殘餘應力 殘餘應力是指固體材料在產生應力的主要來源去除之後材料中仍存在的應力殘餘應力可能是希望出現的特性也可能是不希望出現的特性例如雷射强化英语laser peening就可以在金屬材料如發動機風扇葉片加入很深且對應用有益的壓縮應力也用在強化玻璃上可以做為智能手机的玻璃顯示幕又大又薄且有抗裂和抗劃傷等性質不過在結構中不希望出現的殘餘應力可能會使結構提早失效 產生殘餘應力的機制有許多種包括非彈性塑性變形溫度循環下的溫度梯度或是結構變化相變像焊接產生的熱會造成局部的膨脹可能是因為熔化的焊料或是被焊接的工件當焊件冷卻後有些部份可能會比其他部份冷卻的更快就會造成殘餘應力像半导体器件制造及微机电系统也可能會造成殘餘應力不同熱力質特性和結晶特性的薄膜材料在不同的製程條件下沈積時就可能會有殘餘應力薄膜材料堆疊的應力變化非常複雜可能有些層是壓縮應力有些層就變成伸張應力