Tenor 0. Auf die Revision der Beklagten wird das Urteil des Landesarbeitsgerichts Hamm vom [DATE] [REF] teilweise aufgehoben. 0. Die Anschlussberufung der Klägerin wird insgesamt zurückgewiesen. Auf die Berufung der Beklagten wird das Urteil des Arbeitsgerichts Herne vom [DATE] [REF] teilweise abgeändert. Die Klage wird insgesamt abgewiesen. 0. Die Klägerin hat die Kosten des Rechtsstreits zu tragen. Tatbestand Die Klägerin war vom [DATE] bis zum [DATE] bei der Beklagten als Monteurin beschäftigt. Sie bezog zuletzt ein monatliches Grundentgelt in Höhe von 0 Euro brutto, welches sich durch regelmäßige Entgeltbestandteile um durchschnittlich 0 Euro pro Tag erhöhte. Kraft beiderseitiger Tarifgebundenheit richtete sich das Arbeitsverhältnis ua. nach den Vorschriften des „Einheitlichen Manteltarifvertrags“ für die Metall und Elektroindustrie in Nordrhein-Westfalen vom [DATE] . In diesem heißt es zum Urlaub und zum Arbeitsentgelt ua.: „§ 0 Grundsätze der Urlaubsgewährung 0. Beschäftigte/Auszubildende haben nach Maßgabe der nachstehenden Bestimmungen in jedem Urlaubsjahr Anspruch auf bezahlten Erholungsurlaub. Urlaubsjahr ist das Kalenderjahr. Der Urlaubsanspruch erlischt drei Monate nach Ablauf des Kalenderjahres, es sei denn, dass er erfolglos geltend gemacht wurde oder dass Urlaub aus betrieblichen Gründen nicht genommen werden konnte. Konnte der Urlaub wegen Krankheit nicht genommen werden, erlischt der Urlaubsanspruch zwölf Monate nach Ablauf des Zeitraums nach Abs. 0. ... 0. Eine Abgeltung des Urlaubsanspruchs ist nur bei Beendigung des Arbeitsverhältnisses/Ausbildungsverhältnisses zulässig. Die Urlaubsabgeltung entfällt ausnahmsweise, wenn der/die Beschäftigte durch eigenes schwerwiegendes Verschulden aus einem Grund entlassen worden ist, der eine fristlose Kündigung rechtfertigt, oder das Arbeitsverhältnis unberechtigt vorzeitig gelöst hat und in diesen Fällen eine grobe Verletzung der Treuepflicht aus dem Arbeitsverhältnis vorliegt. Die hiernach verwirkte Urlaubsvergütung ist im Einvernehmen mit dem Betriebsrat einer betrieblichen Unterstützungseinrichtung zuzuführen oder sonst zugunsten der Beschäftigten zu verwenden. Bei Meinungsverschiedenheiten über die Zuführung oder Verwendung ist nach § 0 zu verfahren. ... § 0 Urlaubsdauer 0. Der Urlaub beträgt für Beschäftigte/Auszubildende 0 Arbeitstage/Ausbildungstage bei einer Verteilung der regelmäßigen Arbeitszeit auf fünf Tage/Woche. ... § 0 Urlaubsvergütung 0. Den Beschäftigten und Auszubildenden wird während des Urlaubs das regelmäßige Arbeitsentgelt/die regelmäßige Ausbildungsvergütung weitergezahlt . Sie erhalten darüber hinaus eine zusätzliche Urlaubsvergütung, die bei 0 Urlaubstagen gemäß § 0 Nr. 0 je Urlaubstag 0 % des monatlichen regelmäßigen Arbeitsentgelts/der regelmäßigen Ausbildungsvergütung ausmacht. In den Fällen des § 0 Nr. 0 ist der Prozentsatz wertgleich anzupassen. Berechnungsgrundlage der zusätzlichen Urlaubsvergütung sind die festen Entgeltbestandteile des laufenden Monats zuzüglich des Monatsdurchschnitts der gemäß § 0 Nr. 0 zu berücksichtigenden variablen Entgeltbestandteile der letzten sechs abgerechneten Monate. 0. Die Urlaubsvergütung ist auf Wunsch des/der Beschäftigten/Auszubildenden vor Antritt des Urlaubs zu zahlen, sofern der Urlaub mindestens zwei Wochen umfasst. Statt der Urlaubsvergütung kann ein entsprechender Abschlag geleistet werden. Fällt ein Zahlungstermin für Entgelt oder Ausbildungsvergütung in die Urlaubszeit, so ist das Entgelt oder die Ausbildungsvergütung auf Wunsch des/der Beschäftigten/Auszubildenden vor Beginn des Urlaubs auszuzahlen. Stattdessen kann ein entsprechender Abschlag geleistet werden. 0. Durch freiwillige Betriebsvereinbarung kann festgelegt werden, dass die zusätzliche Urlaubsvergütung für das gesamte Urlaubsjahr spätestens mit der Abrechnung für den Monat Juni, bei Eintritt im Laufe des Urlaubsjahres mit der Abrechnung im Monat Dezember ausgezahlt wird. Steht dem/der Beschäftigten/Auszubildenden bei Ausscheiden aus dem Arbeitsverhältnis/Ausbildungsverhältnis ein anteiliger Urlaubsanspruch zu, kann die zu viel gezahlte zusätzliche Urlaubsvergütung zurückgefordert werden. § 0 Monatsentgelt I Monatsentgelt 0. Die Beschäftigten erhalten ein Monatsentgelt als regelmäßiges Arbeitsentgelt. 0. Das Monatsentgelt setzt sich zusammen aus den festen Entgeltbestandteilen, den variablen Entgeltbestandteilen. 0. Feste Entgeltbestandteile des Monatsentgelts sind das tarifliche Monatsgrundentgelt entsprechend der individuellen regelmäßigen wöchentlichen Arbeitszeit nach den Bestimmungen des Entgeltabkommens, weitere monatlich stetige Entgeltbestandteile . 0. Variable Entgeltbestandteile des Monatsentgelts sind leistungsabhängige variable Entgeltbestandteile, zeitabhängige variable Entgeltbestandteile, sonstige variable Entgeltbestandteile. Die variablen Entgeltbestandteile werden aus dem Vormonat ermittelt. Sie werden aus dem laufenden Monat ermittelt, wenn gemäß Nr. 0 ein späterer Auszahlungstermin als der letzte Banktag des Kalendermonats vereinbart worden ist. 0. Zu den leistungsabhängigen variablen Entgeltbestandteilen gehören die über das Monatsgrundentgelt hinausgehenden leistungsbezogenen Entgeltbestandteile , die nicht verstetigt sind. 0. Zu den zeitabhängigen variablen Entgeltbestandteilen gehören die Vergütungen für Mehrarbeit, die Zuschläge für Mehr-, Spät-, Nacht-, Sonntags und Feiertagsarbeit, die Vergütungen für Reisezeit nach § 0 II sowie sonstige zeitbezogene Zulagen und Zuschläge. 0. Zu den sonstigen variablen Entgeltbestandteilen des Monatsentgelts gehören alle sonstigen Vergütungen, die nicht regelmäßig oder nicht in gleicher Höhe wiederkehren. 0. Einmalzahlungen , vermögenswirksame Leistungen sowie Aufwendungsersatz gehören nicht zum Monatsentgelt. Diese Ansprüche werden unabhängig von den Regelungen des Monatsentgelts erfüllt. ... 0. Der Abrechnungszeitraum für das Monatsentgelt ist der Kalendermonat. 0. Den Beschäftigten muss das Monatsentgelt spätestens zum Schluss des Kalendermonats zur Verfügung stehen. Hiervon abweichende Auszahlungstermine, insbesondere zur Ermöglichung einer gemeinsamen Abrechnung der variablen mit den festen Entgeltbestandteilen des Monats, können betrieblich vereinbart werden. 0. Die Abrechnung des Monatsentgelts erfolgt in Textform. Aus ihr müssen die festen und variablen Bestandteile des Monatsentgelts ersichtlich sein. ... § 0 Berechnung des weiterzuzahlenden regelmäßigen Arbeitsentgelts/... 0. In allen Fällen, in denen dieser Tarifvertrag Anspruch auf Weiterzahlung des regelmäßigen Arbeitsentgelts regelt, werden für die Berechnung die festen Entgeltbestandteile des Monatsentgelts zu Grunde gelegt, die der/die Beschäftigte erhalten haben würde, wenn er/sie gearbeitet hätte. Zusätzlich erhält er/sie die leistungsabhängigen variablen Entgeltbestandteile sowie Zuschläge für Spät-, Nacht-, Sonntags und Feiertagsarbeit, Erschwerniszuschläge, individuelle Prämien, Provisionen und Zulagen aus dem Durchschnitt der letzten sechs abgerechneten Monate, jedoch ohne das Mehrarbeitsentgelt gemäß § 0 Nr. 0. ...“ § 0 EMTV regelt für die Geltendmachung und den Ausschluss von Ansprüchen ua. Folgendes: „... 0. Beschäftigte/Auszubildende haben das Recht, Ansprüche aus dem Arbeitsverhältnis/Ausbildungsverhältnis innerhalb folgender Fristen geltend zu machen: a) Ansprüche auf Zuschläge für Mehr-, Spät-, Nacht-, Sonntags und Feiertagsarbeit innerhalb von zwei Monaten nach Erhalt der Abrechnung, b) alle übrigen Ansprüche innerhalb von drei Monaten nach ihrer Fälligkeit. ... 0. Ansprüche, die nicht innerhalb dieser Fristen geltend gemacht werden, sind ausgeschlossen, es sei denn, dass Anspruchsberechtigte trotz Anwendung aller nach Lage der Umstände zuzumutenden Sorgfalt verhindert waren, diese Fristen einzuhalten. ...“ Nach der bei der Beklagten bestehenden betrieblichen Regelung erfolgen die monatlichen Entgeltzahlungen spätestens bis zum sechsten Werktag des jeweiligen Folgemonats. Die zusätzliche Urlaubsvergütung ist nach § 0 des bei der Beklagten geltenden Sanierungstarifvertrags vom [DATE] ab dem Kalenderjahr [DATE] jeweils mit der Vergütung für Juni zu zahlen. Die Klägerin war seit dem [DATE] bis zur Beendigung des Arbeitsverhältnisses mit Ablauf des [DATE] arbeitsunfähig krank. Sie bezog seit dem [DATE] wegen voller Erwerbsminderung eine zunächst befristete Rente, die mit Bescheid vom [DATE] bis zum Erreichen der Regelaltersgrenze weitergewährt wurde. Die Beklagte erteilte der Klägerin unter dem [DATE] eine Entgeltabrechnung für [DATE] . In dieser wurde der Urlaubsanspruch der Klägerin mit null Tagen angegeben, während eine am [DATE] für [DATE] erteilte Abrechnung einen Urlaubanspruch der Klägerin von 0 Tagen ausgewiesen hatte. Die Klägerin verlangte mit einem an die Beklagte gerichteten Schreiben vom [DATE] die Auszahlung einer Urlaubsvergütung für 0 Urlaubstage aus den Jahren [DATE] und [DATE] , die sie einschließlich eines Urlaubsgelds von 0 % mit 0 Euro brutto berechnete. Mit weiterem Schreiben vom [DATE] machte sie für Urlaubsansprüche aus den Jahren [DATE] , [DATE] und [DATE] im Umfang von insgesamt 0 Arbeitstagen eine weitere Urlaubsvergütung von 0 Euro brutto geltend. Mit ihrer Klageschrift vom [DATE] beanspruchte sie die Abgeltung ihres tariflichen Urlaubsanspruchs im Umfang von jeweils 0 Tagen für die Jahre [DATE] , [DATE] und anteilig für das Jahr [DATE] sowie Urlaubsgeld iHv. insgesamt 0 Euro brutto. Die Klageschrift übermittelte die Klägerin der Beklagten am [DATE] zum Zwecke der Geltendmachung ihrer Ansprüche per Telefax. Das Original der Klageschrift ging am [DATE] beim Arbeitsgericht ein. Die Klägerin hat beantragt, die Beklagte zu verurteilen, an sie 0 Euro brutto, hilfsweise 0 Euro brutto, äußerst hilfsweise 0 Euro brutto, nebst Zinsen in Höhe von fünf Prozentpunkten über dem jeweiligen Basiszinssatz seit dem [DATE] zu zahlen. Die Beklagte hat zu ihrem Klageabweisungsantrag die Auffassung vertreten, Urlaubsansprüche der Klägerin seien während des Bezugs der Erwerbsminderungsrente nicht entstanden. Im Übrigen seien die von der Klägerin geltend gemachten Ansprüche infolge der tariflichen Ausschlussfrist verfallen. Das Arbeitsgericht hat der Klage in Höhe von 0 Euro brutto nebst Zinsen in Höhe von fünf Prozentpunkten über dem Basiszinssatz seit dem [DATE] stattgegeben und die Klage im Übrigen abgewiesen. Auf die Berufung der Beklagten und die Anschlussberufung der Klägerin hat das Landesarbeitsgericht unter jeweiliger Zurückweisung des weiter gehenden Rechtsmittels das Urteil des Arbeitsgerichts teilweise abgeändert und die Beklagte verurteilt, an die Klägerin 0 Euro brutto nebst Zinsen in Höhe von fünf Prozentpunkten über dem Basiszinssatz seit dem [DATE] zu zahlen. Im Übrigen hat es die Klage abgewiesen. Mit ihrer Revision verfolgt die Beklagte ihr Ziel der vollständigen Klageabweisung weiter. Entscheidungsgründe Die zulässige Revision der Beklagten ist begründet. Das Landesarbeitsgericht hat die Beklagte zu Unrecht verurteilt, Urlaubsansprüche der Klägerin aus den Jahren [DATE] und [DATE] abzugelten und an die Klägerin Urlaubsgeld zu zahlen. Die von der Klägerin geltend gemachten Ansprüche sind jedenfalls nach § 0 Nr. 0 EMTV ausgeschlossen. Die Regelungen in § 0 EMTV gelten für die tarifgebundenen Parteien gemäß § 0 Abs. 0 Satz 0 TVG unmittelbar und zwingend. Nach § 0 Nr. 0 Buchst. b EMTV sind alle nicht in § 0 Nr. 0 Buchst. a EMTV genannten Ansprüche innerhalb von drei Monaten nach ihrer Fälligkeit geltend zu machen, damit sie nicht gemäß § 0 Nr. 0 EMTV ausgeschlossen sind. Das Schreiben der Klägerin vom [DATE] wahrte die Ausschlussfrist ebenso wenig wie die Übersendung der Klageschrift an die Beklagte per Telefax zum Zwecke der Geltendmachung der Abgeltungsansprüche am [DATE] . Der Anspruch auf Abgeltung des nach lang andauernder Arbeitsunfähigkeit bestehenden gesetzlichen Mindesturlaubs kann aufgrund tariflicher Ausschlussfristen verfallen . Er ist nicht in dem Sinne Surrogat des Urlaubsanspruchs, dass für ihn dieselben Regeln wie für den Urlaubsanspruch gelten, sondern ist ein reiner Geldanspruch. Er unterfällt deshalb den Bedingungen, die nach dem anwendbaren Tarifvertrag für die Geltendmachung von Geldansprüchen vorgeschrieben sind. Solche Ausschlussfristen können dabei kürzer als ein Jahr sein. Der vom Gerichtshof der Europäischen Union aufgestellte Rechtssatz, dass die Dauer des Übertragungszeitraums, innerhalb dessen der Urlaubsanspruch bei durchgängiger Arbeitsunfähigkeit nicht verfallen kann, die Dauer des Bezugszeitraums deutlich übersteigen muss, ist auf die Mindestlänge einer tariflichen Ausschlussfrist für die Geltendmachung des Anspruchs auf Urlaubsabgeltung nicht übertragbar . Die Klägerin hat Ansprüche auf Urlaubsabgeltung nicht rechtzeitig geltend gemacht. Da der Urlaubsabgeltungsanspruch keinen Anspruch auf „Zuschläge“ iSd. § 0 Nr. 0 Buchst. a EMTV darstellt, ist er innerhalb von drei Monaten nach seiner Fälligkeit geltend zu machen . Ansonsten ist der Anspruch nach § 0 Nr. 0 EMTV ausgeschlossen, es sei denn, dass der Anspruchsberechtigte trotz Anwendung aller nach Lage der Umstände zuzumutenden Sorgfalt verhindert war, diese Frist einzuhalten. Der Urlaubsabgeltungsanspruch war mit der Beendigung des Arbeitsverhältnisses am [DATE] fällig. Der Abgeltungsanspruch gemäß § 0 Abs. 0 BUrlG entsteht mit Beendigung des Arbeitsverhältnisses . Das Arbeitsverhältnis endete nach der von der Klägerin nicht mit Revisionsrügen angegriffenen Feststellung des Landesarbeitsgerichts zum [DATE] . Ist eine Zeit für die Leistung weder bestimmt noch aus den Umständen zu entnehmen, so kann der Gläubiger die Leistung gemäß [REF] sofort verlangen, der Schuldner sie sofort bewirken. Fehlen Sonderregeln, gilt der Grundsatz sofortiger Fälligkeit der Leistung . Das gilt auch für den Urlaubsabgeltungsanspruch, der grundsätzlich mit der Beendigung des Arbeitsverhältnisses fällig wird . Der EMTV enthält für die Fälligkeit des Urlaubsabgeltungsanspruchs keine vom Grundsatz der sofortigen Fälligkeit abweichende Sonderregelung. Zwar ist es grundsätzlich zulässig zu vereinbaren, dass die Urlaubsabgeltung in die allgemeine Abrechnung einbezogen und zum Beispiel erst zum Monatsende mit der letzten Entgeltzahlung fällig wird . Die Zulässigkeit einer solchen Vereinbarung ergibt sich schon aus dem Umstand, dass der Urlaubsabgeltungsanspruch bei andauernder Arbeitsunfähigkeit eine auf eine finanzielle Vergütung im Sinne von [REF] gerichtete reine Geldforderung darstellt . Auch kann es im Interesse des Arbeitgebers liegen, bei einer Beendigung im laufenden Monat die Urlaubsabgeltung nicht getrennt von anderen Ansprüchen abrechnen und auszahlen zu müssen. Die Tarifvertragsparteien des EMTV haben jedoch keine eigenständige Regelung zur Fälligkeit der Urlaubsabgeltung getroffen. Nach § 0 Abschn. I Nr. 0 EMTV in Verbindung mit der bei der Beklagten bestehenden Regelung muss den Beschäftigten das Monatsentgelt spätestens zum sechsten Werktag des jeweiligen Folgemonats zur Verfügung stehen. Das Landesarbeitsgericht hat verkannt, dass der Tarifvertrag den Begriff des Monatsentgelts in § 0 EMTV selbstständig definiert. Nach § 0 Abschn. I Nr. 0 EMTV setzt sich das Monatsentgelt aus den festen und den variablen Entgeltbestandteilen zusammen. Diese sind wiederum in § 0 Abschn. I Nr. 0 ff. EMTV definiert. Die Urlaubsabgeltung fällt weder unter die festen noch unter die variablen Entgeltbestandteile. Vielmehr ist sie eine Einmalzahlung iSd. § 0 Abschn. I Nr. 0 EMTV. Der Begriff der Einmalzahlung wird in dieser Tarifbestimmung durch eine beispielhafte, aber nicht abschließende Aufzählung konkretisiert. Beim Urlaubsabgeltungsanspruch handelt es sich um eine einmalige Zahlung, durch die nicht gewährter Urlaub bei Beendigung des Arbeitsverhältnisses abgegolten wird. Einmalzahlungen sind nach § 0 Abschn. I Nr. 0 Satz 0 EMTV unabhängig von den Regelungen zum Monatsentgelt zu erfüllen. Die Fälligkeitsregelung des § 0 Abschn. I Nr. 0 EMTV einschließlich der dort vorgesehenen Möglichkeit der abweichenden betrieblichen Regelung gilt damit für die Urlaubsabgeltung nicht. Die Klägerin hat nicht geltend gemacht, dass sie trotz Anwendung aller nach Lage der Umstände zuzumutenden Sorgfalt iSd. § 0 Nr. 0 EMTV verhindert war, die Ausschlussfrist einzuhalten . Es ist auch sonst nicht erkennbar, warum die Klägerin nicht in der Lage gewesen sein sollte, die tarifliche Ausschlussfrist von drei Monaten zu wahren. Die Klägerin ist auch mit etwaigen Ansprüchen auf zusätzliche Urlaubsvergütung nach § 0 Nr. 0 Abs. 0 und Abs. 0 EMTV ausgeschlossen. Das Urlaubsgeld war wie der Urlaubsabgeltungsanspruch innerhalb der Frist des § 0 Nr. 0 Buchst. b EMTV geltend zu machen. Es war spätestens mit der Beendigung des Arbeitsverhältnisses fällig. Das Landesarbeitsgericht ist zu Recht davon ausgegangen, dass das Urlaubsgeld akzessorisch zur Urlaubsvergütung und Urlaubsabgeltung ausgestaltet ist. Etwaige Ansprüche auf Zahlung von Urlaubsgeld sind damit mit dem Anspruch auf Urlaubsabgeltung verfallen.