質問: 99.999%のフッ化水素って、超高純度って言えるんでしょうか?
回答: 引用 SKグループは17日、半導体材料の生産企業である『SKマテリアルズ』が最近超高純度(純度99.999%)フッ化水素(HF)ガスの量産を開始したと発表した。 半導体を作るときに使えるほどなら超高純度(純度99.999%)でいいと思います。