Grundsätzliche Bedeutung im Sinne des [REF] kommt einer Rechtssache zu, wenn sie eine für die erstrebte Revisionsentscheidung erhebliche Frage des revisiblen Rechts aufwirft, die im Interesse der Einheit und Fortbildung des Rechts revisionsgerichtlicher Klärung bedarf. Das Darlegungserfordernis des [REF] setzt insoweit die Formulierung einer bestimmten, höchstrichterlich noch ungeklärten und für die Revisionsentscheidung erheblichen Rechtsfrage des revisiblen Rechts und außerdem die Angabe voraus, worin die allgemeine, über den Einzelfall hinausgehende Bedeutung besteht. Die Beschwerde muss erläutern, dass und inwiefern die Revisionsentscheidung zur Klärung einer bisher revisionsgerichtlich nicht beantworteten fallübergreifenden Rechtsfrage des revisiblen Rechts führen kann . Die Begründungspflicht verlangt, dass sich die Beschwerde mit den Erwägungen des angefochtenen Urteils, auf die sich die aufgeworfene Frage von angeblich grundsätzlicher Bedeutung bezieht, substantiiert auseinandersetzt und aufzeigt, aus welchen Gründen der Rechtsauffassung, die der aufgeworfenen Frage zugrunde liegt, zu folgen ist . Soweit sich die Vorinstanz mit der Frage beschäftigt hat, gehört zu der erforderlichen Durchdringung des Prozessstoffes die Erörterung sämtlicher Gesichtspunkte, die im Einzelfall für die erstrebte Zulassung der Revision rechtlich Bedeutung haben könnten . Diese Darlegungsanforderungen erfüllt die Beschwerdebegründung nicht. Das gilt zunächst, soweit die Beschwerde die grundsätzliche Bedeutung der Rechtssache daraus herleiten möchte, dass "[e]ine grundsätzliche Klarstellung der Bedeutung und Wirkung der §§ 0 ff. GVG" dringend erforderlich sei . Insoweit formuliert die Beschwerde keine Rechtsfrage im vorgenannten Sinne. Eine solche muss sich grundsätzlich auf eine bestimmte Norm beziehen und deren Voraussetzungen und Rechtsfolgen betreffen . Eine diesbezügliche entscheidungserhebliche und klärungsbedürftige Rechtsfrage wird in der Beschwerdebegründung auch insofern nicht herausgearbeitet, als die Beschwerde behauptet, die Zahlen des Bundesamtes für Statistik wiesen aus, dass das Nichtergehen einer Entscheidung in rechtsstaatlich gebotener Frist ein "grundsätzliches Problem" sei . Gleiches gilt für die in diesem Zusammenhang aufgestellten weiteren Behauptungen der Beschwerde, die §§ 0 ff. GVG hätten, so wie sie von deutschen Gerichten interpretiert würden, nicht zu einer Wahrung rechtsstaatlicher Verfahren durch eine angemessenere Verfahrensdauer beigetragen , die Nichtbeachtung des Anspruchs auf Rechtsschutz in angemessener Zeit nach Art. 0 Abs. 0, Art. 0 Abs. 0 GG und [REF] durch den Staat könne nicht durch die bloße lapidare Feststellung, dass die Menschenrechte nicht beachtet worden seien, bereinigt oder durch eine Geldzahlung kompensiert werden, vielmehr müssten die §§ 0 ff. GVG im Sinne ihres Ziels, Rechtsstaatsverletzungen zu verhindern, ausgelegt werden . Ebenso wenig wirft die Beschwerde eine konkrete fallbezogene Rechtsfrage von grundsätzlicher Bedeutung auf, soweit sie beanstandet, das angefochtene Urteil verkenne insbesondere die Anforderung an eine Verzögerungsrüge nach [REF] . Sofern ihren diesbezüglichen Ausführungen sinngemäß die Rechtsfrage entnommen werden könnte, ob der Anspruch auf Entschädigung wegen überlanger Dauer des Verfahrens einer bestimmten Instanz voraussetze, dass der Verfahrensbeteiligte bei der betreffenden Instanz die Dauer des Verfahrens gerügt habe, legt die Beschwerde die Grundsatzbedeutung der Frage jedenfalls deshalb nicht hinreichend dar, weil sie sich nicht ansatzweise mit den insoweit einschlägigen Gründen der Entscheidung des Oberverwaltungsgerichts auseinandersetzt. Dieses hat sich für die von ihm vertretene Rechtsauffassung, die Verzögerungsrüge müsse in jeder Instanz erhoben werden, deren Verfahrensdauer als unangemessen angesehen werde, auf die soweit ersichtlich einhellige Ansicht in der Rechtsprechung und Literatur gestützt. In den diesbezüglich von der Vorinstanz in Bezug genommenen obergerichtlichen Urteilen und Kommentaren werden für das entsprechende Erfordernis neben dem Wortlaut des [REF] und dem systematischen Zusammenhang mit [REF] insbesondere der präventive Zweck der Verzögerungsrüge sowie die aussagekräftigen Gesetzesmaterialien angeführt . Die Beschwerdebegründung geht weder auf die vom Oberverwaltungsgericht zitierte Rechtsprechung und Literatur ein noch setzt sie sich mit den von ihnen angeführten gewichtigen Argumenten auseinander. An der Formulierung einer hinreichend konkreten Rechtsfrage fehlt es wiederum, soweit die Beschwerde die grundsätzliche Bedeutung der Rechtssache daraus ableiten möchte, dass bei der Bemessung der Angemessenheit der Verfahrensdauer das Vorverfahren mit einzubeziehen sei . Auch in diesem Kontext beschränkt sich die Beschwerde darauf, das angefochtene Urteil nach Art einer Revisionsbegründung anzugreifen und darzulegen, dass und weshalb das Oberverwaltungsgericht das Vorverfahren ihrer Ansicht nach zu Unrecht nicht als Bestandteil des Gerichtsverfahrens im Sinne von § 0 Abs. 0 Satz 0 und [REF] angesehen habe. Auch unabhängig von diesem Mangel genügt die Beschwerdebegründung nicht den Darlegungserfordernissen. Das Bundesverwaltungsgericht hat bereits entschieden, dass das Verwaltungsverfahren und das dem gerichtlichen Verfahren vorausgegangene Vorverfahren bei einer Behörde nicht Bestandteil des Gerichtsverfahrens im Sinne von § 0 Abs. 0 Satz 0 und [REF] sind . Auf diese Rechtsprechung hat das Oberverwaltungsgericht ausdrücklich Bezug genommen. Die Beschwerde setzt sich was erforderlich gewesen wäre mit dieser Rechtsprechung nicht hinreichend auseinander und zeigt auch keinen erneuten oder darüber hinausgehenden Klärungsbedarf auf. Aus den gleichen Gründen rechtfertigt auch das Vorbringen der Beschwerde, der Umstand, dass der Gesetzgeber mehrere Instanzen geschaffen und diese verschiedenen staatlichen Rechtsträgern zugeordnet habe, könne nicht die Rechtsschutzgarantie zu Lasten des Beschwerdeführers vermindern , nicht die Zulassung der Revision wegen grundsätzlicher Bedeutung. Die sich auf die Frage des richtigen Beklagten einer Entschädigungsklage beziehenden Ausführungen der Beschwerde lassen zum einen die Formulierung einer konkreten Rechtsfrage vermissen. Zum anderen ist in der Rechtsprechung des Bundesverwaltungsgerichts geklärt, dass bei einem bis zum Bundesverwaltungsgericht geführten Verwaltungsrechtsstreit verschiedene Rechtsträger nämlich zum einen das jeweilige Land und zum anderen der Bund für die in ihrem Bereich zu verantwortenden Verfahrensverzögerungen in Anspruch genommen werden können . Ein erneuter oder weiterer Klärungsbedarf wird von der Beschwerde nicht aufgezeigt.