質問: ターゲット材における1種、2種とはどういう意味ですか?
回答: 希土類元素から選ばれる1種類以上の元素を1〜100質量ppm含有し、残部はMo及び不可避的不純物でなるMoスパッタリングターゲット材であり、前述の希土類元素はLa、Ceの何れか1種または2種を選択するのが好ましい。更に希土類元素の効果を確実に得るには、N、O等のガス成分は極力少ない方が好ましく、Nは50ppm以下、Oは500ppm以下であり且つNとOの総量が500ppm以下の範囲が望ましい。 出典 「ターゲット材」で検索した中で、上記の文を読むと、分類分けの「種」ではなく、個数の「種類」のようです。つまり2種類ある内の1種類か、2種類と言った意味です。