能量色散X射线谱 能量散射X射线谱Energydispersive Xray spectroscopy英文缩写有EDSEDXEDXS或XEDS有时也被称作能量散射X射线分析energy dispersive Xray analysisEDXA或能量散射X射线微量分析energy dispersive Xray microanalysisEDXMA是一种用于元素分析和化学表征的分析手段该手段通过收集X射线机或其他X射线源产生的X射线和样品相互作用时发出的X射线进行分析由于不同元素因原子结构不同而发射谱各异所以可以通过分析X射线谱分辨样品所含的不同成分 激发出样品的特征X射线一般需要能量很高的电子束质子束或X射线首先入射的电子或质子光子激发出基态原子的内层电子内层电子在离开原子后会留下空穴外层的处于较高能级的电子在填充这些低能级空穴的时候多余能量可能会以X射线形式放出能量散射X射线谱仪收集测量的就是这些X射线的能量和强度由于这些X射线的能量分布可以反映特定元素的原子特征能量散射X射线谱可被用于测定样品中的元素组成 载有Ru纳米颗粒催化剂的高角环形暗场像 利用EDS测得的Ru元素分布 利用EDS测得的全元素组成与分布