光罩檢測 在微技術領域中光罩檢測英語mask inspection是檢查光罩製作正確性的操作技術用於定位光罩缺陷的是高級自動化系統如掃描電子顯微鏡等光罩檢測一詞也可能非正式地指稱真正寫入光罩前的光罩資料檢測mask data inspection