質問: 真空内でPETフィルムを保持させたいのですが、真空チャック、静電チャック、粘着チャックの他になにかPETフィルムを保持する方法はあるのでしょうか?
回答: 問題は真空状態の中で着脱するのか? <肉眼でチャック状態を確認できるの? それとも常圧状態で着脱したのちに真空にするのか? PETフィルムに一切キズを付けずに保持するのであろうか? PETフィルムにテンションを掛けて引っ張るのであろうか? 少々キズが着いても構わないなら 電動チャック 蛇足ですが 恐らく真空中で真空チャックは使えないであろう 恐らく真空中で粘着チャックは使えないであろう <低真空なら使えるかも?