質問: テフロンチューブで高純度ガスを流せますか 外径9.53mmの透明テフロンチューブで、99.999%のch4,ar,n2,h2,co2,hclガスを流しても、大丈夫でしょうか? 圧力は、0.03-0.7mpa、長さは12mです。 ガスが止まってる時、テフロンの気体透過性を、考える必要はありますか? 透明テフロンは、fepと pfaがありますが、どっちがいいでしょうか?
回答: 経験的にテフロンチューブで0.7mpaかけるのは危険です。 テフロン自体は持っても継ぎ手部がもたずにチューブが抜けることが多いです。 ar,n2なら抜けたとしてもたいしたことにはなりませんが、ch4,n2,co2,hclはしゃれになりません。 これがクリアできたとして 大丈夫という意味が多少純度が低下しても流せれば良いという意味であればhcl以外は大丈夫でしょう。 テフロンチューブは大気にさらされている状態で、相当量の水分、大気成分を吸着しています。 このため相当の時間使用するガスでパージをしないと純度低下を起こします。 特に水分は何時までたっても抜けません。 hclガスはお勧めしません。 パッキンなどでは使用可能との記載もありますが、万一液化した場合その部分が膨潤し、裂けることがあります。 また、テフロン配管内面の吸着成分とどのような反応を起こすかもわかりません。 susで配管すべきと考えます。