質問: 有機el ツーリングファクターについて よろしくお願いします。 今、ゼミで有機elについて勉強しています。 ツーリングファクターについてネット上で調べていたのですが手掛かりがありませんでした。よろしければどなたか教えていただけないでしょうか。
回答: 「ツーリングファクター = tooling factor」ですか? 蒸着機等の膜厚計の補正係数のことでしょうか? yes→膜厚計は主な物質のデータを持っていて、蒸着物質を選べば、その密度や音響インピーダンス比から、周波数変化と膜厚の関係を計算して膜厚を表示します。しかし、いろいろな理由[1]で、膜厚計の表示と実測値が異なるので、それを補正するためのパラメータが tooling factor です。tooling factor = 1 (100%) なら計算値をそのまま使うという意味です。 参考url(英語)の2ページ目に意味が出ていますが、これだとよく分からないでしょうから、分かりやすい意味で書くと tooling factor = d'/d d':tooling factor = 100%と設定し、表示膜厚 d [nm] 蒸着したときの実際の膜厚 [nm] d:表示膜厚 となりますが、メーカによっては分母と分子を逆にしているかもしれません(要確認)。tooling factor は蒸着物質で違うのはもちろん(材料ごとにtooling factor を設定できる)、膜厚に依存することもあるので、膜厚を変えて何種類か成膜し、そのときの tooling factor を計算して、膜厚に対する tooling factor の関係式を作り、実際に成膜するときは、成膜したい膜厚での tooling factor を使うようにすれば誤差が少なくなるでしょう。また、その toolig factor で正しい膜厚になっているか確認し、違っていればまた補正することを繰り返せばもっと精度が上がります。 ちなみに私は、tooling factorの算出をやったことのある元・半導体プロセスエンジニアです。 [1] 一番の理由は、膜厚モニタ(水晶発振子)の位置と基板位置が違うことによる膜厚分布の違いによるものです。物質によって tooling factor が異なるのは、実際の膜質が膜厚計の物性データ(単結晶)と異なるからでしょう。有機elでは蒸着温度が低いので問題ないでしょうが、高融点金属を蒸着するときは、輻射熱で膜厚モニタの温度が上昇し、表示値がずれてくることもあります(膜厚モニタは水冷されていますが、実際の水晶発振子はほとんど断熱状態です)。 参考url:http://www.ecse.rpi.edu/~schubert/course-teaching-modules/a40-parameters-used-in-e-beam-deposition-system.pdf