三氟氯硅烷 三氟氯硅烷是一种化学式为 SiClF 的气体它是由硅氟和氯组成的化合物它是甲硅烷的氢原子被氟和氯原子代替而成 它可由三氟化锑和四氯化硅反应制得六氟化二硅和氯气反应也能得到三氟氯硅烷但该反应会发生爆炸