Tenor Auf die Revision des Klägers wird das Urteil des 0. Zivilsenats des Oberlandesgerichts Rostock vom [DATE] aufgehoben. Die Sache wird zur neuen Verhandlung und Entscheidung, auch über die Kosten des Revisionsrechtszugs, an das Oberlandesgericht zurückverwiesen. Von Rechts wegen Tatbestand Der Kläger nimmt das beklagte Land im Wege der Feststellungs und Leistungsklage auf Entschädigung für materielle und immaterielle Nachteile wegen überlanger Dauer eines Zivilrechtsstreits in Anspruch. Das Ausgangsverfahren betrifft einen Zivilprozess, der im [DATE] vor dem Landgericht S. eingeleitet wurde und Schadensersatzansprüche des Klägers wegen unberechtigter außerordentlicher Kündigung eines Vertrags zur Jungviehaufzucht zum Gegenstand hat. Hinsichtlich eines Betrags von 0 € erklärten die Parteien den Rechtsstreit in der Hauptsache für erledigt. Nach Einholung eines gerichtlichen Sachverständigengutachtens und mehrerer ergänzender Stellungnahmen erging am [DATE] ein Teilurteil. Soweit das Landgericht darin auf Zahlung eines Betrags von rund 0 € an den Kläger erkannte, wurde das Urteil rechtskräftig. Im Übrigen wurde es durch Berufungsurteil des Oberlandesgerichts R. vom [DATE] aufgehoben. Im weiteren Verfahrensgang holte das Landgericht ein Obergutachten ein und verkündete schließlich am [DATE] ein Schlussurteil, in dem es dem Kläger weitere 0 € zusprach. Das Verfahren ist noch nicht abgeschlossen. Es befindet sich derzeit im Berufungsrechtszug. Mit Anwaltsschriftsatz vom [DATE] , der am [DATE] beim Landgericht einging, erhob der Kläger eine Verzögerungsrüge unter Hinweis auf [REF] . Bereits zuvor hatte er am [DATE] und [DATE] förmliche Untätigkeitsbeschwerden erhoben, die das Oberlandesgericht als unzulässig verwarf. Einen mit Schriftsatz vom [DATE] gegenüber der Justizverwaltung geltend gemachten Anspruch auf immateriellen Schadensersatz in Höhe von 0 € lehnte der Präsident des Landgerichts mit Bescheid vom [DATE] ab. Die dagegen an das Justizministerium des beklagten Landes gerichtete Beschwerde blieb erfolglos. Mit Anwaltsschriftsatz vom [DATE] , der am [DATE] beim Oberlandesgericht R. einging, reichte der Kläger die vorliegende Entschädigungsklage ein, die dem Beklagten nach verzögerter Einzahlung des Gerichtskostenvorschusses durch den Kläger erst am [DATE] zugestellt wurde. Der Kläger hat geltend gemacht, die streitgegenständliche Verfahrensdauer von inzwischen mehr als elf Jahren sei schon dem ersten Anschein nach nicht mehr angemessen. Der derzeit noch nicht bezifferbare materielle Schaden resultiere daraus, dass ihm während der Prozessdauer ein Betrag von nahezu 0 € vorenthalten worden sei. Wegen der erlittenen Existenzängste und des offenkundigen Desinteresses der Justiz an der Bearbeitung seiner Ansprüche sei eine Entschädigung für immaterielle Nachteile in Höhe von mindestens 0 € gerechtfertigt. Da er die Verfahrensdauer kontinuierlich beanstandet habe, komme es auf die am [DATE] erhobene Verzögerungsrüge nicht mehr an. Das Oberlandesgericht hat die Klage als unzulässig abgewiesen. Mit seiner vom Senat zugelassenen Revision verfolgt der Kläger seine erstinstanzlichen Anträge weiter. Entscheidungsgründe Die zulässige Revision ist begründet. Sie führt zur Aufhebung des angefochtenen Urteils und zur Zurückverweisung der Sache an das Oberlandesgericht. I. Die Entschädigungsklage sei unzulässig. Nach Art. 0 Satz 0 Halbsatz 0 des Gesetzes über den Rechtsschutz bei überlangen Gerichtsverfahren und strafrechtlichen Ermittlungsverfahren vom [DATE] sei die Entschädigungsregelung der [REF] auf das seit [DATE] anhängige Ausgangsverfahren anwendbar. Die sechsmonatige Wartefrist des [REF] habe der Kläger zwar nicht einhalten müssen, weil das verzögerte erstinstanzliche Verfahren bei Erhebung der Entschädigungsklage am [DATE] bereits abgeschlossen gewesen sei und die Verzögerungsrüge deshalb die ihr vom Gesetzgeber beigemessene Funktion nicht mehr habe entfalten können. Der Kläger habe jedoch die Vorgabe des [REF] , wonach die Verzögerungsrüge unverzüglich nach dem Inkrafttreten des Gesetzes zu erheben sei, nicht erfüllt. Die am [DATE] eingegangene Verzögerungsrüge sei mehr als drei Wochen und sechs Tage nach diesem Zeitpunkt erhoben worden. Sie sei daher verspätet, da "unverzüglich" im Sinne des [REF] "ohne schuldhaftes Zögern" bedeute. Die in der Regel als Obergrenze anzunehmende Frist von zwei Wochen gelte auch im Streitfall. Die neue Entschädigungsregelung sei frühzeitig Gegenstand von Fachpublikationen gewesen. Der eindeutige Gesetzeswortlaut habe dem Prozessbevollmächtigten des Klägers bekannt sein müssen. Der Kläger sei daher zur Wahrung seiner Rechte gehalten gewesen, eine Verzögerungsrüge gemäß § 0 Abs. 0 Satz 0 GV binnen zwei Wochen nach dem Inkrafttreten des Gesetzes zu erheben. Er könne sich auch nicht darauf berufen, die Unangemessenheit der Verfahrensdauer bereits vor dem Inkrafttreten der neuen Entschädigungsregelung mehrfach gerügt zu haben. Frühere Beanstandungen der Verfahrensdauer stünden einer Verzögerungsrüge gemäß [REF] nicht gleich. II. Entgegen der Auffassung des Oberlandesgerichts betrifft die Frage der Erhebung beziehungsweise Rechtzeitigkeit einer Verzögerungsrüge nicht die Zulässigkeit, sondern die Begründetheit der Entschädigungsklage. Die am [DATE] beim Landgericht eingegangene Verzögerungsrüge ist "unverzüglich" nach Inkrafttreten des Gesetzes über den Rechtsschutz bei überlangen Gerichtsverfahren und strafrechtlichen Ermittlungsverfahren erhoben worden. Sie hat damit gemäß [REF] Entschädigungsansprüche auch für den der Rüge vorausgehenden Zeitraum gewahrt. Im Ausgangspunkt zutreffend hat das Oberlandesgericht angenommen, dass die Entschädigungsregelung bei überlanger Verfahrensdauer nach der Übergangsvorschrift des [REF] auf den Streitfall Anwendung findet. Danach gilt dieses Gesetz auch für Verfahren, die bei seinem Inkrafttreten am [DATE] bereits anhängig waren. Diese Voraussetzung ist hier erfüllt. Das im [DATE] eingeleitete Ausgangsverfahren war zum maßgeblichen Stichtag weder rechtskräftig abgeschlossen noch anderweitig erledigt. Anders als das Oberlandesgericht meint, hat das Fehlen einer Verzögerungsrüge oder die nicht unverzügliche Erhebung einer solchen Rüge nicht die Unzulässigkeit der Entschädigungsklage zur Folge. Vielmehr ist die Verzögerungsrüge als materielle Voraussetzung des Entschädigungsanspruchs konzipiert und nicht als Zulässigkeitskriterium für dessen prozessuale Geltendmachung . [REF] normiert als zwingende Entschädigungsvoraussetzung, dass der Betroffene in dem Verfahren, für dessen Dauer er entschädigt werden möchte, eine Verzögerungsrüge erhoben hat. Dabei handelt es sich um eine haftungsbegründende Obliegenheit . Wird die Verzögerungsrüge nicht unverzüglich gemäß [REF] erhoben, hat dies zur Folge, dass Entschädigungsansprüche wegen überlanger Verfahrensdauer bis zum Rügezeitpunkt materiell-rechtlich präkludiert sind . Die Zulässigkeit der Klage bleibt davon unberührt . Entgegen der Auffassung der Revision haben die förmlichen Untätigkeitsbeschwerden des Klägers vom [DATE] und [DATE] sowie sein Schadensersatzverlangen vom [DATE] die Erhebung einer Verzögerungsrüge nicht entbehrlich gemacht. Nach dem eindeutigen Wortlaut des [REF] muss in anhängigen, bereits verzögerten Verfahren die Verzögerungsrüge "unverzüglich nach Inkrafttreten" des Gesetzes erhoben werden. Allein dadurch wird der Entschädigungsanspruch rückwirkend in vollem Umfang gewahrt . Bereits vor dem Inkrafttreten des Gesetzes erhobene Verzögerungsrügen erfüllen diese Voraussetzung nicht. Da sie keine präventive Warnfunktion im Sinne der [REF] entfalten konnten, sind sie nicht geeignet, einen Entschädigungsanspruch zu begründen . Dementsprechend bestimmt [REF] , dass es einer Verzögerungsrüge dann nicht bedarf, wenn bei einem anhängigen Verfahren die Verzögerung in einer bei Inkrafttreten des Gesetzes schon abgeschlossenen Instanz erfolgt ist . Dem Oberlandesgericht kann nicht darin gefolgt werden, dass die Einhaltung der Wartefrist gemäß [REF] im Streitfall entbehrlich war. Allerdings hat das Gericht zugleich verkannt, dass die Entschädigungsklage nicht schon am [DATE] , sondern erst am [DATE] mithin nicht vorzeitig erhoben worden ist. Nach [REF] kann der Entschädigungsanspruch frühestens sechs Monate nach wirksamer Erhebung der Verzögerungsrüge gerichtlich geltend gemacht werden. Der Sinn dieser Wartefrist besteht darin, dem Gericht des Ausgangsverfahrens die Möglichkeit einzuräumen, auf eine Beschleunigung des Verfahrens hinzuwirken und dadurch Schaden zu vermeiden . Zugleich sollen die Entschädigungsgerichte vor verfrühten Entschädigungsklagen geschützt werden . Die Einhaltung der Frist ist eine besondere Sachurteilsvoraussetzung, die in jeder Lage des Verfahrens von Amts wegen zu prüfen ist. Eine vor Fristablauf erhobene Klage wird nach Ablauf der Frist nicht zulässig. Es liegt kein heilbarer Mangel vor. Nach dem Gesetzeswortlaut kommt es für die Einhaltung der Wartefrist allein auf den Zeitpunkt der Klageerhebung an. Zudem könnte andernfalls die vorgenannte Schutzfunktion der Frist für die Entschädigungsgerichte unterlaufen werden . Nach der Rechtsprechung des Senats kann eine Entschädigungsklage ausnahmsweise vorzeitig erhoben werden, wenn das betroffene Verfahren schon vor Fristablauf beendet wurde. Ein Abwarten der Frist würde insofern im Hinblick auf den Zweck des [REF] keinen Sinn mehr machen. In diesen Fällen ist die Fristenregelung des [REF] teleologisch dahin einzuschränken, dass dann, wenn das als verspätet gerügte Verfahren schon vor Ablauf der Sechs-Monats-Frist abgeschlossen wurde, bereits vom Moment des Verfahrensabschlusses an eine Entschädigungsklage zulässig ist . So liegt der Fall hier aber nicht. Das Ausgangsverfahren ist noch nicht beendet, da das am [DATE] verkündete Schlussurteil des Landgerichts mit der Berufung angefochten wurde. Vor dem Hintergrund des Zwecks des [REF] das Ausgangsgericht soll genügend Zeit haben, das Verfahren zu fördern und in angemessener Zeit abzuschließen oder jedenfalls eine weitere Verzögerung zu vermeiden besteht keine Veranlassung, auf das Fristerfordernis bereits dann zu verzichten, wenn lediglich die Instanz, auf deren Dauer das Entschädigungsverlangen gestützt wird und in der die Verzögerungsrüge erhoben wurde, vor Ablauf von sechs Monaten nach Rügeerhebung abgeschlossen wurde . Das zunächst verzögerte Verfahren kann in einer höheren Instanz besonders zügig geführt werden, so dass die Wahrung der Sechs-Monats-Frist auch nach Abschluss einer Instanz sinnvoll ist. Sie gibt nämlich dem Rechtsmittelgericht Gelegenheit, eine in der Vorinstanz eingetretene Verzögerung zu kompensieren. Demgemäß muss das Entschädigungsgericht bei der abschließenden Würdigung nach [REF] das gesamte Verfahren in den Blick nehmen und prüfen, ob Verzögerungen innerhalb einer späteren Phase des Prozesses ausgeglichen wurden . Es ist zudem nicht erkennbar, dass ein Zuwarten von wenigen Wochen oder Monaten bis zum Ablauf der Frist eine nennenswerte Einschränkung des Rechtsschutzes für den Entschädigungskläger darstellen würde . Der Kläger hat die sechsmonatige Wartefrist eingehalten. Die Fristberechnung bestimmt sich nach [REF] i.V.m [REF] und § 0 Abs. 0, [REF] . Für den Beginn der Frist war der Eingang der Verzögerungsrüge am [DATE] als Ereignis im Sinne des [REF] maßgebend. Die Frist endete gemäß [REF] mit Ablauf des [DATE] . Der Umstand, dass die Entschädigungsklage bereits am [DATE] beim Oberlandesgericht eingereicht wurde, ist unschädlich. Vielmehr ist entscheidend, dass die Klage, nachdem der Kläger den Gerichtskostenvorschuss gemäß [REF] i.V.m. KV Nr. 0 erst am [DATE] eingezahlt hatte, an das beklagte Land am [DATE] zugestellt worden ist. Maßgeblicher Zeitpunkt für die Einhaltung der Wartefrist ist nach dem klaren Wortlaut des [REF] nicht die Einreichung, sondern die Erhebung der Entschädigungsklage . Letztere erfolgt nach [REF] durch Zustellung der Klageschrift an den Beklagten, sobald die Gebühr für das Verfahren im Allgemeinen gemäß [REF] eingezahlt ist. Eine Rückwirkung der Zustellung der Klageschrift nach [REF] kommt im vorliegenden Zusammenhang nicht in Betracht. Die Vorschrift soll den Zustellungsveranlasser vor den Nachteilen aus Zustellungsverzögerungen innerhalb des gerichtlichen Geschäftsbetriebs bewahren , ihm aber nicht umgekehrt einen Nachteil zufügen. Aus diesem Grund besteht vorliegend auch keine Veranlassung zu prüfen, ob der Kläger alles Erforderliche unternommen hat, um eine zügige Zustellung zu gewährleisten. Die Annahme des Oberlandesgerichts, die am [DATE] eingegangene Verzögerungsrüge sei nicht "unverzüglich" im Sinne von [REF] erhoben worden, wird von der Revision zu Recht beanstandet. Diese Frage hat der Senat nach Verkündung des angefochtenen Urteils mit Urteil vom [DATE] grundlegend dahin entschieden, dass eine Verzögerungsrüge noch "unverzüglich" erhoben ist, wenn sie spätestens drei Monate nach Inkrafttreten des Gesetzes über den Rechtsschutz bei überlangen Gerichtsverfahren und strafrechtlichen Ermittlungsverfahren beim Ausgangsgericht einging. Da die neue Entschädigungsregelung am [DATE] in Kraft getreten ist, lag die Verzögerungsrüge noch innerhalb der dem Kläger eingeräumten Zeitspanne. Wird die Entschädigungsregelung wie hier nach [REF] auf Altfälle angewandt, die am [DATE] bereits anhängig, aber noch nicht abgeschlossen waren, wird das Recht der Verzögerungsrüge durch [REF] an die Besonderheiten dieser Verfahrenskonstellation angepasst . Bei Verfahren, die beim Inkrafttreten der Regelung schon verzögert sind, muss die Verzögerungsrüge "unverzüglich" erhoben werden. Da das Oberlandesgericht zu dem bestrittenen Vorbringen des Klägers, das Ausgangsverfahren hätte bei angemessener Verfahrensförderung innerhalb eines Jahres vollständig abgeschlossen werden können, keine Feststellungen getroffen hat, ist bei der revisionsgerichtlichen Nachprüfung zugunsten des Klägers davon auszugehen, dass das Verfahren zum Zeitpunkt des Inkrafttretens der [REF] bereits erheblich verzögert war. "Unverzüglich" bedeutet nach der Gesetzesbegründung "ohne schuldhaftes Zögern" . Damit wird die Legaldefinition in [REF] in Bezug genommen, die nach allgemeiner Auffassung auch über die Fälle des [REF] hinaus gilt . Soweit [REF] die unverzügliche Erhebung der Verzögerungsrüge nach Inkrafttreten der Entschädigungsregelung verlangt, ist kein sofortiges Handeln geboten. Vielmehr muss dem Betroffenen eine angemessene Prüfungs und Überlegungsfrist eingeräumt werden, um entscheiden zu können, ob er seine Rechte durch eine Verzögerungsrüge wahren muss. Die von der Rechtsprechung zu [REF] herausgebildete Obergrenze von zwei Wochen beziehungsweise die zweiwöchige gesetzliche Ausschlussfrist des [REF] stellen insoweit einen zu engen Maßstab dar . Bei der Bemessung der gemäß [REF] angemessenen Überlegungsfrist ist vor allem der Zweck des Gesetzes in den Blick zu nehmen, durch Einräumung eines Entschädigungsanspruchs gegen den Staat bei überlanger Verfahrensdauer eine Rechtsschutzlücke zu schließen und eine Regelung zu schaffen, die sowohl den Anforderungen des Grundgesetzes als auch denen der Konvention zum Schutz der Menschenrechte und Grundfreiheiten gerecht wird . Es kommt hinzu, dass das Gesetz nur einen Tag vor seinem Inkrafttreten verkündet worden ist . Diese Gesichtspunkte sprechen dafür, den Begriff der "Unverzüglichkeit" in [REF] weit zu verstehen. Der Senat hat deshalb eine Drei-Monats-Frist für erforderlich gehalten, um den Erfordernissen eines effektiven Menschenrechtsschutzes zu entsprechen und den Betroffenen in allen Fällen ausreichend Zeit für die Prüfung zu geben, ob eine entschädigungspflichtige Verzögerung bereits eingetreten und eine Rügeerhebung deshalb geboten ist . III. Das angefochtene Urteil ist demnach aufzuheben und die Sache zur neuen Verhandlung und Entscheidung an das Oberlandesgericht zurückzuverweisen, weil sie nicht zur Endentscheidung reif ist . Das Oberlandesgericht wird nunmehr erstmals zu prüfen haben, ob die Voraussetzungen für einen Entschädigungsanspruch nach § 0 Abs. 0, 0 GVG vorliegen. Schlick Herrmann Wöstmann Seiters Reiter