質問: 半導体装置について BOSCHプロセスで使うエッチャーの保守について教えて下さい。定期的にプロセスチャンバーのOリングを交換するのですが、Oリング材質が分かりません。 深掘りRIEに使用するプラズマ、ガス種はある程度決まってくると思うのですが、推奨のOリング材質は何になりますか?単純に高額なカルレッツOリングなら大丈夫という訳ではないのでしょうか?耐腐食性、耐熱性、耐プラズマ性を兼ね備えたOリングなら大丈夫なのでしょうか?
回答: 装置にメーカー名書いてあるでしょ。保全に関するものはメーカーに問い合わせるべきです。