1983年になるとゴジラシリーズ再開のため、関西や関東、九州地区等で過去の映画作品を縦断上映する『ゴジラ復活フェスティバル』が催された。1984年、『メカゴジラの逆襲』以来9年ぶりに製作されたシリーズ第16作『ゴジラ』では、第1作を踏まえ、ゴジラ以外の怪獣は登場せず、再びゴジラは恐怖の対象として描かれた。この作品においてゴジラは1954年に一度だけ日本を襲った怪獣とされ、第1作の直接の続編という形をとっており、第2作以後の作品すべてをリセットした。また第1作当時と異なり、ゴジラの設定サイズの50メートルより高い高層ビルが多くなっており、それらに合わせゴジラのサイズを80メートルに設定した。後のシリーズ第18作『ゴジラvsキングギドラ』以降はサイズは100メートルとなった。5年後の1989年、第16作の直接の続編であるシリーズ第17作『ゴジラvsビオランテ』が公開されるが動員数は振るわず、再度数年の充電期間に入る。その後、「昭和ゴジラシリーズ」と同様、対決ものとしてシリーズ化され、1991年公開のシリーズ第18作『ゴジラvsキングギドラ』以降は正月映画として1995年公開の第22作『ゴジラvsデストロイア』まで毎年1本のペースで製作された。

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