質問: 停電復帰後のクリーンルームのクリーン度管理注意事項 停電が発生するとクリーンルームもクリーン度を維持できなくなります。停電の長さにもよると思いますが、停電復帰後のクリーン度管理の注意事項をご教授ください。 また、計画停電時のクリーン度維持のための注意事項も合わせてアドバイスをお願いします。 *注:これは事務局が考えた架空の質問です。
回答: 熊田技術士事務所の 熊田成人です。 とりあえず気づいた点を記載します。 1. 停電が発生すると、特別な防御策を構築していない限り空調が停止すると考えられます。空調機が停止する事により室内と外部との気圧差がなくなり、外部からの空気の吹込みとそれに伴う異物の侵入が懸念されます。また、停電発生時、及び空調回復時の衝撃などでフィルター周りからの異物の発生も考えられます。停電の長さと汚染の程度にもよりますが、復帰時には室内塵埃レベルの確認と念入りな清掃が必要です。 停電が長時間に亙ると、季節など外部の環境によっては室内の湿度が上昇し、製品の吸湿や、設備の腐食、錆の発生などが懸念されます。これらは何れも発塵源となり得るため、チェックと対応も必要になります。 特に外部から有害な化学物質などの侵入が疑われる時には、異物のみならず化学物質も含めた環境の調査と対応が必要になります。 2. 停電が発生すると、各種設備のコンピュータが停止すると共に、冷却ゃ排気などの機能も停止します。その為設備の過熱による破損や劣化、配管の閉塞等が起こることもあります。またこのことにより予期せぬ箇所に異物が発生・蓄積している恐れもありますので、該当する場合はこれらのチェックと対応が必要です。 3. 計画停電に対しては、事前に製品や設備に防御処置を施すと共に、クリーンルームには目張りなど外気侵入の防止対策を施します。必要な場合には、部屋全体を窒素ガスなどで充填する事もあります。 計画的に停電する場合、外気の湿度が高い時期は避けた方が良いと考えます。また、外部電源を使って、空調機を稼働させるのも有効です。 以上