扫描隧道显微镜 扫描隧道显微鏡英語Scanning Tunneling Microscope缩写为STM是一种利用量子隧穿效应探测物质表面结构的仪器它于年由格尔德宾宁及海因里希罗雷尔在IBM位于瑞士苏黎世的苏黎世实验室发明两位发明者因此与电子显微鏡的发明者恩斯特鲁斯卡分享了年诺贝尔物理学奖 扫描隧道显微鏡技术是扫描探针显微术的一种基于对探针和表面之间的隧穿电流大小的探测可以观察表面上单原子级别的起伏此外扫描隧道显微鏡在低温下可以利用探针尖端精确操纵单个分子或原子因此它不仅是重要的微纳尺度测量工具又是颇具潜力的微纳加工工具