65纳米制程 纳米制程是半导体制造制程的一个技術水平至年英特尔AMDIBM聯華電子特许半导体和台积电等公司已有能力进行纳米制程的量產 当制程进入纳米之时用于进行光刻的光的波长是纳米和纳米具有低于光波波长的制造厂要求使用一些特殊技术比如光学邻近校正和相位移掩膜板技术此外英寸晶圓在此制程開始成为主流