乙矽烷 乙矽烷英語Disilane又稱矽乙烷是一種有毒的化合物分子式為SiH在室溫下为气態它的性質與乙烷很類似都是無色易燃的氣體但是它的矽矽鍵比乙烷的碳碳鍵還來的弱因此比乙烷還不穩定乙矽烷通常是氫很好的來源只要經過簡單的化學反應就可以得到氫另外它也可以用來以薄膜沉積製備純矽是半導體工業重要的特用電子級氣體之一