氮化矽 氮化硅是由硅元素和氮元素构成的化合物在氮气气氛下将单质硅的粉末加热到C之间硅粉末样品的重量随着硅单质与氮气的反应递增在没有铁催化剂的情况下约个小时后硅粉样品的重量不再增加此时反应完成生成SiN除了SiN外还有其他几种硅的氮化物根据氮化程度和硅的氧化态所确定的相对应化学式也已被文献所报道比如气态的一氮化二硅SiN一氮化硅SiN和三氮化二硅SiN这些化合物的高温合成方法取决于不同的反应条件比如反应时间温度起始原料包括反应物和反应容器的材料以及纯化的方法 SiN是硅的氮化物中化学性质最为稳定的仅能被稀的HF和热的HPO分解也是所有硅的氮化物中热力学最稳定的所以一般提及氮化硅时其所指的就是SiN它也是硅的氮化物中最重要的化合物商品 在很宽的温度范围内氮化硅都是一种具有一定的热导率低热膨胀系数弹性模量较高的高强度硬陶瓷不同于一般的陶瓷它的断裂韧性高这些性质结合起来使它具有优秀的耐热冲击性能能够在高温下承受高结构载荷并具备优异的耐磨损性能常用于需要高耐用性和高温环境下的用途诸如气轮机汽车引擎零件轴承和金属切割加工零件美国国家航空航天局的航天飞机就是用氮化硅制造的主引擎轴承氮化硅薄膜是硅基半导体常用的绝缘层由氮化硅制作的悬臂是原子力显微镜的传感部件