5纳米制程 纳米制程是半导体制造制程的一个水準在半导体器件制造中國際器件和系統路線圖將納米工藝定義為繼納米之後MOSFET的又一技術節點商用納米製程基於具有FinFET鰭式場效應晶體管的多閘極電晶體MuGFET技術還有已得到證明的納米GAAFET環繞柵場效應晶體管技術但尚未商業化年月日由台積電製造的Apple A Bionic成為首個公開發表的纳米制程晶片