質問: ウェハ全体の厚み分布を測定することは可能ですか?
回答: siやgaas、sic、inp、a-si などの半導体を透過できる近赤外sldを採用した、キーエンスの分光干渉式ウェハ厚み計 si-f80rシリーズは、最小25μmのスポット径でウェハ表面のパターンの影響を受けず、bgテープ付きのウェハでも厚みを正確かつ高速に測定できます。このsi-f80rシリーズは、専用ステージを使用することで、ウェハ全体の厚み分布測定が可能です。また、測定データを用いた3d表示でウェハの厚み分布をカラーマップで表示したり、指定した箇所の断面のプロファイルを表示してうねりのp-p計測や波形比較など細かな解析をしたりといったことが可能です。これにより、試作ウェハ評価などにかかる時間を短縮することができます。