甲硅烷 甲硅烷英語Silane也稱甲矽烷矽甲烷化学式为SiH是一种硅烷有时也被简称为硅烷勿混淆它的结构与甲烷类似只是用硅取代了甲烷中的碳在室温下硅烷是一种易燃的气体在空气中无需外加火源硅烷就可以自燃但是有学者认为硅烷本身是很稳定的在自然状态下是以聚合物的状态存在的在超过摄氏度的环境下硅烷会分解成硅和氢因此硅烷可以被用来以薄膜沉積提纯硅是半導體工業重要的特用電子級氣體之一 甲硅烷是在年由德国化学家海因里希布夫Heinrich Buff和弗里德里希維勒Friedrich Wöhler通过盐酸和硅化铝反应发现的