超純水 超純水Ultrapure water極為接近高純度的水即除了氫離子與氢氧根離子幾乎沒有任何其他電解質存在的水在製造處理過程後能盡可能將溶在水中或在水中散播的各種雜質除去包含像是 有機物細菌塵埃氧化物 等任何物質 根據半導體產業的發展隨著製程的開發使得晶圓線路更加細緻所使用的清洗用水也需要更加提昇為了介於以往的純水名稱故命名為超純水 电阻率约达到MΩcm幾乎不能導電依据电子行业超纯水标准还有很多其他的指标要求