电子束诱导沉积 电子束诱导沉积Electron beaminduced depositionEBID是一种使用电子束分解气相分子从而在衬底上的特定位置实现沉积生长的技术 电子束诱导沉积实验中的电子束常常由扫描电子显微镜提供这是因为扫描电子显微镜的电子束具有极高的空间精准度可达纳米级别这也使得电子束诱导沉积具有生长出独立三维结构的潜能