国际半导体技术发展蓝图 國際半導體技術發展路線圖International Technology Roadmap for Semiconductors縮寫為 ITRS是由世界上五個主要的半導體製造國家的相關協會所資助的組織這些組織包括台灣韓國日本美國和歐洲的半導體行業協會 許多半導體產業專家組成工作小組每年進行數次討論並提出一些報告與文檔以期積體電路與其應用的相關產業能更有成本效益的健全發展 該路線圖文件含有免責聲明ITRS的設計僅用於技術評估並不考慮與單個產品或設備有關的任何商業應用 這些文件代表了以下技術領域對未來約年的研究方向和時間表的最佳意見 系統驅動程式設計 測試設備 前段製程英语Front end of line 流程集成設備和結構 射頻和模擬混合訊號技術 微機電系統 MEMS 光刻 IC互連 工廠整合 組裝與包裝 環境安全與健康 可製造性設計 計量學 建模和模擬 新興研究設備 新興研究資料 截至年國際半導體技術發展藍圖ITRS不再更新它的繼任者是國際設備和系統路線圖英语International Roadmap for Devices and SystemsIRDS從而全面地反應各種系統級新技術