質問: シリコンウエハーって、表面だけとかではなく、すべてシリコンですか? 硬いのでしょうか。0.1mmの厚さとかにも加工して、指で持ち上げられますか。 MEMSについて調べていますが、なんとなく柔らかそうで、 「質感」のようなものがイメージできません。
回答: 直径300mmのウェハは0.775mm厚で、曲がり は少なく硬く感じます。金属板のように変形して 曲がったままにはならず割れてしまう。 完成一歩手前で0.1mmにするバックグラインド を経るとフンニァリ感が出ます。 工程 8 バックグラインド 工程 9 ダイシング で細切れにすると硬い感に 戻る。