晶圓 晶圆英語Wafer是半导体晶体圆形片的简称其为圆柱状半导体晶体的薄切片用于集成电路制程中作为载体基片以及制造太阳能电池由于其形状为圆形故称为晶圆最常见的是硅晶圆另有氮化镓晶圆碳化硅晶圆等一般晶圆產量多為单晶硅圆片 晶圆是最常用的半导体元件按其直径分为英寸英寸英寸英寸英寸等规格近来发展出英寸甚至研發更大规格英吋英吋英吋英吋以上等晶圆越大同一圆片上可生产的集成电路integrated circuit IC就越多可降低成本但对材料技术和生产技术的要求更高例如均勻度等等的問題使得近年來晶圓不再追求更大有些時候廠商會基於成本及良率等因素而停留在成熟的舊製程一般認為矽晶圆的直径越大代表著这座晶圆厂有更好的技術在生产晶圆的过程当中良品率是很重要的条件