質問: スパッタイオンポンプの動作原理のうち
回答: >>どういう物理的な化学的な原理として吸着するのでしょうか。 どういうもこういうも、自分で書いている通り気体分子等を化学吸着することを原理として吸着する。 例えば、活性のあるチタン膜に酸素分子が熱運動をしてぶつかったときにチタンと酸素分子が反応して酸化チタンができる。窒素なら窒化チタンというようにチタンの表面と気体が化学反応をして何かしらのチタン化合物をつくる。化合物に取り込まれた気体分子はそう簡単に化合物中から気体として脱出できないのだから結果論として気体が真空中から取り除かれたことになるというのがゲッターポンプの原理。 >>チタンと気体分子の間に何らかの引力があると思うのですが、その引力などの根本的な原理を知りたいです。 例えば酸化チタンにおいてチタンと酸素の間に何力があるかという話でしょうか?金属酸化物などはイオン結合性の結合なのだからその力はクーロン力になる。他の結合様式による物質ができているというならその様式を作る力が答えになる。