ISFET 离子敏感场效应晶体管又称ISFET  英語ionsensitive fieldeffect transistor 是用于测量溶液中离子浓度的场效应晶体管 当离子浓度例如H 参见pH值 变化时流经晶体管的电流也会相应变化 在这里溶液被用作栅极 基板和氧化物表面之间的电压由于离子层而产生 它与MOSFET具有相同的基本结构是一种特殊类型的MOSFET 金属氧化物半导体场效应晶体管 但金属栅极被离子敏感膜  电解质溶液和参比电极代替 ISFET于年发明是第一款生物传感器FETBioFET PH值影响栅极材料的SiOH基团在水溶液中的界面 水解性 典型的栅极材料有 SiO SiN AlO 和 TaO 可以通过位点结合模型描述负责氧化物表面电荷的机理该模型描述了溶液中SiOH表面位点和H离子之间的平衡 覆盖氧化物表面例如SiO的羟基可以通过提供或接受质子而表现两性如在氧化物电解质界面发生的以下酸碱反应 SiOH  HO  SiO   HO SiOH  HO  SiOH  HO ISFET的源极和漏极的结构与MOSFET相同氢离子敏感膜通过对氢离子的选择透过以改变栅极电压即ISFET的阈值电压取决于与其离子敏感膜接触的物质的pH值