探針卡 探針卡英語Probe card是晶圓與电子测试系统之間的媒介探針卡通常直接放在探測器上並用接線連接測試機它的目的是提供晶片與測試機之間的連結並完成晶圓測試通常包印刷电路板和其他要件這種要件可能是金屬或其他材料 半導體製造商通常需要為不同種類的晶圓提供針對性的探針卡因為探針卡是一種採用通用模式的定制連接器為了測試DRAM和快閃記憶體這些焊盤通常由鋁製成其邊長為邊μm其他裝置可具有平墊或由銅銅合金或許多類型的焊料例如鉛錫錫銀等製成的凸塊或柱 探針卡在測試期間必須與焊盤或凸塊形成良好的電接觸當測試完成時探測卡根據測試結果分類晶圓並等待下一個測試 通常將探針卡插入晶片探测器中在此設備中操縱待測晶圓使得晶圓與探針卡能精確接觸測試機上一旦放入晶圓與探測卡探針中的相機將使用光學定位探針卡上的尖端以及和晶片上的標記焊盤利用這個資訊探針卡能精準對上焊盤