軟微影技術 軟微影技術soft lithography又稱軟微影製程可撓性奈米轉印軟蝕刻技術或軟光刻技術是一種用軟性高分子材質做成的可撓性刻印的模具在模具上面塗佈具有自我組合性能的單元分子SAM SelfAssembly Monomer後像印章一樣在鍍金的薄膜基板上微壓把奈米圖形模子上面凸出部分的自我組合性能的單元分子SAM像油墨一樣的印在金薄膜上