硅酸铪 硅酸铪是铪的硅酸盐化学式HfSiO 在现代半导体元件中可以使用由原子层沉积化学气相沉积或MOCVD生长的硅酸铪和硅酸锆薄膜作为高κ电介质替换二氧化钛二氧化铪中的硅增大了能隙同时降低相对电容率此外它还提高了非晶膜的结晶化温度并进一步增强了材料在高温下与硅的热稳定性有时会向硅酸铪中加入氮以提高热稳定性和设备的电性能