質問: rf(高周波)電源の原理 発振周波数13.56mhzの自励発振方式の高周波電源を用いてプラズマを発生させ、プラズマ重合というものにより薄膜を形成する実験を行っているのですが、自励発振方式、進行波、反射波、マッチングboxなどわからないものが盛りだくさんです。高周波電源、rf電源で検索にかけてもヒットするものはなく、図書館でもキーワード「高周波電源」では本が出てこないです。高周波電源の原理に関する文献などありましたら紹介してください。よろしくお願いします。 (装置のマニュアルにも原理はありませんでした)
回答: 入力電圧・出力電圧・出力電流は、どのような数値を考えていらしゃいますか? たぶん ac-acコンバーターを使うのでしょうが、出力容量・特性がわからないと、正確な答えはできないでしょう。自励発振方式ということは、クリスタル発振器を使い、高周波増幅して出力するのが、一般的だと思います。