液晶覆硅 液晶覆硅又稱矽基液晶或單晶矽反射式液晶英文Liquid Crystal On Silicon縮寫LCoS是反射式液晶投影機與背投影電視的關鍵技術之一這類應用是利用光的強度另外一類應用是使用光的相位主要是如空間光相調製器這類的應用有幾大類研究與應用的範圍如光通訊裡的波長選擇交換器WSS全象投影顯示全象式資料儲存生醫與醫工方面的應用工業用與精密儀器類應用 液晶覆硅最大優點在於可大幅降低液晶顯示面板生產成本且有相當程度的解析度與一般薄膜電晶體液晶顯示器TFTLCD面板不同的是TFTLCD上下二面都以玻璃作為基板液晶覆硅僅有上面採用玻璃底下的基板是以半導體材料矽為主因此LCOS製程其實是結合液晶顯示器LCD與互補式金屬氧化物半導體CMOS製程的技術