質問: epmaとsem epmaとsemの正式な違いを教えてください。 epmaはwds付けたsemという認識でいいんでしょうか? (つまりsemとepmaは基本的には同じということでいいんでしょうか?)
回答: epma, sem, wdsという言葉をご存知なのですから,略語の説明は 無くてもよろしいですね。 epmaはwdsを付けたsemという認識は間違ってはいないと思います。 両者は,これまで装置の構造,電子銃などで区別されてきたものでは ありましたが,最近では単純には割り切れなくなっています。 epmaは特性x線の波長分散を分光結晶を利用して得ているために チャンバーが巨大であり,これが通常のsemと区別される最大の 特徴となります。一方,より空間分解能の高いsemにはfe電子銃が 搭載されており,これらのことが両者を区別するよりどころと なっていました。つまり,epmaが有するsem機能は,簡易型の sem程度というのが一般的でした。 epmaでw電子銃を使うことが多いのは,特性x線の広がりがμmオーダ となりますので,空間分解能を高くしても意味が無いという理由に よりました。この理由については現在でも変わったわけではないの ですが,最近ではfe-epmaというものも出現してきて,両者の垣根が 低くなったようです。ナノスケールの薄膜など,観察対象の幅が 広がって来たり,fibによるサンプリングが容易になってきたことも 関係しているでしょう(試料が薄ければ特性x線の広がりはあまり 大きくはなりませんので,空間分解能を追求する意味が出て来ます)。 wds機能に空間分解能を求めたというよりも,wdsとして軽元素までの 分析する能力を備えるとともに,空間分解能の高いsem観察も可能で あるという一挙両得的に捉えることもできると思います。 蛇足ですが,fibにsem機能が付加されたり,stmにsem機能が付いたり する例が結構あるようです。