130纳米制程 纳米制程又稱微米製程是半导体制造制程的一个水平大约于年至年左右达成 这一制程由当时领先的半导体公司如英特尔德州仪器IBM和台積電所完成 一些CPU最初是由这个制程所制造其中包括英特尔奔腾III Tualatin处理器这是第一个沟道长度小于用于光刻的光的波长的制程