質問: 【教えて下さい】「 reaction oxygen species」の意味 「 reaction oxygen species」の意味について教えてください。
回答: a method of cleaning the cvd reaction chamber by active oxygen species is provided. cvd反応チャンバを活性酸素種によってクリーニングする方法が与えられる。 http://ejje.weblio.jp/sentence/content/reaction+oxygen+species