俄歇电子能谱学 俄歇电子能谱学Auger electron spectroscopy簡稱AES是一种表面科学和材料科学的分析技术因此技術主要藉由俄歇效應進行分析而命名之產生於受激發的原子的外層電子跳至低能階所放出的能量被其他外層電子吸收而使後者逃脫離開原子這一連串事件稱為俄歇效應而逃脫出來的電子稱為俄歇電子年俄歇电子能谱逐漸開始被實際應用於鑑定樣品表面的化學性質及組成的分析其特點是俄歇電子來自淺層表面僅帶出表面的資訊並且其能譜的能量位置固定容易分析