質問: お世話になっております。 現在検討中の案件で、レーザー変位計(キーエンス)を使用してウエハの厚みを測定しようと思っています。厚みの測定自体は問題なく出来ることをメーカーにも確認し、また、レーザー光の人体への影響もクラス1ということで人体には影響しないことも調査しました。しかし、ウエハ表面に直接レーザー光をあてても良いものかどうか?という点があり、その点についてはメーカーも把握していない(資料が無い)様です。実際やってみて、事後結果で「大丈夫だった」から使用できるという判断も大事であるとは思いますが、導入前にクラス1であれば電気的にOOだから安全という根拠を知りたく存じます。お分かりになる方、ご教示お願い致します。
回答: 装置は、ウエハーメーカー向けですか?、デバイスメーカーですか? の質問はあまり意味が無いですね。 さて、デバイスメーカーでもウエハ全体を使用してチップは作りません。 ウエハのエッジ近くを“直接レーザー光”で当てても問題はないと考えます。 既に、ウエハエッジ近くのマーキングをレーザー等で読み取るセンサーも市販 されている?情報を聞いた事があります。 最近は、隠居生活モードなので、最新情報には疎くて...。 確か、ウエハエッジから2~3mmは大丈夫です?? 厚みは、0.775mm??で、ラウンドエッジなら、1.5mm程度は平面があるので。 以上の情報を、貴殿のknow-Whoの方々に確認して、進めて下さい。