乙二胺鄰苯二酚 乙二胺鄰苯二酚Ethylenediamine pyrocatecholEDP 也被稱為濕蝕刻溶液EPW是一種用於矽的非等向性蝕刻溶液典型的配方包括乙二胺鄰苯二酚吡嗪和水本品具有致癌性以及非常強的腐蝕性主要用於研究實驗室裡在主流半導體製程裡並無應用