質問: sem観察時のカーボン蒸着について 試料(ガラス状)の表面をsemで観察しています。 操作マニュアルには、観察前にカーボン蒸着を施すよう書かれているのですが、その理由・原理を詳しく知りたいです。 どなたかご存知の方がいたら、宜しくお願いします。
回答: no.1の方の回答と同じことですが、sem(走査型電子顕微鏡)も、em(電子顕微鏡)も真空管と同じ原理です。 陰極からの電子線は、電子銃、ポールピース、電子レンズ、偏向板を経て試料面に照射されますが、試料面が非導電性ですと、陽極(この場合は試料面)から陰極に向かって電流が流れます。 試料面がガラス状ですと電流の流れる経路ができないために、電流の経路を作ろうとして、電子ビームがさまよって正しく像を観測できなくなります。そのために、試料面を導電性の薄膜でスパッター(真空蒸着)を行います。 良い結果を出すためにも試料つくりが一番大事だと思います。 もう古の記憶です、間違っているかも知れません。 usotsukiでした。