材料表面工程 材料表面工程是材料科学的分学科它主要侧重于研究固体物质的表面它在化学机械工程电气工程特别是对于半导体制造方面都有应用 固体是由块体材料及覆盖其上的表面所组成的约束块状材料的表面称为表面相它作为界面将材料与周围环境隔开被表面覆盖的固体称为体相固体中的表面相会与周围环境产生相互作用这种相互作用随着时间的推移会恶化表面相环境随着时间的推移对表面相产生恶化的原因可能有磨损腐蚀疲劳和蠕变 材料表面工程的内容涉及改变表面相的性质以减少随着时间推移造成的恶化这是通过使表面适应于其所用的环境来实现的