扫描电子显微镜 扫描电子显微镜英語Scanning Electron Microscope缩写为SEM简称扫描电镜是一种通过用聚焦电子束扫描样品的表面来产生样品表面图像的电子显微镜 显微镜电子束通常以光栅扫描英语Raster scan图案扫描电子与样品中的原子相互作用产生包含关于样品的表面测绘学形貌和组成的信息的各种信号信号与光束的位置组合而产生图像扫描电子显微镜可以实现的分辨率优于纳米样品可以在高真空低真空湿条件用环境扫描电子显微镜以及宽范围的低温或高温下观察到 最常见的扫描电子显微镜模式是检测由电子束激发的原子发射的二次电子secondary electron可以检测的二次电子的数量取决于样品测绘学形貌以及其他因素通过扫描样品并使用特殊检测器收集被发射的二次电子创建了显示表面的形貌的图像它还可能产生样品表面的高分辨率图像且图像呈三维鉴定样品的表面结构