短沟道效应 短沟道效应英語shortchannel effects是当金属氧化物半导体场效应管的导电沟道长度降低到十几纳米甚至几纳米量级时晶体管出现的一些效应这些效应主要包括阈值电压随着沟道长度降低而降低漏致势垒降低英语Draininduced barrier lowering载流子表面散射速度饱和英语Saturation velocity离子化和热电子效应