質問: ガラスの研削加工後の曇り取り ガラスを研削加工した後加工面が曇りますが、その曇りを取って透明にする手段、方法は何かありますでしょうか?普通の平面であれば#3000程のダイヤモンド砥石で研磨すれば問題無いのですが、段がある面や穴の内面となると手段方法が分かりません。御教授の程宜しくお願い致します。
回答: 回答(1)と(6)の者です。 希(釈)フッ酸(hf)を使用しますと、ガラスのエッチング量は極端に減少します。 そうしますと、ガラスを薄くする目的には使用できません。 また、等方向エッチングの意味は、常に同じ形状が移動するのではなく、最終的には 平面に限りなく近くなりますし、滑らかな形状になります。 (マイクロラフネンスが多少向上する/向上させるための処理で、濃度と処理時間を調整) 一度、凸凹を白紙に描いてみて、その輪郭に沿ってパー(併行)ラインを描いてみると 理解できます。 希フッ酸を使用しますと、ガラスの厚み方向には略無限にエッチングが可能ですが、 ガラスの厚み方向と垂直方向は有限で最終的にはなくなりますが実感できます。 但し、hf処理が最終処理であるや、hfを必ず使用する意味ではなく、ケミカル処理 の一例を示します。 小生も“ダミーウェハをhfでクリーニングする半導体関係者”ですが、......。 ????。 凸の部分や先の尖った部分は、両サイドと上部から等方向エッチングされるので、 曇りが出る大きさの凸凹には有利なエッチングです。 平面に限りなく近くなりますし、滑らかな形状になりますが、平面になるとは記述していません。 まして、鏡面になるとも記述していません。 あたかも、hf処理のみで、平面や鏡面になるような指摘は大変に迷惑です。 小生も、半導体のwetプロセスエンジニアをしていました。 ある条件では有効な手段で、ガラスの曇りが出ているような先の尖った大きな凸凹 には有利な処理です。 それのみで、平面や鏡面の確保は無論不可能なことは、よく承知しています。 回答(1)の 微小の凸凹にて光が透過し難いから曇ってみえます。 それを熱等で滑らかにするや、薬品で滑らかにするです。 記述から、内容がずれてるのも迷惑です。