質問: 半導体のリソグラフィ工程のbarcとは? barcとは何をするもののことですか?直訳すると裏面反射防止コーティングという意味らしいんですが、さっぱりわかりません。教えて下さーい。
回答: まず、barcはレジストを塗布する前に、塗布します。 それで、露光、現像するとレジストパターンの下にbarcが あるという状態ですね。材質としては、レジストと似たような 有機膜が一般的です。 というわけで、次はエッチング工程ですよね。なので、エッチング の最初にbarcをエッチングするステップを追加することになります。 ステップと言ったのは、その下のエッチング工程で、同じ装置で連続 してエッチングするのが普通だからです。 以上