Die Klägerin, Beschwerdeführerin und Rügeführerin beantragte für im Jahr [DATE] angeschaffte Wirtschaftsgüter ohne Erfolg eine Investitionszulage nach [REF] es [DATE] ; der Beklagte und Beschwerdegegner ordnete die von der Klägerin ausgeübte Tätigkeit nicht den begünstigten Wirtschaftszweigen des § 0 InvZulG [DATE] zu. Das Finanzgericht wies die Klage ab . Die Klägerin begründete ihre Nichtzulassungsbeschwerde am [DATE] und erwiderte am [DATE] auf die Stellungnahme des FA. Die seinerzeitige Senatsvorsitzende benachrichtigte die Beteiligten sodann von der Absicht des Senats, das Verfahren nach [REF] bis zur Entscheidung des Bundesverfassungsgerichts über die Verfassungsbeschwerde [REF] auszusetzen. Damit war die Klägerin nicht einverstanden. Der Senat wies die Beschwerde daraufhin mangels Zulassungsgründen als unbegründet zurück . Die von der Klägerin als klärungsbedürftig angesehenen Rechtsfragen seien bereits geklärt: Die Auslegung des Begriffs des verarbeitenden Gewerbes im Investitionszulagenrecht richte sich nach der vom Statistischen Bundesamt herausgegebenen Klassifikation der Wirtschaftszweige in der für das jeweilige Streitjahr geltenden Fassung, bei statistischen Eingruppierungen handele es sich nicht um Grundlagenbescheide und durch die Rechtsprechung sei auch geklärt, unter welchen Voraussetzungen fehlerhafte statistische Eingruppierungen für die Investitionszulage unbeachtet bleiben könnten. Dagegen erhob die Klägerin Anhörungsrüge und beantragte, das Verfahren fortzusetzen. Das Schreiben des Senats mit dem Hinweis auf [REF] habe nur so verstanden werden können, dass dieser die Entscheidung des BVerfG als vorgreiflich erachte. Danach wäre die Revision zuzulassen gewesen, da der Streitfall ebenfalls die Maßgeblichkeit der Klassifikation der Wirtschaftszweige für die Auslegung des Begriffs des verarbeitenden Gewerbes betreffe. Nur aus diesem Grunde habe sie die Klägerin der Aussetzung nicht zugestimmt. Falls der Senat das Verfahren über die Verfassungsbeschwerde nicht für vorgreiflich gehalten habe, wäre eine Verfahrensruhe in Betracht gekommen . Dieser hätte sie, falls nicht der Eindruck der Vorgreiflichkeit der Entscheidung des Verfassungsgerichts erweckt worden wäre, gegebenenfalls zugestimmt. Der Senat habe daher eine unzulässige Überraschungsentscheidung getroffen. Entscheidungsgründe Die statthafte Anhörungsrüge ist unzulässig und durch Beschluss zu verwerfen . Ihre Begründung entspricht nicht den Anforderungen des [REF] , denn die Klägerin hat nicht schlüssig und substantiiert dargelegt, inwiefern ihr Anspruch auf rechtliches Gehör im Verfahren über die Nichtzulassungsbeschwerde in entscheidungserheblicher Weise verletzt wurde . Die Klägerin hat nicht dargelegt, zu welchen Sach oder Rechtsfragen sie nicht hat vortragen können. Da sie ihre Nichtzulassungsbeschwerde ausführlich begründet und zudem auf die Stellungnahme des FA erwidert hatte, ist im Übrigen auch nicht ersichtlich, inwiefern der Senat sie durch seinen Beschluss an entscheidungserheblichem Vortrag gehindert haben könnte. Der Anspruch auf rechtliches Gehör wird durch eine Überraschungsentscheidung verletzt, wenn das Gericht aufgrund von Gesichtspunkten entscheidet, mit denen ein gewissenhafter und kundiger Prozessbeteiligter nach dem bisherigen Verlauf des Verfahrens nicht zu rechnen brauchte, ohne zuvor darauf hinzuweisen und Gelegenheit zur Stellungnahme zu geben . Überraschungsentscheidungen sind jedoch im Nichtzulassungsbeschwerdeverfahren praktisch ausgeschlossen. Denn diese erfordern weder eine Sachverhaltswürdigung noch die rechtliche "Lösung" des Streitfalles, wobei sich gegenüber dem bisherigen Verfahren neue Aspekte ergeben könnten, sondern lediglich die Prüfung, ob Zulassungsgründe i.S. von [REF] vorliegen und bis zum Ablauf der Begründungsfrist auch dargelegt wurden . Mit ihrer Rüge, der Senat habe eine Überraschungsentscheidung getroffen, macht die Klägerin letztlich Einwendungen gegen die materielle Richtigkeit des Senatsbeschlusses in BFH/NV [DATE] , 0 geltend, indem sie von dem beim BVerfG anhängigen Verfahren auf die grundsätzliche Bedeutung der Sache schließt. Einwendungen gegen die materielle Richtigkeit der Entscheidung sind jedoch im Verfahren über die Anhörungsrüge nicht zu prüfen, da diese auf die Rüge der Verletzung des rechtlichen Gehörs beschränkt ist . Die Gerichtskosten für die Anhörungsrüge richten sich nach Nr. 0 des Kostenverzeichnisses zum Gerichtskostengesetz GKG . Es fällt eine Festgebühr von 0 € an.