四甲基氢氧化铵 四甲基氢氧化铵TMAH或TMAOH是一种分子式为 NCH OH 的季铵碱也是这类化合物中最简单的一种这种物质只在五水合物时是一种相对稳定的固体形态商业上TMAH通常以水溶液甲醇溶液或五水合物的形式销售其固体和溶液均为无色不纯时为黄色纯净的TMAH几乎没有气味但样品常有强烈的鱼腥味因其含有三甲胺的不纯物TMAH有大量广泛的工业和科研用途例如在半導體器件製造中的黃光製程中當顯影液去光阻液