超音波掃瞄顯微鏡 超音波掃瞄顯微鏡scanning acoustic microscopeSAM又称超声波扫描断层成像scanning acoustic tomographySAT是一种使用聚焦声音来研究测量或成像物体的设备檢測基本原理為利用超音波發射源Probe透過純水為介質而傳導到待測試片上經由超音波的反射或穿透等的作用將此訊號經機台特定軟體處理成像常用于失效分析和无损检测SAM在半导体行业检测微电子封装内的空隙裂纹和分层方面非常有用此外SAM也在生物和医学研究中得到应用