質問: 単結晶シリコンの結晶方位 単結晶シリコンウエハは片面鏡面や両面鏡面のものがあります。また、その一部には、結晶方位をそろえるための(オリエンテーション)フラットやノッチというものがつけられています。 そこまではわかるのですが、それはどの方向についているのでしょうか?ケースを見ても軸が<100>などと書かれていますが軸って何でしょうか? できれば、教えていただきたいです。 参考になるサイトなどがあればurlでも結構です。 よろしくお願いします。
回答: こんにちは 通称「オリフラ(orientation flat)」なんて言います 基板メーカーのよってどの向きにオリフラを切ってあるか またはその基板の面方位によっても大きく違うと思います 自分の使用している基板メーカーのhpなどが参考になるかと 大体オリフラは基板表面の面方位(→(100)面とか)に対して 直交する二つの方位を選ぶものです(オリフラが二つあるある場合) 基板面方位が<100>なら<0-11>と<0-1-1>とか じゃあなぜわざわざ方位の目印を付ける意味があるかというと その上に何かを堆積した時に異方性が出たりする場合があるからです ある方位にのみ長く伸びた構造ができるなどなど・・・ 結晶軸に関しては教科書に任せます(そっちの方が詳しいので)