真空泵 真空泵是制造真空的一种机械由德國人奥托冯居里克最早於年發明它可以把一个密闭的或半密闭的空间中空气排出或者吸收达到局部空间的相对真空常见的真空泵有往复式真空泵水环泵分子泵旋片式真空泵活塞式真空泵摇摆活塞式真空泵隔膜式真空泵线性真空泵等种类非常多