扫描透射电子显微镜 扫描透射电子显微镜英語Scanning transmission electron microscope縮寫為STEM是利用电磁透镜把电子束会聚成非常小的束斑在薄样品上进行逐点扫描并利用探测器收集透过样品的散射电子进行成像的一种显微镜技术其为透射电子显微镜TEM的一种与传统TEM的区别在于STEM的电子束被汇聚得非常细束斑大小一般为 nm然后该光斑在光栅照明系统下扫描样品使得样品在每个点都被平行于光轴的光束照亮因此可与环形暗场成像ADF能量色散X射线光谱EDX或电子能量损失谱EELS等分析技术进行联用 一个典型的STEM是在传统TEM基础上配备了额外的扫描线圈检测器以及相关电路系统使得其可在STEM与TEM两种模式间进行切换当然也有一些专用于STEM的电子显微镜 STEM可获高分辨率的图像但这需要稳定的外部环境外部振动温度波动声波以及电磁波都会干扰高分辨率图像的获得