質問: 真空系のシミュレーションツールはありませんか お世話になります。 超高真空系のシステムにかかわっています。システムの起動から超高真空に引くまでのシーケンスや、異常時(停電等)のシステムの挙動をシミュレーションしたいのですが、適当なツールはありませんでしょうか。 電子回路シミュレータのようなもので、チャンバ中の空気分子数やチャンバの容積、配管の抵抗、ポンプの排気速度等をパラメータに、平衡状態をシミュレートしながら、バルブの開閉操作やポンプのon/offを行っていけば、状態を再現できそうな気がするのですが。 そういうツールがあれば、物を作る前に制御シーケンスの確認や、致命的な(物を壊すような)ミスを事前にチェックすることができると思うのですが。 適当なものがあればご教示ください。 あるいは、「こうすれば自作できるよ」というアドバイスでも結構です よろしくお願いします。
回答: 真空系を電子回路のようにモデリングすれば、電子回路のシミュレータが そのまま使えると思いますが如何でしょうか。 たぶん、以下のようなアナロジーが使えると思います。 圧力 → 電圧 配管の抵抗→ 電気抵抗 空間の容積→ 静電容量(キャパシタンス) バルブ → スイッチ素子 ポンプ → 電流源と並列コンダクタンス spice系の回路シミュレータならば、フリーソフトが容易に入手できると思います。