質問: 薄膜形成の対象は半導体ウエハか半導体基板か 「蒸着などの方法で薄膜を形成する」という文章を書く場合において、その薄膜を形成する対象は「半導体ウエハ」と「半導体基板」との両方があるのでしょうか? それとも、「半導体ウエハ」と「半導体基板」とのいずれか一方ですか? そもそも「半導体ウエハ」と「半導体基板」との違いは何でしょうか?
回答: ウェファーはインゴットを輪切りにしてできた円盤そのものを指す場合に使われる用語で、基板はその上にデバイスを形成するものとして使われる。見方が違うだけで、同じものです。