氟三氯硅烷 氟三氯硅烷是一种无机化合物化学式为SiClF它可由四氯化硅和三氟化锑在五氯化锑或氯气的催化下反应得到该反应也会产生硅的其它氟氯化物四氯化硅和氟化铵长时间回流也有氟三氯硅烷生成反应的另一产物是四氟化硅它可以和二甲胺反应得到三二甲氨基氟化硅