透射电子显微镜 透射电子显微镜英語Transmission electron microscope縮寫TEMCTEM简称透射电镜是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上电子与样品中的原子碰撞而改变方向从而产生立体角散射散射角的大小与样品的密度厚度相关因此可以形成明暗不同的影像影像将在放大聚焦后在成像器件如荧光屏胶片以及感光耦合组件上显示出来 由于电子的德布罗意波长非常短透射电子显微镜的分辨率比光学显微镜高的很多可以达到 nm放大倍数为几万百万倍因此使用透射电子显微镜可以用于观察样品的精细结构甚至可以用于观察仅仅一列原子的结构比光学显微镜所能够观察到的最小的结构小数千倍TEM在物理学和生物学等相关的许多科学领域中都是重要的分析方法如癌症研究病毒学材料科学以及纳米技术半导体研究等等 在放大倍数较低的时候TEM成像的对比度主要是由于材料不同的厚度和成分造成对电子的吸收不同而造成的而当放大率倍数较高的时候复杂的波动作用会造成成像的亮度的不同因此需要专业知识来对所得到的像进行分析通过使用TEM不同的模式可以通过物质的化学特性晶体方向电子结构样品造成的电子相移以及通常的对电子吸收对样品成像 第一台TEM由马克斯克诺尔英语Max Knoll和恩斯特鲁斯卡在年研制这个研究團隊于年研制了第一台分辨率超过可见光的TEM而第一台商用TEM于年研制成功