質問: プラズマの電力密度 例えば平行平板間にガスを封入し、高周波を印加してプラズマを 生成するとします。 電極面積を2倍にしたとしても、電力密度は変わらないのでしょうか? 私は変わらないと思っています。 ご回答お願いします。
回答: プラズマは良好な電磁波吸収体ですから、電力密度を求めるといってもどこの電力密度を指しているのか質問からは判然としません。装置全体の消費電力という意味であればプラズマの面積が2倍になればおよそ2倍になるというのは妥当だと思います。一方で液晶パネル製造に使うような大面積のプラズマチャンバでは単純な平板電極ではうまくいかないのでいろいろな工夫があります。このことは消費電力と電極面積は単純な比例関係でもないということを意味します。