質問: 電離真空計、指示値の求め方 真空装置にarを導入、隔膜真空計の値は0.2paでした。 電離真空計の指示値を求め、下記より選びなさい。 電離真空計は窒素に対して校正されている。 対するアルゴンの比感度は1.34である。 (1) 0.149 (2) 0.268 (3) 6.7 (4)0.2 (pa)
回答: アルゴンの比感度は1.34なのでイオン電流すなわちメーターの振れは同真空度の窒素の1.34倍になります。従って、0.2pa×1.34=0.268paになります。 その詳細は以下の通りです。 電離真空計は、電界により加速された電子が気体分子に衝突し、気体分子は外殻電子がはじき飛ばされて+イオンになります。(=電離) その+イオンをマイナス電位のコレクターに集め、そのイオン電流を測定して真空度を測定するものです。 イオン電流の値iiは、真空度(圧力)pと電子電流ieの積に比例し ii=spie で表されますが、sは感度と呼ばれ気体の種類により異なります。 この出題ではsar/sn2=1.34ということです。