重氮萘醌 重氮萘醌英語diazonaphthoquinone是萘醌的重氮衍生物 一旦曝光它将经历沃尔夫重排反应以形成烯酮在半导体行业中各种重氮萘醌的衍生物可被用作光刻胶的感光劑 在半导体制造的過程中重氮萘醌的磺酸酯通常會用作光刻胶材料中的正性感光劑在这种应用中重氮萘醌會與酚醛树脂混合以作为溶解抑制剂在曝光的过程中部分光刻胶膜會暴露在光线下而其他部分則不會在未曝光的區域裡含有重氮萘醌的光刻胶膜仍然會不溶于水基顯影液中 而在曝光的區域裡重氮萘醌會形成烯酮由此再与环境中的水形成可溶於鹼的茚並羧酸光刻胶膜中已曝光的區域因而可溶于鹼性溶劑從而將光刻膠層中的圖形顯現出來