氟甲烷 氟甲烷也稱為甲基氟氟利昂HFC其化學式為CHF在常溫常壓下是無毒可液化的可燃氣體是甲烷的一氟取代物氟甲烷用在半導體及電子產品的製程中在射频场下氟甲烷會溶解氟離子可選擇性的蝕刻矽化合物的薄膜即反应离子刻蚀