質問: 「酸化膜の抵抗値」について教えてください 半導体初心者ですが、io2膜の抵抗値を算出する必要にせまられまして どなたか算出方法をご存知でしたら教えて下さい。 以下の情報があります。 膜厚=320nm、真空の誘電率ε_0=8.85e-18[f/um]、k=3.9(この意味がわかりません) 以上宜しくおねがいします。
回答: sio2ですよね。本当に抵抗値ですか?sio2は一応、絶縁体ということになっているので、普通の意味での抵抗値はものすこく大きいですよ。 与えられている情報をみると、抵抗値ではなくて、容量値(あるいは、acでのインピーダンス)を求めろといわれているような気がします。 一応、kは数字を見る限り、κ(カッパ)のことで、比誘電率のことです。電磁気とか化学の授業なんかでは、比誘電率はεrと書くと習うんですが、なぜか半導体の世界では、比誘電率をκあるいは kで表わします。high-k とか low-k とか言います。