigkeit abschließend geklärt werden kann . Nachträglich vorgelegte Unterlagen müssen auf ihre Übereinstimmung mit dem tatsächlich verwirklichten Vorhaben überprüft werden; das setzt regelmäßig Ortsbesichtigungen der Bauaufsichtsbehörde, aber auch beteiligter Fachämter oder behörden voraus . Hierbei ist die Überprüfung im Vergleich zu Bauzustandsbesichtigungen nach Rohbauerrichtung häufig als zeitaufwändiger, schon weil hier eine kontinuierliche Bauüberwachung und eine Rohbauüberprüfung nicht möglich gewesen ist . Besonders schwierig stellt sich in aller Regel die nachträgliche Überprüfung von bereits fertig gestellten baulichen Anlagen bzw. Teilen solcher dar. Denn im Hinblick auf die Bewehrung, die Dimensionierungen, die Art der verwendeten Bauprodukte und ihre Eigenschaften etwa in Bezug auf die mechanische Festigkeit, den Brandschutz, den Schall und Wärmeschutz usw. sowie die frostfreie Gründung fertig gestellter Fundamente wird häufig eine Inaugenscheinnahme nicht mehr oder jedenfalls nicht ohne Weiteres möglich sein; oft wird eine "Überprüfung" insoweit nur noch in Form der Kontrolle vorgelegter Rechnungen bzw. Lieferscheine möglich sein . Materialprüfungen vor Ort sind nur unter erheblich erschwerten Bedingungen möglich; hierbei kann es erforderlich werden, einen technischen Überwachungsverein oder das Materialprüfungsamt bzw. Sachverständige einzuschalten . Ggf. ist vom Verantwortlichen das Offenlegen von Konstruktionsteilen zu verlangen bzw. sind Kernbohrungen zu veranlassen . Im Falle einer Nichtgenehmigungsfähigkeit ist die Frage eines Abbruchs bzw. von Sicherungsmaßnahmen zu klären ..." Hierbei fällt zunächst ins Gewicht, dass im Falle der nachträglichen Erteilung der Baugenehmigung für eine bloße Nutzungsänderung nicht wie dies der Verordnungsgeber nach dem Wortlaut der Tarifstelle 0 AGT offensichtlich angenommen hat die Gebühren für die Bauüberwachung i.S.d. [REF] a.F. und die Bauzustandsbesichtigung nach Fertigstellung des Rohbaus nach [REF] a.F. entfallen, wie es hinsichtlich der nachträglichen Genehmigung der Errichtung einer baulichen Anlage der Fall ist. Für die Annahme einer Kumulation ansonsten gesondert berechneter Amtshandlungen ist hier kein Raum. Die genannten Gebührentatbestände können bei Nutzungsänderungen von vornherein gar nicht zur Anwendung gelangen, weil insofern kein "Bau" errichtet wird; dem entsprechend nehmen die Tarifstellen [DATE] .0 und [DATE] .0 AGT auch nur auf die Genehmigungs bzw. Änderungsgebühr nach den Tarifstellen 0 und 0 AGT Bezug, nicht jedoch auf die Gebühr nach Tarifstelle 0 AGT für die Genehmigung einer Nutzungsänderung. Des Weiteren entsteht zwar bei der Prüfung der Genehmigungsfähigkeit nach Beginn einer Nutzungsänderung im Regelfall ein erhöhter Verwaltungsaufwand. Dieser ist jedoch etwa im Vergleich zur nachträglichen Genehmigung der Errichtung baulicher Anlage deutlich geringer. So entfällt die in aller Regel besonders schwierige nachträgliche Überprüfung bereits fertig gestellter baulichen Anlagen bzw. Anlagenteilen völlig, ebenso die im Falle der Unmöglichkeit solcher Überprüfungen vorzunehmende Kontrolle vorgelegter Rechnungen oder Lieferscheine, die Materialprüfungen vor Ort oder das Veranlassen des Offenlegens von Konstruktionsteilen bzw. von Kernbohrungen. Auch die neben dem mäßig erhöhten Verwaltungsaufwand noch zu berücksichtigenden Vorteile des "Schwarznutzers" er kann sein Vorhaben eher beginnen als der gesetzestreu Handelnde, der die mit einem Baugenehmigungsverfahren zwangsläufig verbundene Verzögerung hin nimmt, und erhält durch die Baugenehmigung "Sicherheit" haben nicht ein derartiges Gewicht, dass insgesamt die generelle Verdreifachung der Baugenehmigungsgebühr als gerechtfertigt angesehen werden könnte. Die Tarifstelle 0 AGT kann bezogen auf Nutzungsänderungen auch nicht als nur teilweise nichtig angesehen werden. Zwar sieht die Tarifstelle eine Mindestgebühr von 0 DM vor, wie sie gegenüber der Klägerin auch geltend gemacht worden ist. Indes kann die insoweit relevante Frage, ob der Verordnungsgeber die Tarifstelle auch ohne den nichtigen Teil erlassen hätte , vorliegend nicht bejaht werden. Hätte der Verordnungsgeber die Systemwidrigkeit der Gleichstellung von ohne Genehmigung errichteten baulichen Anlagen mit ungenehmigten Nutzungsänderungen erkannt, hätte er möglicherweise insoweit eine Rahmengebühr vorgesehen oder eine höhere Mindestgebühr normiert. Im Übrigen, soweit der Beklagte bei der Berechnung der Dreifachgebühr den Wasch und WC-Container berücksichtigt hat, fehlt es an jeglichen Anhaltspunkten, dass diese bauliche Anlage bereits vor dem Erhalt der Baugenehmigung errichtet worden ist , so dass insoweit schon der Gebührentatbestand nicht erfüllt ist.