埃弗哈特-索恩利探测器 埃弗哈特索恩利探测器EverhartThornley Detector或ET探测器是一类可以探测二次电子和背散射电子的传感器被用于扫描电子显微镜SEM中埃弗哈特索恩利探测器得名于其设计者托马斯E埃弗哈特和理查德FM索恩利他们在年发表的设计中把光管light pipe加入到真空腔外的光电倍增管以处理来自于SEM真空腔中闪烁体探测器的信号由此提升了二次电子探测器的效率此前埃弗哈特已经对弗拉基米尔佐利金和JA拉哈彻曼J A Rajchman设计的二次电子探测器做出改进将其中的电子倍增管改为光电倍增管包含光波导lightguide和高探测效率的光电倍增管的ET探测器已经成为了SEM中最常用的探测器 ET探测器位于样品腔中主要部分是一个包含在法拉第笼之中的闪烁体探测器对法拉第笼通入较低的正电压可以将能量较低 eV的电子吸引进入探测器其中主要是二次电子其他能量较高的电子则不会被这一电势所吸引而闪烁体探测器则被设置为极高的正电压以加速这些被吸入的电子并将其转变为光子光子进一步被闪烁体探测器中的金属层构成的镜面聚焦到光波导中这些光子最后通过光管被传输出真空腔然后进入光电倍增管进行放大 若去掉法拉第笼上的正电压或对法拉第笼施加一个负电压ET二次电子探测器还可以用于探测背散射电子但相比于运用ET探测器获得的背散射电子图像更高质量的背散射电子图像需要使用专门的背散射电子探测器来进行成像