Gegenstand des Revisionsverfahrens ist Kapitel 0 "Energetische Windnutzung" des Regionalplans Westsachsen [DATE] des Antragsgegners vom [DATE] , in dem durch Bezugnahme auf eine Karte Vorrang und Eignungsgebiete für die Windenergienutzung zeichnerisch dargestellt sind und textlich als Ziel bestimmt ist, dass die Errichtung von Windenergieanlagen ausschließlich in den Vorrang und Eignungsgebieten zulässig ist. Die Antragstellerin ist ein Unternehmen der Windenergiebranche. Sie ist Inhaberin einer immissionsschutzrechtlichen Genehmigung, auf deren Grundlage sie zwei Windenergieanlagen errichtet und in Betrieb genommen hat. Der Standort der Anlagen liegt im Plangebiet außerhalb der für die Windenergienutzung dargestellten Vorrang und Eignungsgebiete. Das Oberverwaltungsgericht hat die Konzentrationsflächenplanung nicht beanstandet. Sie beruhe namentlich nicht auf einem beachtlichen Verstoß gegen das Abwägungsgebot. Dagegen wendet sich die Antragstellerin mit ihrer vom Senat zugelassenen Revision. Entscheidungsgründe Die Revision ist begründet, weil das angefochtene Urteil nicht in jeder Hinsicht mit Bundesrecht vereinbar ist. Ob Kapitel 0 des Regionalplans Westsachsen [DATE] des Antragsgegners wirksam ist, kann mangels erforderlicher Tatsachenfeststellungen der Vorinstanz im Revisionsverfahren nicht abschließend beurteilt werden. Das nötigt zur Zurückverweisung der Sache an das Oberverwaltungsgericht . Eine planerische Entscheidung zur Herbeiführung der Rechtsfolgen des [REF] hiernach stehen öffentliche Belange u.a. einem Vorhaben zur Nutzung der Windenergie in der Regel entgegen, soweit hierfür durch Darstellungen im Flächennutzungsplan oder als Ziele der Raumordnung eine Ausweisung an anderer Stelle erfolgt ist bedarf zu ihrer Wirksamkeit eines schlüssigen gesamträumlichen Planungskonzepts . Um den Anforderungen gerecht zu werden, die an den Abwägungsvorgang zu stellen sind, muss das Konzept nicht nur Auskunft darüber geben, von welchen Erwägungen die positive Standortzuweisung getragen wird, sondern auch die Gründe für die beabsichtigte Freihaltung des übrigen Planungsraums von Windenergieanlagen aufzeigen. Nach der Rechtsprechung des Senats, die das Oberverwaltungsgericht zutreffend referiert hat, vollzieht sich die Ausarbeitung des Planungskonzepts abschnittsweise : In einem ersten Arbeitsschritt sind diejenigen Bereiche als "Tabuzonen" zu ermitteln, die für die Nutzung der Windenergie nicht zur Verfügung stehen. Die Tabuzonen lassen sich in "harte" und "weiche" untergliedern . Der Begriff der harten Tabuzonen dient der Kennzeichnung von Teilen des Planungsraums, die für eine Windenergienutzung, aus welchen Gründen immer, nicht in Betracht kommen, mithin für eine Windenergienutzung "schlechthin" ungeeignet sind , mit dem Begriff der weichen Tabuzonen werden Bereiche des Gemeindegebiets erfasst, in denen nach dem Willen des Plangebers aus unterschiedlichen Gründen die Errichtung von Windenergieanlagen "von vornherein" ausgeschlossen werden "soll" . Die Potenzialflächen, die nach Abzug der harten und weichen Tabuzonen übrig bleiben, sind in einem weiteren Arbeitsschritt zu den auf ihnen konkurrierenden Nutzungen in Beziehung zu setzen, d.h. die öffentlichen Belange, die gegen die Ausweisung eines Landschaftsraums als Konzentrationszone sprechen, sind mit dem Anliegen abzuwägen, der Windenergienutzung an geeigneten Standorten eine Chance zu geben, die ihrer Privilegierung nach [REF] gerecht wird. Das Oberverwaltungsgericht ist der Ansicht, dass auf der ersten Stufe des Planungsprozesses eine Aufschlüsselung in harte und weiche Tabuzonen und deren Dokumentation nicht erforderlich sei. Diese Auffassung steht mit Bundesrecht nicht im Einklang. Wie der Senat bereits entschieden hat , muss sich der Plangeber zur Vermeidung eines Fehlers im Abwägungsvorgang den Unterschied zwischen harten und weichen Tabuzonen bewusst machen und ihn dokumentieren. Das ist dem Umstand geschuldet, dass die beiden Arten der Tabuzonen nicht demselben rechtlichen Regime unterliegen. Bei den harten Tabuzonen handelt es sich um Flächen, auf denen die Windenergienutzung aus tatsächlichen oder rechtlichen Gründen ausgeschlossen ist. Sie sind einer Abwägung zwischen den Belangen der Windenergienutzung und widerstreitenden Belangen entzogen. Demgegenüber sind weiche Tabuzonen zu den Flächen zu rechnen, die einer Berücksichtigung im Rahmen der Abwägung zugänglich sind. Zwar dürfen sie anhand einheitlicher Kriterien ermittelt und vorab ausgeschieden werden, bevor diejenigen Belange abgewogen werden, die im Einzelfall für und gegen die Nutzung einer Fläche für die Windenergie sprechen. Das ändert aber nichts daran, dass sie der Ebene der Abwägung zuzuordnen sind. Sie sind disponibel, was sich daran zeigt, dass raumplanerische Gesichtspunkte hier nicht von vornherein vorrangig sind und der Plangeber die weichen Tabuzonen einer erneuten Betrachtung und Bewertung unterziehen muss, wenn er als Ergebnis seiner Untersuchung erkennt, dass er für die Windenergienutzung nicht substanziell Raum schafft . Seine Entscheidung für weiche Tabuzonen muss der Plangeber rechtfertigen. Dazu muss er aufzeigen, wie er die eigenen Ausschlussgründe bewertet, d.h. kenntlich machen, dass er anders als bei harten Tabukriterien einen Bewertungsspielraum hat, und die Gründe für seine Wertung offen legen. Nach den tatsächlichen Feststellungen des Oberverwaltungsgerichts, an die der Senat nach [REF] gebunden ist, hat der Antragsgegner zwischen harten und weichen Tabuzonen nicht differenziert, sondern sie als Bereiche zusammengefasst, die für eine Windenergienutzung aus tatsächlichen, rechtlichen oder planerischen Gründen ausscheiden . Der Umweltbericht, dem das Oberverwaltungsgericht die vom Antragsgegner der Planung zugrunde gelegten Tabuzonen entnommen hat, ordnet diese nicht der jeweiligen Unterart zu, sondern beschränkt sich auf eine bloße Auflistung . Die Einzelfallbetrachtung, von der im angefochtenen Urteil die Rede ist , hat erst auf der zweiten Planungsstufe stattgefunden, nachdem die harten und weichen Tabuzonen als Negativflächen in Abzug gebracht worden waren. Aus dem Normenkontrollurteil ergibt sich allerdings, dass der Antragsgegner bei der Festlegung der Siedlungsabstände zwischen harten und weichen Tabuzonen unterschieden hat. Ihm ist bekannt, dass die Abstandsflächen, die aus Gründen des Immissionsschutzes von Windenergieanlagen freigehalten werden müssen, zu den harten Tabuzonen gehören. Die Abstandsflächen jenseits des immissionsschutzrechtlich gebotenen Minimums hat er den weichen Tabuzonen zugeschlagen; denn er hat sie für die Windenergienutzung zur Verfügung gestellt, soweit sie bereits in dem früheren bestandskräftigen Regionalplan in Vorrang und Eignungsgebiete einbezogen worden waren , sie ansonsten aber als Ausschlussflächen behandelt. Aus dem Umgang mit dem Kriterium der Siedlungsabstände ergibt sich freilich nicht, dass er auch die anderen Tabukriterien seines Katalogs in harte und weiche unterteilt hat. Der Mangel im Abwägungsvorgang ist nach [REF] nur erheblich, wenn er offensichtlich und auf das Abwägungsergebnis von Einfluss gewesen ist. Offensichtlich ist ein Mangel, wenn er auf objektiv feststellbaren Umständen beruht und ohne Ausforschung der Entscheidungsträger über deren Planungsvorstellungen für den Rechtsanwender erkennbar ist . Auf das Abwägungsergebnis von Einfluss gewesen ist der Mangel, wenn nach den Umständen des jeweiligen Falles die konkrete Möglichkeit besteht, dass ohne ihn die Planung anders ausgefallen wäre , d.h. vorliegend, dass mehr und/oder größere Vorrang und Eignungsgebiete für die Windenergienutzung ausgewiesen worden wären. Ob die letztgenannte Voraussetzung erfüllt ist, kann der Senat mangels ausreichender Feststellungen im Normenkontrollurteil nicht beurteilen. Das Oberverwaltungsgericht hat die Planerhaltungsvorschrift von seinem rechtlichen Standpunkt aus konsequent nicht im Hinblick auf den Mangel der fehlenden Differenzierung zwischen den harten und weichen Tabuzonen geprüft. Das wird es nachzuholen haben. Bejaht es die Erheblichkeit des Abwägungsmangels, wird es außerdem der Frage nachzugehen haben, ob der Mangel nach [REF] i.V.m. § 0 Abs. 0 SächsLPlG in der bei Inkrafttreten des Regionalplans [DATE] geltenden Fassung wegen Versäumung der Rügefrist unbeachtlich geworden ist. Das Oberverwaltungsgericht hat dem Antragsgegner bescheinigt, die allgemeinen Interessen der Betreiber genehmigter Alt und Bestandsanlagen außerhalb der Vorrang und Eignungsgebiete für die Windenergienutzung in die Abwägung eingestellt zu haben . In der Planbegründung zu Kapitel 0 werde darauf hingewiesen, dass für solche Windenergieanlagen die Regelung des baurechtlichen Bestandsschutzes gelten solle. Das bedeute, dass eine Genehmigung von Ersatzbauten oder Änderungen nicht erteilt werden könne. Die Antragstellerin bemängelt zwar, dass ihr Interesse an einer Gewährung auch materiellen Bestandsschutzes durch Einbeziehung der Standorte ihrer Anlagen in ein Vorrang und Eignungsgebiet für die Windenergienutzung nicht ausdrücklich berücksichtigt worden sei. Sie legt jedoch nicht dar, dass dieses Interesse über die Interessen anderer Betreiber genehmigter Windenergieanlagen außerhalb einer Vorrang und Eignungszone hinausgeht. Es geht vielmehr in den allgemeinen Belangen der Betreiber genehmigter Alt oder Bestandsanlagen auf und ist damit im Abwägungsvorgang erfasst worden. Im Einklang mit Bundesrecht hat das Oberverwaltungsgericht auch darin keinen Fehler im Abwägungsvorgang gesehen, dass der Antragsgegner mögliche Entschädigungsansprüche nach dem Planungsschadensrecht nicht in seine Überlegungen einbezogen hat . Zwar sind die Nachteile einer Planung für Planunterworfene sowie die Tatsache und der mögliche Umfang hierfür zu leistender Entschädigungen im Rahmen der Abwägung zu berücksichtigen . Zu Recht hat das Oberverwaltungsgericht aber mögliche Entschädigungsansprüche in entsprechender Anwendung der § [REF] verneint. Mit Kapitel 0 des Regionalplans [DATE] sind keine Vorrang und Eignungsgebiete aus einem früheren Regionalplan "weggeplant" worden. [REF] scheidet damit als Anspruchsgrundlage von vornherein aus, da er den Entzug eines Baurechts voraussetzt, das durch einen Plan gewährt worden ist. Auch [REF] ist unergiebig, weil die Nutzungsmöglichkeiten, die [REF] eröffnet, nicht die in der Vorschrift vorausgesetzte Qualität einer eigentumsrechtlichen Rechtsposition haben . Vorhaben im Außenbereich sind nicht ohne Weiteres zulässig, sondern stehen unter dem Vorbehalt der Nichtbeeinträchtigung bzw. des Nichtentgegenstehens öffentlicher Belange. Windenergieanlagen weisen überdies die Besonderheit auf, dass sie zwar seit dem [DATE] privilegiert zulässig, seit diesem Zeitpunkt aber auch dem Planvorbehalt des [REF] unterworfen sind. Nicht zu beanstanden ist ferner, dass das Oberverwaltungsgericht die möglicherweise irrige Einschätzung des Antragsgegners, die Standorte der beiden Windenergieanlagen der Antragstellerin lägen in einem Tourismusgebiet, als unbeachtlich behandelt hat. Die Vorinstanz hat, einen Fehler im Abwägungsvorgang inzident unterstellend, dessen Kausalität für das Abwägungsergebnis verneint, weil der Antragsgegner für Vorrang und Eignungsgebiete aus "sachorientierten und nachvollziehbaren" Gründen eine Mindestgröße von 0 ha veranschlagt habe und die von der Antragstellerin beanspruchte Fläche wegen ihrer geringen Größe von 0 ha nicht zum Vorrang und Eignungsgebiet gemacht hätte . Dieser Würdigung liegt kein Fehlverständnis des [REF] zugrunde. Das Oberverwaltungsgericht billigt die Entscheidung des Antragsgegners, eine Ersetzung genehmigter Anlagen außerhalb von Vorrang und Eignungsgebieten nicht zuzulassen, als "nachvollziehbar", weil es Ziel der Raumordnung sei, Windenergieanlagen zu konzentrieren, um sie effizient nutzen zu können und um andere Bereiche, die schutzbedürftig seien, zu schonen und eine sog. "Verspargelung" des Außenbereichs zu vermeiden . Aus revisionsrechtlicher Sicht böte diese Würdigung nur Anlass zur Kritik, wenn sie gegen revisible Rechtssätze, allgemeine Erfahrungssätze oder Denkgesetze verstieße . Das ist nicht der Fall. Das Oberverwaltungsgericht ist davon ausgegangen, dass sich der Plangeber im Rahmen seines Spielraums hält, wenn er sich in der Kollision zwischen verschiedenen Belangen für die Bevorzugung des einen und damit notwendig für die Zurückstellung des anderen entscheidet, und das Abwägungsergebnis erst dann zu missbilligen ist, wenn der Ausgleich der berührten Belange in einer Weise vorgenommen worden ist, der zur objektiven Gewichtigkeit einzelner Belange außer Verhältnis steht . Das entspricht der ständigen Rechtsprechung des Senats zum Abwägungsgebot . Revisionsrechtlich unerheblich ist, dass die Antragstellerin dem Oberverwaltungsgericht in der Würdigung des Abwägungsergebnisses nicht folgt. Auch die Einschätzung des Oberverwaltungsgerichts, die Vorrang und Eignungsgebiete für die Windenergienutzung seien ausreichend dimensioniert, um der Windenergie substanziell Raum zu verschaffen, ist nicht mit einem Bundesrechtsverstoß behaftet. Das Oberverwaltungsgericht hat die Größe der Vorrang und Eignungsflächen für die Windenergienutzung mit der Regionsfläche verglichen und ist zu dem Ergebnis gekommen, dass der Quotient von 0 % ausreichend ist . Durch Bezugnahme auf das Urteil vom 0. April [DATE] [REF] hat es hinzugefügt, dass der der Windnutzung zur Verfügung stehende flächenmäßige Anteil größer wird, wenn diejenigen Gebiete, die für eine Windenergienutzung nicht in Betracht kommen, wie z.B. besiedelte Flächen, von der Gesamtfläche des Plangebiets abgezogen werden. Die Vergleichsmaßstäbe, die das Oberverwaltungsgericht angelegt hat, sind nicht zu beanstanden. Sie stehen mit der Rechtsprechung des Senats im Einklang . An die vorinstanzliche Würdigung, dass die Vorrang und Eignungsflächen im Vergleich nicht unverhältnismäßig klein seien und sich die Konzentrationsflächenplanung des Antragsgegners deshalb nicht als unzulässige "Verhinderungsplanung" darstelle, ist der Senat nach [REF] gebunden.