光罩護膜 光罩護膜Pellicle即表示是光罩上的膜或薄膜的意思結構為一薄膜展開在框架上以免於光罩受到微塵或揮發性氣體的汙染自年代後期即開始發展早期的保護膜大都使用硝化纖維素其波長在nm折射率約為厚度則 mm因為硝化纖維素在小於nm的波長有明顯的吸收能力所以KrF nmArF nm 的保護膜則使用非結晶之氟聚合物材質如鐵氟龍Cytop但是上述的兩個材料的折射率皆很低nm的折射率約為nm 則約因此很難找到效果良好的抗反射塗層因此單層薄膜在這些波長下是最常見的 抗反射塗層成份為氟化鈣或氟碳化合物通常會塗在保護膜的一側或兩側以提高透光率之用 在目前逐步踏入EUV的世代因為其波長僅有nm以往所使用的光罩護膜將會吸收此光源的波長然而據報導指出ASML是唯一成功開發出商用的EUV保護膜的製造商也在年與日本三井化學公司簽署EUV光罩護膜組裝技術的授權