六甲基环三硅氮烷 六甲基环三硅氮烷简称HMCTS或HMCTSZN是一种有机化合物化学式 C H N Si  或SiCH  NH 这个分子里面有由三个硅原子和三个氮原子交替排列而成的六元环每个硅原子都连接两个甲基氮原子则连接氢原子它也可以看作是假想化合物环三硅氮烷 SiH NH 的衍生物或是假想化合物二甲基硅氮烷 CH  SiNH的三聚体 六甲基环三硅氮烷在室温下是无色清澈液体 由于其在半导体工业中的应用六甲基环三硅氮烷作为氮化硅和碳氮化硅沉积的前体已被广泛研究并作为光刻胶中的添加剂也有人建议将其作为二氧化硅的添加剂用于色谱法