Die Beschwerde des Klägers gegen den Beschluss des Verwaltungsgerichts, mit dem dieses die Erinnerung gegen den Kostenfestsetzungsbeschluss des Urkundsbeamten der Geschäftsstelle vom [DATE] zurückgewiesen hat, ist unbegründet. Der Urkundsbeamte der Geschäftsstelle des Verwaltungsgerichts hat den Antrag des Klägers vom [DATE] , über die im Kostenfestsetzungsbeschluss vom [DATE] bereits festgesetzten Kosten hinaus eine Erledigungsgebühr nach Nrn. 0, 0 VV RVG und eine Verfahrensgebühr nach Nr. 0 VV RVG festzusetzen, im Kostenfestsetzungsbeschluss vom [DATE] zu Recht abgelehnt. Denn der begehrten Nachfestsetzung steht die Rechtskraft des Kostenfestsetzungsbeschlusses vom [DATE] entgegen. 0 Kostenfestsetzungsbeschlüsse erwachsen mit Eintritt der Unanfechtbarkeit in formelle und materielle Rechtskraft . Ein Antrag auf Festsetzung von Kosten ist daher ohne erneute sachliche Prüfung zurückzuweisen, wenn er Kosten betrifft, über die in einem vorausgehenden Kostenfestsetzungsbeschluss bereits rechtskräftig entschieden worden ist. Der dem Nachfestsetzungsantrag vom [DATE] vorausgegangene Kostenfestsetzungsbeschluss vom [DATE] ist, wie es das Verwaltungsgericht zutreffend ausgeführt hat, bereits mit Ablauf des [DATE] unanfechtbar geworden und damit in formelle Rechtskraft erwachsen. Der Kläger hat gegen den Kostenfestsetzungsbeschluss vom [DATE] zwar fristgerecht am [DATE] Erinnerung eingelegt. Gegen den diese Erinnerung zurückweisenden Beschluss des Verwaltungsgerichts vom [DATE] , dem Kläger zugestellt am [DATE] , hat der Kläger innerhalb der mit Ablauf des [DATE] endenden Frist nach [REF] das statthafte Rechtsmittel der Beschwerde nach §§ 0 Abs. 0 und 0, 0 ff. VwGO i.V.m. [REF] aber nicht erhoben . Der Kostenfestsetzungsbeschluss vom [DATE] ist daher mit Ablauf der Beschwerdefrist des [REF] unanfechtbar geworden. Dem steht die vom Kläger am [DATE] erhobene Gegenvorstellung nicht entgegen. Denn dieser außerordentliche Rechtsbehelf hindert den Eintritt der formellen Rechtskraft nicht . Entgegen der Auffassung des Klägers wurde der Eintritt der Unanfechtbarkeit auch nicht durch die von ihm gegen den Beschluss des Verwaltungsgerichts Göttingen vom [DATE] erhobene Beschwerde, die der Senat mit Beschluss vom [DATE] [REF] verworfen hat, hinausgeschoben. Denn allenfalls dann, wenn ein an sich statthaftes und insbesondere rechtzeitig eingelegtes Rechtsmittel nach Ablauf der Rechtsmittelfrist verworfen wird, tritt die Unanfechtbarkeit mit der Rechtskraft der Verwerfungsentscheidung ein . Diese Voraussetzungen liegen hier aber wie ausgeführt nicht vor. 0 Die mit der Unanfechtbarkeit ebenfalls verbundene materielle Rechtskraft des Kostenfestsetzungsbeschlusses vom [DATE] erstreckt sich auf den Gegenstand der Kostenfestsetzung. Die materielle Rechtskraft des Kostenfestsetzungsbeschlusses steht einer Nachfestsetzung von Kosten daher dann entgegen, wenn über die nachträglich zur Festsetzung beantragten Kosten bereits im vorausgehenden Kostenfestsetzungsbeschluss entschieden worden ist . So verhält es sich hier. Über die vom Kläger am [DATE] zur Nachfestsetzung beantragte Erledigungsgebühr nach Nrn. 0, 0 VV RVG und die Verfahrensgebühr nach Nr. 0 VV RVG ist bereits im rechtskräftigen Kostenfestsetzungsbeschluss vom [DATE] abschließend entschieden worden. Hinsichtlich der Erledigungsgebühr nach Nrn. 0, 0 VV RVG ist dies offensichtlich. Diese war vollständig Gegenstand des klägerischen Kostenfestsetzungsantrages vom [DATE] . Die Festsetzung ist im Kostenfestsetzungsbeschluss vom [DATE] ausdrücklich abgelehnt worden. Die materielle Rechtskraft des Kostenfestsetzungsbeschlusses vom [DATE] hindert daher die nun begehrte Nachfestsetzung. Entgegen dem klägerischen Vorbringen ändert hieran auch ein etwaiger Verstoß gegen das Gebot rechtlichen Gehörs im Verfahren bis zum Erlass des Kostenfestsetzungsbeschlusses vom [DATE] nichts. Denn ein solcher etwaiger Verstoß wäre spätestens dadurch geheilt, dass der Kläger im nachfolgenden Erinnerungsverfahren ausreichend Gelegenheit hatte, zur Nichtfestsetzung der Erledigungsgebühr Stellung zu nehmen . Auch die Verfahrensgebühr nach Nr. 0 VV RVG hat der Kläger im Kostenfestsetzungsantrag vom [DATE] geltend gemacht. Der konkrete Ansatz erfolgte dabei entgegen dem klägerischen Vorbringen im Beschwerdeverfahren nicht lediglich in Höhe eines von vorneherein um eine gemäß Teil 0 Vorbemerkung 0 Absatz 0 VV RVG anzurechnende Geschäftsgebühr nach Nr. 0 VV RVG geminderten Teilbetrages, auf den sich die materielle Rechtskraft beschränken würde. Vielmehr hat der Kläger mit seinem Kostenfestsetzungsantrag vom [DATE] die Verfahrensgebühr nach Nr. 0 VV RVG in voller Höhe zum Ansatz gebracht und die hälftige Anrechnung einer Geschäftsgebühr nach Nr. 0 VV RVG zur Entscheidung des Verwaltungsgerichts gestellt. Diese Entscheidung ist im Kostenfestsetzungsbeschluss vom [DATE] durch Vornahme der anteiligen Anrechnung getroffen und im nachfolgenden Erinnerungsverfahren bestätigt worden. Gegenstand des rechtskräftig abgeschlossenen Kostenfestsetzungsverfahrens war daher nicht ein bloßer Teilbetrag der Verfahrensgebühr nach Nr. 0 VV RVG. Vielmehr ist rechtskräftig sowohl über die Verfahrensgebühr in voller Höhe als auch über die Anrechnung der Geschäftsgebühr entschieden worden. Unabhängig von der inhaltlichen Richtigkeit dieser Entscheidung steht daher der Nachfestsetzung der Verfahrensgebühr die materielle Rechtskraft des Kostenfestsetzungsbeschlusses vom [DATE] entgegen. Entgegen der Auffassung des Klägers führt auch ein im Erinnerungs und Beschwerdeverfahren gestellter Nachfestsetzungsantrag nicht zur Durchbrechung der materiellen Rechtskraft. Sind Kostenpositionen in einem Kostenfestsetzungsantrag gleich aus welchem Grund nicht geltend gemacht worden, kann zwar die Möglichkeit bestehen, diese in einem nachfolgenden zulässigen Erinnerungs oder Beschwerdeverfahren "nachzuschieben" . Dies setzt aber gerade voraus, dass über die nachgeschobenen Kostenpositionen noch nicht rechtskräftig entschieden worden ist. 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