微机电系统 微机电系统英語Microelectromechanical Systems縮寫為 MEMS是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术它的操作范围在微米尺度内微机电系统由尺寸为至微米至毫米的部件组成一般微机电裝置的通常尺寸在微米到一毫米之间微机电系统在日本称微机械micromachines在欧洲称微系统技術Micro Systems TechnologyMST 比微机电系统更小在纳米范围的类似技术称为纳机电系统nanoelectromechanical systemsNEMS 微机电系统与分子纳米技术英语Molecular nanotechnology或分子电子学的超前概念不同它们内部通常包含一个微处理器和若干获取外界信息的微型传感器相比大尺寸的机械装置由于MEMS的大表面积与体积比MEMS在设计时需要考虑环境电磁作用例如静电荷和磁矩和流体动力学例如表面张力和粘度 MEMS技术与分子纳米技术或分子电子学的区别在于后者还必须考虑表面化学 微机电系统的實現得力於用来制造电子裝置的半导体加工技术並加以改造使微机电系统可以应用到实际上這些加工方式包含了微米等級的模塑成型molding鍍層plating湿法刻蚀氢氧化钾四甲基氢氧化铵和乾法刻蚀RIE和DRIE电火花加工EDM和其他一些能够制造微小型裝置的加工方式 微機電系統應用的一個知名實例是在蘋果公司的手提通訊裝置中該公司較新的手機用MEMS振盪器取代以往的石英晶體振盪器產生時脈訊號但由於氦原子會滲入MEMS積體電路的封裝內改變MEMS振盪電路的工作情況因此使氦氣影響了iPhoneApple Watch和iPad等設備的使用以致用戶處於不知覺氦氣洩漏環境的時候手機失效直到離開氦氣洩漏環境一段時間氦氣消散後才恢復此事經媒體報導後廣為人知