質問: 厚膜によるクラック ガラス基板に膜を成膜し熱処理をすると、 厚膜の場合クラックが生じ、薄膜だとクラックが生じないのですが、 この理由は何ででしょうか。
回答: 膜と基盤の熱膨張率の違いによる応力