質問: コンバージョンファクター 液晶装置会社の請負社員をやってます。 水素用のマスフローコントローラから窒素を流して 仮テスト(ガス流量確認)をするのですが、仕様にはコンバージョンファクターを確認とあります。ガスの換算率の事らしいのは分かったのですが、資料もなく換算方法が分かりません。窒素流量→水素に換算する 方法を知っている方、教えて頂きたいです。
回答: マスフローコントローラはガスの物性値(比熱、密度)でセンサーの感度が異なります。窒素ガスの測定値を水素に補正するときの係数がコンバージョンファクター(あるいは補正係数、cf)になりますが、水素と窒素では物性値が大きく異なりcfは大きすぎ、通常は同一のセンサーでは測定できないようです。取り付けられているマスフローコントローラがそれらをカバーしているかも知れませんので、メーカがどこか現物を調べ、直接問い合わせるべきでしょう。 http://www.compoclub.com/support/faq/faq_mf.html#15 参考url:http://www.mr-techno.co.jp/heliumgass-meter.htm