質問: ガラス基板で実験用のスリット状の電極を作ろうとしています。 求められている条件は次の通りです。 1.電極間スキマは、5~25μm±5%(目標は5μm)。 2.電極の断面は、機械で加工したような直角でエッジが付いた断面が欲しい。 3.ガラス基板には多少のキズが付いても構わない。 このような加工は出来るのでしょうか? よろしくお願いします。 後からダイサーで溝を入れたり、 予めスリットの部分にパターン(電極)が付かないようにマスキングをしたり、 ・・・と、何通りか方法があるようです。 この質問は、一旦締め切らせていただきます。
回答: ガラスに溝を入れるような加工と考えていいのでしょうか。