質問: 貫通Viaへの埋め込みめっきにて実績のあるサイズを教えてください。
回答: 実績としては、ビア径として約Φ30~50μm、ウエハ厚みとして約200~300μmとなります。Via形状により出来栄えが異なりますので、実サンプルでの条件検討をさせていただきます。