質問: 半導体のウェットエッチングでdhfとbhfを同じ槽で処理は可能? 半導体のウェットエッチングで、dhfとbhf(boe)を同じ槽で処理することは可能ですか?材質はptfeです。液の交換では、純水で洗浄するぐらいですが・・・。
回答: これは実験/試作レベルということですよね? どちらかの処理後にちゃんと純水洗浄すれば問題ないと思いますよ。