質問: 軽元素ガスの真空排気について h2やheなどの軽元素ガスを真空排気する場合、一般にターボ分子ポンプ等では圧縮比が小さくなり排気速度が低下します。しかしロータリーポンプにおいても空気を排気するよりも時間がかかるようなのです。何故でしょうか?
回答: 感覚でしかないけど、ターボ分子ポンプは羽根で気体分子を弾きながらの排気だから、軽い元素は跳ね返りやすいんじゃないかな? ターボ分子ポンプの回転数を変えてもダメなの? 取り付け位置によるけど、空気より軽いから、排気しても逆行しやすいとかさ。もうちょっと考えてみて。