原子层沉积 原子层沉积英文Atomic layer deposition是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法原子层沉积与普通的化学沉积化学气相沉积有相似之处但在原子层沉积过程中新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的这种方式使每次反应只沉积一层原子原子层沉积的主要反应物有两种化学物质通常被称作前驱物前驱产物和材料表面发生连续的自限性的反应薄膜通过分别和不同的前驱产物进行反应缓慢沉积原子层沉积是关键的半导体设备装配方法也可以成为一些纳米材料合成方法中的一环