掃描探針顯微鏡 掃描探針顯微鏡Scanning probe microscopySPM是所有機械式地用物理探針在樣本上掃描移動以探測樣本影像的顯微鏡的统称其影像解析度主要取決於探針的大小通常在纳米的範圍掃描隧道顯微鏡是第一個被發明的掃描探針顯微鏡年这是一种用于在原子水平表面成像的仪器第一次成功的扫描隧道显微镜实验由Binnig和Rohrer完成他们成功的关键是使用反馈回路来调节样品和探针之间的间隙距离 许多扫描探针显微镜可以同时用几种相互作用来成像使用这些相互作用来获得图像的方式通常被称为模式