質問: 今度はつまらない質問なんですが、 ・Siウエハーを用いてRHEEDパターンをとる時に研磨面ではなく光沢のない面を用いるように言われました。なぜなんでしょうか?研磨面の方がきれいなパターンがきれいに見えると思ったのですが。 ・基板上に堆積した薄膜の色はバンド構造を知れば、どういう色になるのかわかると聞きました。どういう方法でわかるのか教えてください。 ・とても単純な疑問なんですが、真空装置を用いるときに試料を取付けたりする作業中はアルミホイルの上で行いますが、キムワイプとかの上でやったほうがきれいな気がするのですが。。。なぜなんでしょうか??? ・イオン銃の電流密度の測定法がよくわかりません。参考になるHPでも構いませんので。。。 わかるものだけでも構いませんので、暇な時にご回答よろしくお願いいたします。
回答: イオンビームの電流密度の測定について これは、ファラデーカップという器具を用いて、知ることが出来ます。 時間があれば、検索で探してみてください。 キムワイプについて どっちでもいいと思います! でも、普通のちり紙は絶対ダメです。ほこりがたくさんつきますからね。 真空ポンプに悪い影響を与える恐れがおおいにあります。 バンド構造について 色はよく分かりませんが、バンド構造は、FT-IR(フーリエ変換型赤外分光計)などの分析装置で、知ることが出来ますよ。 以上です。