橢圓偏振技術 橢圓偏振技術ellipsometry是一種多功能和強大的光學技術可用以取得薄膜的介電性質複數折射率或介電常數它已被應用在許多不同的領域從基礎研究到工業應用如半導體物理研究微電子學和生物學橢圓偏振是一個很敏感的薄膜性質測量技術且具有非破壞性和非接觸之優點 分析自樣品反射之偏振光的改變橢圓偏振技術可得到膜厚比探測光本身波長更短的薄膜資訊小至一個單原子層甚至更小橢圓儀可測得複數折射率或介電函數張量可以此獲得基本的物理參數並且這與各種樣品的性質包括形態晶體質量化學成分或導電性有所關聯它常被用來鑑定單層或多層堆疊的薄膜厚度可量測厚度由數埃Angstrom或數奈米到幾微米皆有極佳的準確性 之所以命名為橢圓偏振是因為一般大部分的偏振多是橢圓的此技術已發展近百年現在已有許多標準化的應用然而橢圓偏振技術對於在其他學科如生物學和醫學領域引起研究人員的興趣並帶來新的挑戰例如以此測量不穩定的液體表面和顯微成像