卢瑟福背散射 卢瑟福背散射分析或卢瑟福背散射谱学Rutherford Backscattering SpectrometryRBS有时候被称为高能离子散射谱学HighEnergy Ion ScatteringHEIS是一种离子束分析技术被用在材料科学中用以分析测量材料的结构和组成通过将一束确定能量的高能离子束通常是质子或α粒子打到待分析材料上检测背向反射的离子的能量即可确定靶原子的种类浓度和深度分布 卢瑟福背散射分析的基本原理详见卢瑟福散射