极紫外辐射 极紫外辐射英語Extreme ultraviolet radiation又称极紫外光或高能紫外线辐射簡稱EUVXUV是波长在nm到nm之间的电磁辐射对应光子能量为eV到eV自然界中日冕会产生EUV人工EUV可由等离子源和同步辐射源得到主要用途包括光电子谱对日EUV成像望远镜及光微影技術等 EUV是最易被空气吸收的谱段因此其传输环境需高度真空