Diskussion:Stepper (Halbleitertechnik)

message: Auf dem Bild Datei:MA-6 & MJB-3 steppers at LAAS 0455.jpg sind zwei Mask Aligners (für Kontaktbelichtung) und kein Stepper (für Projektionsbelichtung, siehe http://de.wikipedia.org/wiki/Fotolithografie_%28Halbleitertechnik%29) zu sehen!
Bei LAAS http://en.wikipedia.org/wiki/Laboratoire_d%27analyse_et_d%27architecture_des_syst%C3%A8mes
verwendet man offensichtlich die irreführende Bezeichnung Stepper für Mask Aligners.
http://commons.wikimedia.org/wiki/File:Lithographie_EUV.jpg wäre ein korrektes Bild.
Siehe auch:
http://www.suss.com/products/lithography/mask_aligner/de/mask_aligner
(Hersteller von Mask Alignern)
http://www.uni-stuttgart.de/izfm/lehre/Lith_Bel.pdf
http://www.smt.zeiss.com/C12567B0003BDCDD/Contents-Frame/67A3FE8AF0A749E041256A680035CD78
(Hersteller von Steppern)
-- 134.94.242.223 11:59, 30. Sep. 2009 (CEST)
thread_title:  falsches Bild, falsche Bildunterschrift 

message: Ich habe eben den Abschnitt "Step-and-Scan-Prinzip" hinsichtlich der Syntax und einigen Grammatikfehlern überarbeitet. Hier wird folgendes behauptet:
Zitat in der alten Version: "Anlagen dieses [Step-and-Scan-]Prinzips werden häufig auch nur als Scanner bezeichnet, vor allem da Belichtungsanlagen mit einer 1:1-Projektionsbelichtung nach dem Scanner-Prinzip seit spätestens Mitte der 1980er-Jahre nicht mehr angewendet wurde. Das Step-and-Scan-Prinzip ist seit Mitte der 1990er-Jahre das bevorzugte Belichtungsprinzip bei der Herstellung von modernen integrierten Schaltkreisen."
#Wieso werden diese Anlagen "VOR ALLEM" als Scanner bezeichnet, weil sie (mit 1:1-Projektionsbelichtung) seit Mitte der 1980er nicht mehr in Verwendung sind?! Ich habe den Satz aufgeteilt in 2 Sätze und das "vor allem" weggelassen. Trotzdem macht es deshalb nicht unbedingt mehr Sinn.
#Dann wird (entgegen dem Satz vorher) behauptet, dass das Verfahren seit Mitte 1990 das bevorzugte Verfahren ist. Bezieht sich das jetzt nur auf Verfahren, die nicht 1:1 abbilden?
#Das "Step-and-Repeat"-Prinzip ermöglicht (angeblich) Strukturbreiten bis hinunter zu 32 nm und wäre damit durchaus konkurrenzfähig.
Vielleicht kann da mal bitte jemand einen Kommentar abgeben, der sich ein bisschen mit der Materie auskennt.
Danke
Daniel (dsz)
-- 79.208.66.130 16:09, 7. Aug. 2011 (CEST)
replies: text: Danke für das Korrekturlesen. Ich bin da immer etwas flüchtig. Die Trennung zwischen Stepper und Scanner ist heute unklar, denn moderne Anlagen nutzen generell das Step-and-Scan-Prinzip, also eine Kombination aus beiden Methoden. Ich glaube der Zusatz bei "Step-and-Repeat"-Prinzip ist falsch zugeordnet, da das Prinzip meienr Meinung nach in heutigen Anlagen der Spitzeklasse nicht mehr angewendet wird. --Cepheiden 16:59, 7. Aug. 2011 (CEST)
thread_title:  Heutige Bedeutung "Step-and-Scan-Prinzip" falsch? 

message: Im Artikel dasselbe Schema doppelt eingebunden. Interessanterweise handelt es sich dabei tatsächlich um zwei verschiedene Dateien in der Wikipedia. Ich denke, eine der Abbildungen kann hier entfernt werden. 
:Ja, das ist auffallend. Beide sind ohne Quelle und korrekter Urheberinformationen. Auch der Text mit dem sie eingefügt wurden ist leider ohne Nachweis. --Cepheiden (Diskussion) 21:48, 19. Feb. 2021 (CET)
thread_title:  Abbildung von David W. Mann ist doppelt 

message: Der Abschnitt über David W. Mann und die historisch-handwerklichen Details haben ein hohes Häh-Moment. Sprachlich teilweise komplett daneben (was ist 1959 und 1965 jetzt genau passiert, kriege den Satz nicht geparst), teilweise einfach orthografisch falsch, und ziemlich voll von Fachlatein. Ich bin sicher, die Leute, die das ohnehin schon wissen, verstehen was gemeint ist. Für alle anderen sieht's mau aus. Ergo kann man's halt einfach weglassen.
Ich würde den Absatz einfach löschen, er ist sprachlich wirklich schwach, inhaltlich nicht belegt und für den Artikel nicht so relevant, dass sich Überarbeiten lohnt. Aber ich trau mich nicht. --2003:D2:1F28:C801:20B3:930C:17CB:8857 16:35, 24. Sep. 2022 (CEST)
replies: text: Hallo, ja ich bin von dem Absatz auch weiterhin verwirrt und er ist unbelegt. Falsch ist er aber wohl nicht, deswegen tue ich mich schwer damit einfach zu löschen. Ein Problem beim Lesen ist sicher, dass man verstehen muss, dass es sich bei "David W. Mann" nicht um die Person sondern um eine Firma handelt. --Cepheiden (Diskussion) 22:39, 27. Sep. 2022 (CEST)
thread_title:  Hintergrund und Geschichte