六氟化钨 六氟化钨为氟与钨形成的无机化合物化学式WF它是无色有毒具腐蚀性的气体密度约为 gL是空气密度的约倍也是密度最大的气体之一半导体器件制造行业通常用WF的化学气相沉积来形成钨膜这一层膜用于低电阻率的金属互联它是十七种已知的二元六氟化物之一