薄膜电阻 薄膜电阻sheet resistance又被称为方块电阻方阻是具有均匀厚度薄膜电阻的量度通常被用作评估半导体掺杂的效果使用这种概念的例子有半导体的掺杂领域比如硅或者多晶硅以及被丝网印刷到薄膜混合微电路基底上的电阻薄膜电阻的概念与电阻或者电阻率相对可直接用四端點測量技術测量法也称为四点探针测量法或范德堡法来测量 薄膜电阻用欧姆每平方 Ω  s q displaystyle Omega sq 来计量可被应用于将薄膜考虑为一个二维实体的二维系统它与三维系统下所用的电阻率的概念对等当使用到薄膜电阻一词的时候电流必须沿着薄膜平面流动而非与其垂直 对于常规三维导体电阻可写为 R  ρ L A  ρ L W t displaystyle Rrho frac LArho frac LWt 其中 ρ displaystyle rho  代表电阻率 A displaystyle A 代表截面面积而 L displaystyle L 代表长度截面面积可被分解为宽度 W displaystyle W 和薄膜厚度 t displaystyle t  当把电阻率和厚度放到一起时电阻可被记为 R  ρ t L W  R s L W displaystyle Rfrac rho tfrac LWRsfrac LW R s displaystyle Rs 即为薄膜电阻因为它被一个无量纲量所乘所以单位依然是欧姆而欧姆平方这一单位被使用是因为它给出了以欧姆为单位的从一个平方区域流向相对平方区域的电阻无论平方区域的大小如何对于正方情形 L  W displaystyle LW 因此对任意平方大小有 R  R s displaystyle RRs