質問: 太陽電池、薄膜作製技術 薄膜を作製する際の技術で、多元蒸着法というのがありますが原理など教えてください 長所・短所などがありましたら教えてください
回答: 真空蒸着法といって、真空チャンパ内で金などの原料を加熱して蒸発させ、基板に付着させて薄膜を作る技術があります。 "多元"蒸着法とは、その名の通り複数の原料を蒸発させるものです。 基板を加熱すれば、薄膜を結晶化させることも可能です。 原料の蒸気圧が同程度であれば、膜厚や組成などの制御性が良い、装置の機構が簡単でよいというメリットがあります。 デメリットとしては、大面積化が困難、seのように反応性に乏しい材料は原料効率が悪い、といったところですね。