薄膜電晶體 薄膜電晶體英语ThinFilm Transistor缩写TFT是場效應電晶體的種類之一大略的製作方式是在基板上沉積各種不同的薄膜如半導體主動層介電質和金屬電極層 TFT是在基板如是應用在液晶顯示器則基板大多使用玻璃上沉積一層薄膜當做通道區 大部份的TFT是使用氫化非晶矽aSiH當主要材料因為它的能階小於單晶矽Eg  eV也因為使用aSiH當主要材料所以TFT大多不是透明的另外TFT常在介電電極及內部接線使用銦錫氧化物ITOITO則是透明的材料 因為TFT基板不能承受高的退火溫度所以全部的沉積製程必須在相對低溫下進行如化學氣相沉積物理氣相沉積大多使用濺鍍技術都是常使用的沉積製程如要製作透明的TFT第一個被研究出來的方法是使用氧化鋅材料此項技術由俄勒岡州立大學的研究員於年時發表 常用的透明TFT半導體材料多爲金屬氧化物除了ZnO之外還有IGZO等但是這些金屬氧化物多爲n型半導體材料 很多人都知道薄膜電晶體主要的應用是TFT LCD液晶顯示器技術的一種電晶體被作在面板裡這樣可以減少各像素間的互相干擾並增畫面穩定度大略是從年開始大部份便宜的彩色LCD螢幕都是使用TFT技術的連在乳腺和癌症Xray檢查的數位Xray攝影技術上也很常使用TFT面板 TFT LCD 是有源矩阵类型液晶显示器AMLCD中的一种TFT 页面存档备份存于互联网档案馆的显示采用背透式照射方式通过在TFT的背部设置背光源光源照射时通过TFT LCD 的下偏光板向上透出通过上下夹层的电极改成FET电极和共通电极在FET电极导通时液晶分子的表现也会发生改变可以通过遮光和透光来达到TFT LCD显示的目的 新的AMOLED主動陣列OLED螢幕也內建了TFT層