弹性反冲探测分析 弹性反冲探测分析技术Elastic Recoil Detection AnalysisERDA 也被称作前向反冲散射谱是一种离子束分析技术被用在材料科学中用以分析测量固体或薄膜材料中某种元素的深度分布 使用加速器将某一能量的离子束打到待测样品上离子与靶固体中的某种元素的原子发生弹性碰撞一般是由库仑力造成的通过入射离子的动能弹性碰撞反应截面散射离子损失的能量等参数可以检测待测原子在样品中不同深度的富集程度即不同深度处某种原子所占的比例