風機過濾機組 風機過濾機組英文 Fan Filter Unit簡稱 FFU是一種結合送風機與高效濾網HEPAULPA氣流循環與過濾之無塵室潔淨設備主要是用來過濾來自作業場所空氣中所存在有害空氣中的粉塵顆粒提供潔淨之空氣FFU的無塵室大致可分層流型laminar與紊流型turbulent無塵室兩大類層流型都在Class 以下而紊流型無塵室則是在Class 以上主要安裝於無塵室天花板上及機台上方或網格地板內安裝此設備提供無塵室與機台所需之氣流循環與空氣濾淨在台灣使用此設備大致採送風式居多 設備之使用環境大多為半導體電子資訊航太製藥生物工程醫療食品實驗室等高產業領域而這些領域之生產環境皆具備嚴苛的高要求FFU之經常使用由於在空間中有一定高度限制設置較小的內部地板尺寸的唯一系統此外若涉及小於的過濾器時則風扇供電HEPAFFU之設計往往被認為是可比傳統的管道式供給系統來得更便宜