二次离子质谱 二次离子质谱英語Secondary Ion Mass Spectroscopy SIMS是用来分析固体表面或者是薄膜的化学成分的技术其用一束聚焦的离子束溅射待测品表面并通过检测轰击出的二次离子的荷质比确定距表面深度纳米厚的薄层的元素同位素与分子的组成 它是用mXe等惰性气体电离产生重离子来轰击样品表面把打出试样的碎片连同轰击时弹射出去的原激发离子一同送入质谱计进行质量分离与检测最后得到质谱它的原理除了采用离子枪轰击激发以外其余与质谱仪完全相同SIMS一般采用四极质谱计因为它结构简单而且体积较小但是它检测的相对分子质量范围仅限于几千以下SIMS是一种非常灵敏的表面分析方法它在有机高分子分析方面的应用近年来获得迅速的发展现代的综合能谱仪上常附有SIMS的装置