电感耦合等离子体质谱法 电感耦合等离子体质谱法英語Inductively coupled plasma mass spectrometry簡稱ICPMS拥有高的分析灵敏度和动态范围可以分析樣本中的同位素组成該法可測定的原子量範圍為至從鋰至鈾有時甚至更高不過由於一般电感耦合等离子体都用氬做為载气因此部分特定質量數之同位素之測定不適用於本法例如氬原子氬二聚體和氬氧離子等