二甲基硅烷 二甲基硅烷是一种有机硅化合物化学式为CHSi是一种易燃物质它可由二氯硅烷和二甲基锌反应制得 S i C l  H        Z n  C H         S i  C H    H          C l Z n C H  displaystyle mathrm SiClH  ZnCH xrightarrow SiCHH   ClZnCH  它可以应用于化学气相沉积