質問: シリコンの物性値 シリコンの物性値(熱伝導率,ヤング率,ポアソン比,線膨脹係数など)を知りたいのですが,どのようにして調べればよいでしょうか?また,物性値などが詳しく載っている本などがあれば教えていただきたいです. よろしくお願いします.
回答: シリコンの物性値 熱伝導率:168[wm-1k-1] ヤング率:1.88e+5[n/mm2] ポアソン比:0.177[-] 線膨脹係数:2.3e-6[1/°C] 理科年表より 半導体周辺材料ハンドブックより 物性値の取得は、メーカーから出されているカタログ等 も参考にして下さい。