Tenor Das angefochtene Urteil wird teilweise geändert. Der Bescheid des Be klagten vom [DATE] und dessen Widerspruchsbescheid vom 0. Dezember [DATE] werden aufgehoben, soweit hiermit ein Erschließungsbeitrag in Höhe von mehr als 0 DM festgesetzt und gefordert wird. Im übrigen wird die Berufung zurückgewiesen. Von den Kosten des Verfahrens beider Rechtszüge tragen der Beklagte drei Viertel und die Kläger ein Viertel. Die Kostenentscheidung ist vorläufig vollstreckbar. Der jeweilige Kostenschuldner darf die Vollstreckung durch Sicherheitsleistung in Höhe des beizutreibenden Betra ges abwenden, wenn nicht der jeweilige Kostengläubiger vor der Vollstreckung Si cherheit in gleicher Höhe leistet. Die Revision wird nicht zugelassen. Die Straße "Zum U. " verläuft geradlinig annähernd in Ost-West-Richtung zwischen der I. straße und der Straße "Am C. " am Rande von W. M. . Die nördlich an die Straße angrenzenden Grundstücke sind weit überwiegend bebaut; südlich der Straße sind sind nur am Anfang und am Ende der Straße Gebäude errichtet. Bei Inkrafttreten des Bundesbaugesetzes verlief auf der Trasse der heutigen Straße "Zum U. " ein Wirtschaftsweg ohne jeglichen Anbau. Im Jahre [DATE] wurde die Straße als Zufahrtsweg zur Siedlung "Am C. " ausgebaut. Hierbei erhielt die Fahrbahn mit einer durchschnittlichen Breite von 0 m eine Bitumendecke. Einrichtungen zur Straßenentwässerung wurden nicht angelegt. Etwa zur gleichen Zeit begann der Anbau an der Straße. Im Jahre [DATE] wurde die Straßenbeleuchtung hergestellt. In den Jahren [DATE] bis [DATE] wurde die Straße "Zum U. " vom Beklagten mit Entwässerungseinrichtungen versehen sowie mit einer 0 m breiten Fahrbahn, einer 0 m breiten Rinne und einem 0 m breiten Gehweg entlang der nördlichen Straßenseite technisch ausgebaut. Am 0. September [DATE] beschloß der Rat der Gemeinde W. , den Erschließungsbeitrag für die Straße für die Teileinrichtungen Freilegung, Fahrbahn, Beleuchtung und Entwässerung im Wege der Kostenspaltung abzurechnen. Im [DATE] wurden Anlieger der Straße "Zum U. ", darunter die Kläger, erstmalig zu Erschlie ßungsbeiträgen herangezogen. Während der gegen diese Bescheide gerichteten Klageverfahren erteilte der Regierungspräsident L. mit Verfügung vom [DATE] seine Zustimmung zum er folgten Straßenbau. Nachdem das Verwaltungsgericht Zweifel an der Entstehung von Teilbeitragspflichten angemeldet hatte, weil ein Bebauungsplanentwurf der Gemeinde für die Straße "Zum U. " die Anlegung eines zweiten Gehweges in einem von der Zustimmung des Regierungspräsidenten nicht erfaßten Bereich sowie die Anlegung einer Stichstraße vorsah, die nach Einschätzung des Verwaltungsgerichts als unselbständiger Be standteil der Straße anzusehen sei, hob der Beklagte die He ranziehungsbescheide im Jahre [DATE] auf. Mit Beschluß vom [DATE] hob der Rat der Gemeinde W. den Kostenspaltungsbeschluß vom [DATE] auf. Mit Verfügung vom [DATE] , bekanntgemacht am [DATE] , wurde die Straße "Zum U. " als Gemeindestraße für den öffentlichen Verkehr gewidmet. Am 0. [DATE] beschloß der Rat der Gemeinde, daß ein Ausbau des südlichen Gehweges der Straße zur Zeit nicht vorgesehen sowie die Anlegung von Begleitgrün nicht geplant sei; ferner erließ der Rat eine Satzung über die Abweichung von den Herstellungsmerkmalen der Erschließungsbeitragssatzung, auf welche verwiesen wird. Mit Bescheid vom [DATE] zog der Beklagte die Kläger als Gesamtschuldner zu einem Erschließungsbeitrag für die erstmalige Herstellung der Straße "Zum U. " in Höhe von 0 DM heran. Ihren hiergegen gerichteten Widerspruch wies er mit Widerspruchsbescheid vom 0. Dezember [DATE] zurück. Die Erschließungsbeitragspflichten für die Straße "Zum U. " seien verjährt. Die Straße sei bereits im Jahre [DATE] in ihrer heutigen Form mit einer 0 m breiten Fahrbahn und einem einseitigem Gehweg fertiggestellt worden. Jedenfalls zum Zeitpunkt der Zustimmung des Regierungspräsidenten habe es sich bei der Straße um eine Anbaustraße gehandelt, weil sie die nördlich angrenzenden Grundstücke erschlossen habe. Der Ausbau mit einem einseitigen Gehweg habe dem Bauprogramm der Gemeinde entsprochen. Mit Ausnahme der Bundesstraße gebe es in M. keine Straßen mit zwei Gehwegen. Die Straße sei zum Zeitpunkt des Kostenspaltungsbeschlusses endgültig fertiggestellt gewesen, so daß Teilbeitragspflichten entstanden seien, die zwischenzeitlich verjährt seien. Die erst später erfolgte Widmung stehe dem nicht entgegen, weil eine solche für die Entstehung von Teilbeitragspflichten nicht erforderlich sei. Die Beitragsberechnung sei zu beanstanden. Auch die Flächen südlich der Straße würden von dieser erschlossen und seien bis zur üblichen Bebauungstiefe von 0 m bei der Verteilung zu berücksichtigen. Eine Bebaubarkeit dieser Grundstücke sei zu erwarten. In einem Verwaltungsstreitverfahren habe der Regierungspräsident eine Zustimmung zu einer Abrundungssatzung in Aussicht gestellt, die diese Flächen als Innenbereichsflächen ausweise. Zudem seien die Flächen zwischenzeitlich im Flächennutzungsplan als Bauflächen ausgewiesen. Der Beklagte habe bei der Veranlagung im übrigen die Rechtsprechung zum sogenannten "Halbteilungsgrundsatz" nicht angewendet, so daß der zu verteilende Erschließungsaufwand zu korrigieren sei. Ferner sei zu beanstanden, daß die Heranziehung erst 0 Jahre nach der Herstellung im Jahre [DATE] erfolge. Aus der Nacherhebungspflicht der Gemeinde sei zu folgern, daß Erschließungsbeiträge alsbald zu erheben seien. Die Verzögerung der Widmung sei in analoger Anwendung des Grundsatzes des [REF] unbeachtlich. und macht geltend: Der Kostenspaltungsbeschluß von [DATE] sei ins Leere gegangen, weil die Straße "Zum U. " seinerzeit bereits endgültig hergestellt gewesen sei. Aus diesem Grund sei der Bescheid aus dem Jahre [DATE] zu Recht aufgehoben worden. Der Bescheid sei auch deshalb rechtswidrig gewesen, weil seinerzeit noch die Zustimmung des Regierungspräsidenten gefehlt habe und die Planungen in dem für den betroffenen Bereich aufgestellten Bebauungsplanentwurf nicht beachtet worden seien. Der Regierungspräsident habe mit Verfügung vom [DATE] die Genehmigung des betreffenden Bebauungsplans verweigert. Wegen der unterschiedlichen Vorstellungen des Regierungspräsidenten und des Rates der Gemeinde sei eine Verwirklichung der Planungen nicht zu erwarten. Eine Verjährung der Beitragsforderung sei nicht eingetreten, weil die Widmung erst im Jahre [DATE] erfolgt sei. Der Halbteilungsgrundsatz greife nicht ein, weil der Ausbau der Straße, der die Maßvorgaben der Richtlinien für den Bau von Anliegerstraßen in dörflichen Gebieten unterschreite, auf das nach der Rechtsprechung Unerläßliche beschränkt sei. Eine Ausweisung der südlich der Straße gelegenen Flächen als Wohnbauflächen im Flächennutzungsplan existiere bereits seit 0 Jahren. Wegen der weiteren Einzelheiten des Sach und Streitstandes wird auf den Inhalt der Gerichtsakte in diesem Verfahren und in dem Verfahren VG Aachen [REF] sowie der beigezogenen Verwaltungsvorgänge des Beklagten Bezug genommen. Entscheidungsgründe: Die Berufung hat zum Teil Erfolg. Die Klage ist nur teilweise unbegründet. Die angefochtenen Bescheide sind lediglich insoweit rechtmäßig, als mit den angefochtenen Bescheiden anteilig ein Erschließungsbeitrag für die erstmalige Herstellung der Teileinrichtung Gehweg der Straße "Zum U. " festgesetzt und gefordert wird. Im übrigen hinsichtlich des auf die Teileinrichtungen Fahrbahn, Beleuchtung, Entwässerung und die Freilegung entfallenden Beitrags ist die Klage indes begründet; insoweit sind die angefochtenen Bescheide rechtswidrig und werden die Kläger in ihren Rechten verletzt , weil dem Beklagten diesbezüglich gegen die Kläger eine Erschließungsbeitragsforderung nicht zusteht. Rechtsgrundlage für die geltend gemachte Erschließungsbeitragsforderung sind die § 0 ff. BauGB i.V.m. der Satzung über die Erhebung von Erschließungsbeiträgen in der Gemeinde W. vom [DATE] EBS [DATE] , die gültiges Ortsrecht darstellt. Das Verwaltungsgericht hat zutreffend festgestellt, daß erst mit Inkrafttreten der Satzung vom [DATE] , mit der der Rat der Gemeinde in Abweichung von dem § 0 Abs. 0 Satz 0 Buchst. b und e EBS [DATE] zu entnehmenden Teileinrichtungsprogramm auf die Herstellung eines zweiten Gehwegs verzichtete, die gesetzlichen Voraussetzungen für die Entstehung von Erschließungsbeitragspflichten für die erstmalige Herstellung der Straße "Zum U. " gegeben waren. Einer von den Klägern geltend gemachten früheren Entstehung von Erschließungsbeitragspflichten stand unabhängig vom jeweils geltenden Satzungsrecht bis Anfang [DATE] das Fehlen der Widmung der Straße für den öffentlichen Verkehr entgegen. Entgegen der Auffassung des Verwaltungsgerichts durfte der Beklagte den angefochtenen Bescheiden jedoch nicht den gesamten für die erstmalige endgültige Herstellung der Straße "Zum U. " entstandenen Aufwand zugrunde legen, sondern allein denjenigen für die Herstellung des Gehweges. Hinsichtlich des Aufwandes für die Herstellung der Teileinrichtungen Fahrbahn, Beleuchtung, Entwässerung und für die Freilegung waren nämlich bereits mit Zugang der Zustimmungsverfügung des Regierungspräsidenten L. vom [DATE] beim Beklagten Teilbeitragspflichten aufgrund einer Kostenspaltung entstanden, welche wegen Festsetzungsverjährung bei Erlaß der angefochtenen Bescheide bereits erloschen waren. Wegen des Grundsatzes der Einmaligkeit der Entstehung von Erschließungsbeitragspflichten konnten für diese Teileinrichtungen nicht etwa mit Eintritt der Abrechenbarkeit der Erschließungsanlage insgesamt erneut Beitragspflichten entstehen. Mit Beschluß vom [DATE] hat der Rat der Gemeinde W. die Kostenspaltung und Abrechnung der o.g. Teileinrichtungen der Erschließungsanlage "Zum U. " beschlossen. Der Senat vermag nicht der Auffassung des Beklagten zu folgen, bei diesem Beschluß habe es sich nicht um einen Ausspruch der Kostenspaltung, sondern um einen "Fertigstellungsbeschluß" gehandelt. Gegen ein derartiges Verständnis spricht der eindeutige Wortlaut des Beschlusses, in dem von einer "Kostenspaltung" die Rede ist, dementsprechend die Teileinrichtungen aufgeführt werden, die vorab zur Abrechnung gestellt werden sollen, und die einschlägigen Gesetzes und Satzungsbestimmungen ausdrücklich benannt werden. Bedenken gegen die Wirksamkeit dieses Beschlusses bestehen nicht. Insbesondere kann der Beschluß nicht als "Querspaltung" der Erschließungsanlage verstanden werden; denn er spricht die Kostenspaltung nur für Teileinrichtungen bzw. Aufwandspositionen aus, nicht hingegen für Teillängen der Straße. Der Kostenspaltungsbeschluß war entgegen der Ansicht des Beklagten auch nicht etwa gegenstandslos, weil die Erschließungsanlage "Zum U. " bereits bei Ausspruch der Kostenspaltung erschließungsbeitragsrechtlich endgültig hergestellt gewesen wäre. Nach der Rechtsprechung des Bundesverwaltungsgerichts steht zwar die endgültige Herstellung einer Straße, für die wegen Fehlens der Widmung Vollbeitragspflichten noch nicht entstehen können, dem Ausspruch einer Kostenspaltung für Teileinrichtungen entgegen. Bei Erlaß des Kostenspaltungsbeschlusses hatte die Straße "Zum U. " aber entgegen der Ansicht des Beklagten den Zustand der endgültigen Herstellung noch nicht erreicht. Nach der jüngeren Rechtsprechung des Bundesverwaltungsgerichts, der der Senat folgt, ist eine Anbaustraße erst dann endgültig hergestellt im Sinne von [REF] /BauGB, "wenn sie erstmals die nach dem satzungsmäßigen Teileinrichtungsprogramm und dem Bauprogramm erforderlichen Teileinrichtungen aufweist und diese dem jeweils für sie aufgestellten technischen Ausbauprogramm entsprechen", Nach Abschluß der Bauarbeiten an der Straße "Zum U. " im Jahre [DATE] entsprach diese zwar mit ihren nicht flächenmäßigen Teileinrichtungen Entwässerung und Beleuchtung dem satzungsmäßigen Teileinrichtungsprogramm des § 0 Abs. 0 EBS [DATE] , auch waren die vorhandenen Teileinrichtungen der Straße entsprechend den in derselben Vorschrift der Beitragssatzung aufgestellten technischen Anforderungen hergestellt; es fehlte jedoch an der vollständigen Übereinstimmung der flächenmäßigen Teileinrichtungen mit dem seinerzeit bereits vor Abschluß der technischen Ausbauarbeiten aufgestellten Bauprogramm, weil dieses Bauprogramm jedenfalls seit Mitte [DATE] die Herstellung eines Gehweges entlang etwa drei Vierteln der Straßenlänge auch an der südlichen Straßenseite beinhaltete. Nach der Rechtsprechung des Bundesverwaltungsgerichts muß eine Gemeinde nicht allgemeinverbindlich in ihrer Erschließungsbeitragssatzung festlegen, welche flächenmäßigen Teilanlagen Anbaustraßen aufweisen und welchen Anteil an der Gesamtfläche der Straße diese Teilanlagen in Anspruch nehmen sollen. An die Stelle einer solche Regelungen nicht treffenden Satzung tritt insofern vielmehr das auf die jeweilige Straße bezogene Bauprogramm. Dieses Bauprogramm kann formlos aufgestellt und bis zu seiner vollständigen Realisierung ebenso formlos wieder geändert werden. Das für die Straße "Zum U. " aufgestellte konkrete Bauprogramm im vorgenannten Sinne sah nach Überzeugung des Senats mindestens seit Mitte [DATE] und jedenfalls bis zum Inkrafttreten der EBS [DATE] vor, daß die Straße auch vor den südlich angrenzenden unbebauten Grundstücken mit einem Gehweg neben der Fahrbahn versehen werden sollte. Das hat das Verwaltungsgericht in dem in den Jahren [DATE] und [DATE] wegen der seinerzeitigen Heranziehung von Anliegern geführten "Vorprozeß" zu Recht dem Bebauungsplanentwurf für den Bereich unmittelbar südlich der heutigen Straße entnommen, der im [DATE] vom Kreisplanungsamt E. für die Gemeinde erstellt, im [DATE] vom Bürgermeister der Gemeinde auf einer Bürgerversammlung öffentlich vorgestellt und dessen Realisierung aufgrund des Ergebnisses dieser Versammlung von der Gemeinde in Abkehr von einer Planungsalternative allein weiterverfolgt worden ist . Dieser Entwurf sieht mit Ausnahme einer Teilstrecke von etwa 0 m zur I. straße hin entlang der südlichen Grenze der heutigen Fahrbahn eine Straßenverbreiterung um etwa 0 bis 0 m vor. Diese Planung ist, wie das Verwaltungsgericht in dem "Vorprozeß" ausgeführt hat, Ausdruck der gemeindlichen Ausbauvorstellungen, die Straße "Zum U. " solle auf der im Bebauungsplanentwurf als Straßenverbreiterung dargestellten Fläche mit einem zweiten Gehweg vor der neu geplanten Wohnbebauung versehen werden. Der dementsprechenden Deutung durch das Verwaltungsgericht ist der Beklagte in dem "Vorprozeß" nicht entgegengetreten. Auch in der mündlichen Verhandlung hat er diesem Verständnis des Bebauungsplanentwurfes durch den Senat nichts entgegengesetzt. Daß dieser zweite Gehweg nach den Planungen der Gemeinde auf privaten Außenbereichsgrundstücken und außerhalb der für den unbefangenen Beobachter vor Ort erkennbaren, bereits vorhandenen Straßentrasse angelegt werden sollte, steht der Anwendung der oben genannten Rechtsprechung des Bundesverwaltungsgerichts zum "konkreten Bauprogramm" nicht entgegen, da hiernach genügt, daß das Bauprogramm überhaupt nachweisbar ist , nicht aber gefordert wird, es habe für die beitragspflichtigen Anlieger vor Ort erkennbar sein müssen. Da die Absicht, einen solchen zweiten Gehweg herzustellen, von Seiten der Gemeinde bis zur Verweigerung der Genehmigung des Bebauungsplans durch den Regierungspräsidenten Ende [DATE] nicht aufgegeben wurde, konnten mit Eingang der Zustimmung des Regierungspräsidenten L. vom [DATE] zu dem bis dahin getätigten Straßenbau die Teilbeitragspflichten für die abgespaltenen Teileinrichtungen entstehen. Zum Erfordernis einer nach [REF] rechtmäßigen Herstellung der abgespaltenen Teileinrichtungen für die Entstehung von Teilbeitragspflichten vgl. BVerwG, Urteil vom [DATE] , a.a.O., S. 0. Dem steht nicht entgegen, daß die Fläche des geplanten zweiten Gehweges nicht von der Zustimmung des Regierungspräsidenten erfaßt war, weil die Kostenspaltung den Aufwand weder für den vorhandenen, noch für den geplanten zweiten Gehweg erfaßte. Die Annahme einer endgültigen Herstellung der Fahrbahn der Erschließungsanlage scheidet auch nicht deshalb aus, weil die Gemeinde in dem genannten Bebauungsplanentwurf auch die Herstellung einer von der Straße "Zum U. " abzweigenden, lediglich etwa 0 m langen Stichstraße plante. Diese Ausbauvorstellungen sind schon deshalb nicht von Bedeutung, weil diese Stichstraße in ihrem weiteren Verlauf rechtwinklig abknicken sollte und damit selbst bei gleichzeitiger Fertigstellung der Straßen nicht als unselbständiger Bestandteil der Straße "Zum U. " hätte angesehen werden können. An den aufgrund des Kostenspaltungsbeschlusses einmal entstandenen Teilbeitragspflichten vermochten weder die spätere Änderung des konkreten Bauprogramms durch Aufgabe des Willens, einen zweiten Gehweg herzustellen, noch die Aufhebung des Kostenspaltungsbeschlusses etwas zu ändern. Die dem Beklagten für die Festsetzung der Teilbeitragspflichten zur Verfügung stehende Frist von vier Jahren war bei Erlaß der angefochtenen Bescheide bereits abgelaufen. Die Aufhebung des im Jahre [DATE] erlassenen Beitragsbescheides erfolgte im Jahre [DATE] durch den Beklagten selbst, so daß eine Ablaufhemmung nach [REF] nicht eingetreten ist. Daß der Beklagte zu dieser Aufhebung durch das Verwaltungsgericht veranlaßt worden war, rechtfertigt eine entsprechende Anwendung der Vorschrift nicht. Eine Ablaufhemmung nach [REF] kommt bereits deshalb nicht in Betracht, weil die Verweisung auf diese Vorschrift in [REF] NW erst durch Gesetz vom [DATE] , GV NW S. 0, aufgenommen worden ist. Bedenken gegen den mit den angefochtenen Bescheiden geltend gemachten Aufwand im übrigen bestehen nicht. Soweit die Kläger den sog. "Halbteilungsgrundsatz" ansprechen, sind Zweifel an der Berücksichtigungsfähigkeit des noch in Rede stehenden Erschließungsaufwandes für den hergestellten Gehweg und anteilige Finanzierungskosten nicht veranlaßt, da der allein entlang der angebauten Straßenseite hergestellte Gehweg von 0 m Breite ohne weiteres als auch für eine nur einseitig anbaubare Straße "unerläßlich" Aufgrund der somit gebotenen Reduzierung des beitragsfähigen Aufwandes auf die Kosten für die Anlegung des Gehweges und die anteiligen Finanzierungskosten, die der Beklagte auf insgesamt 0 DM beziffert hat, ohne daß hiergegen Einwände erhoben worden oder Fehler ersichtlich wären, ergibt sich nach der vom Beklagten vorgelegten Vergleichsberechnung ein Erschließungsbeitrag für das klägerische Grundstück in Höhe von 0 DM. Daß der Beklagte in die Aufwandsverteilung nicht auch die unbebauten Grundstücksflächen südlich der Erschließungsanlage einbezogen hat, ist entgegen der Ansicht der Kläger nicht zu beanstanden. Zweifel an der Einschätzung des Beklagten, hierbei habe es sich im Zeitpunkt der Entstehung der sachlichen Beitragspflichten um Außenbereichsflächen im Sinne von [REF] gehandelt, haben die Kläger nicht angemeldet und ergeben sich auch aus den Verwaltungsvorgängen, namentlich den vorliegenden Plänen, nicht. Die Ausweisung im Flächennutzungsplan als Wohnbauflächen ändert an dieser rechtlichen Qualifizierung nichts. Außenbereichsflächen sind jedoch nicht als durch eine Anbaustraße erschlossen i.S.v. [REF] anzusehen und nehmen damit selbst dann nicht an der Verteilung des Erschließungsaufwandes teil, wenn eine Ausweitung der Bauflächen in den Außenbereich durch Bebauungsplan vorgesehen und das Planverfahren bis zum Satzungsbeschluß gediehen ist. Wegen der Maßgeblichkeit der Verhältnisse bei Entstehung der Beitragspflichten ist es in diesem Zusammenhang ohne Bedeutung, ob und mit welcher Wahrscheinlichkeit die Aussicht besteht, daß die fraglichen Grundstücke in Zukunft als Bauland ausgewiesen werden, nachdem das erwähnte Bebauungsplanverfahren infolge Ablehnung der Genehmigung durch den Regierungspräsidenten gescheitert ist. Soweit die Kläger sich schließlich auf Verjährung oder Verwirkung berufen, gehen diese Einwände fehl, da die Erschließungsbeitragspflicht erst mit Gültigkeit der Abweichungssatzung, wenige Monate vor Erlaß der angefochtenen Bescheide entstanden ist. Für die von den Klägern angeregte entsprechende Anwendung des [REF] wegen treuwidrig verzögerter Widmung fehlt jeglicher sachliche Anknüpfungspunkt.