質問: ポンプ、運転状態、真空計の適切な組み合わせはどれでしょうか? a. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」ドライポンプ ターボ分子ポンプ(排気速度:2m2/s)がN2ガス流量20Pa・m3を排気 B-A真空計 b. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」油回転真空ポンプ ターボ分子ポンプの到達圧力 ピラニー真空計 c. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」メカニカルブースターポンプ ターボ分子ポンプの到達圧力 B-A真空計 d. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」ドライポンプ ターボ分子ポンプの到達圧力 B-A真空計 e. 「主」ドライポンプ ドライポンプの到達圧力 B-A真空計
回答: 先ず、「a」の回答例がおかしいことを指摘しておきます。 ターボ分子ポンプ(排気速度:2m2/s) →(正)2m^3/s N2ガス流量20Pa・m3 →(正)20Pa・m^3/s 第一ステップ まず、ポンプの組み合わせの適否をチェックします。 「c」は不適。 「主」ターボ分子ポンプ「補助」メカニカルブースターポンプには、油回転真空ポンプ、ドライポンプ、などの粗引きポンプと組み合わせが必要で、「主」ターボ分子ポンプ「補助」メカニカルブースターポンプだけで使用したら、両ポンプともオーバーヒートするでしょう。 {c}以外は適切 第二ステップ 次に到達圧力Pと各真空計の測定可能圧力Pgとが合致しているかどうかのチェックを行います。 「a」P=10(Pa)、Pg=10^-8~10^-2(Pa) → 不適切 「b」P=10^-8、Pg=0.5~2,000 → 不適切 「d」P=10^-8、Pg=10^-8~10^-2(Pa) → 適切 「e」P=10^2、Pg=10^-8~10^-2(Pa) → 不適切 従って、「d」が正解 ポンプの使用可能圧力範囲やポンプの組み合わせについては、メーカーホームページになりますが、が参考になるかと思います。