四乙氧基矽烷 四乙氧基矽烷英語tetraethoxysilane经常缩写为TEOS是一種化合物常态下为液体其化學式為SiOCH四乙氧基硅烷分子可以认为是原硅酸根SiO与个乙基相连也即正硅酸的乙基酯虽然原硅酸根离子在溶液中并不存在故得名正硅酸四乙酯tetraethyl orthosilicate也缩写为TEOS其硅酸根部分呈正四面体结构该分子还可以看做是硅的乙醇盐