准分子激光 准分子激光excimer laserexciplex laser是一种紫外气态激光处于激发态的惰性气体和另一种气体惰性气体或卤素结合的混合气体形成的准分子向其基态跃迁时发射所产生的激光称为准分子激光 准分子激光属于低能量激光无热效应是方向性强波长纯度高输出功率大的脉冲激光光子能量波长范围为纳米脉冲时间为几十纳秒属于紫外光最常见的波长有 nm nm nm nm nm