中国科学院上海微系统与信息技术研究所

中国科学院上海微系统与信息技术研究所（英語：Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences），简称上海微系统所，是中华人民共和国一家主要关注半导体材料和器件、集成电路、超导等领域的专业研究机构，是中国科学院直属正局级单位，其前身为1928年正式创立于上海的国立中央研究院工程研究所。中国科学院“率先行动”计划将上海微系统与信息技术研究所定位为卓越创新中心。 上海微系统与信息技术研究所现有中国科学院院士2人、美国国家科学院院士1人，正高级科技人员105人。 1927年11月20日，蔡元培主持召开中央研究院筹备会议，会议通过了《中华民国大学院中央研究院组织条例》并决定优先筹备设立理化实业研究所等四个研究机构。理化实业研究所分为物理组、化学组和工程组，主要关注基础科学研究，但也包括实用的工程学。1928年6月9日，中央研究院第一次院务会议在上海召开，蔡元培宣布中央研究院正式成立。院务会议之后不到一个月，理化实业研究所筹备工作即宣告完成。事实上，理化实业研究所正式成立之时就分为物理、化学和工程三个研究所，由周仁出任工程研究所所长。起初三个研究所合设于上海市霞飞路899号办公，后又一同搬至白利南路理工实验馆。抗日战争期间，工程研究所迁往昆明。1945年更名为国立中央研究院工学研究所。1946年，工学研究所返回上海理工实验馆开展工作，钢铁研究部分留在昆明成为工作站。 中国共产党取得政权后，中国科学院开始接收中央研究院工学研究所。1950年，中央研究院工学研究所改组为中国科学院工学实验馆，是中国科学院最初的15个研究所之一。1953年，改名中国科学院冶金陶瓷研究所。1955年开始筹建长沙分所，后独立为中国科学院矿冶研究所。1959年陶瓷部分调出成为中国科学院硅酸盐化学与工学研究所，研究所更名为中国科学院冶金研究所，昆明工作站独立为中国科学院昆明冶金陶瓷研究所。 1966年毛泽东发动文化大革命后，国防工业的科研、生产、建设等各方面也受到严重影响而趋于瘫痪。聂荣臻于1967年先后向中共中央提交了《关于军事接管和调整改组国防科研机构的请示报告》和《关于国防科研体制调整改组方案的报告》。根据批复，国防科委提供具体的调整和改组方案，次年1月份开始执行。1968年，冶金研究所正式划归国防科委，改名“国防科委十六研究院第三研究所”[來源請求]。1970年，研究所复归科学院，定名中国科学院上海冶金研究所。 2001年，研究所改名中国科学院上海微系统与信息技术研究所。 中华民国大陆时期，工学研究所主要关注冶金、陶瓷和玻璃等领域。1960年代初考虑到冶金工业部已经逐步具备科研能力，研究所开始将研究方向拓展到半导体材料和集成电路等领域。研究所设有传感技术联合国家重点实验室、信息功能材料国家重点实验室、中国科学院太赫兹固态技术重点实验室、中国科学院无线传感网与通信重点实验室等研究机构。 上海微系统与信息技术研究所是中华人民共和国国务院批准的首批博士硕士学位授予单位之一，包括电子科学与技术、信息与通信工程两个一级学科博士硕士培养点和材料物理化学二级学科博士硕士培养点。 铀扩散分离膜（吴自良等） 高速、超高速双极型数字集成电路 周仁（1927年-1973年） 邹元燨（1978年-1982年） 邹世昌（1983年-1997年） 江绵恒（1997年-2002年） 封松林（2002年-2010年） 王曦（2010年-2019年） （2019年-2021年由副所长谢晓明主持工作） 谢晓明（2021年-） 中国科学院上海硅酸盐研究所 中国科学院微小卫星创新研究院 官方主页（页面存档备份，存于互联网档案馆） 微系统由信息获取、信息存储处理和信息执行等部分组成。 实验室的管理机构和南方基地设于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，北方基地设于中国科学院电子学研究所。此外，实验室还有四个专业点。 中国科学院上海微系统与信息技术研究所. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所2024年部门预算 (PDF). 中国科学院上海微系统与信息技术研究所. 2024 [2023-07-25] （中文）. 我单位2024年收支总预算268,655.00万元。  中国科学院上海微系统与信息技术研究所. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所2023年部门预算 (PDF). 中国科学院上海微系统与信息技术研究所. 2023 [2023-11-05]. （原始内容存档 (PDF)于2023-11-05） （中文）. 我单位2023年收支总预算169595.87万元。  中国科学院上海微系统与信息技术研究所. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所2022年部门预算 (PDF). 中国科学院上海微系统与信息技术研究所. 2022 [2023-11-05]. （原始内容存档 (PDF)于2022-12-02） （中文）. 上海微系统所2022年收支总预算176,454.29万元。  中国科学院上海微系统与信息技术研究所. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所2021年部门预算 (PDF). 中国科学院上海微系统与信息技术研究所. 2021 [2021-09-11]. （原始内容存档 (PDF)于2021-09-11） （中文）. 上海微系统所2021年收支总预算124,110.52万元。  封松林; 王渭源; 王跃林. 微系统进展与我院微系统发展战略思考 2003 (1). 中国科学院院刊. 2003 [2020-01-31]. （原始内容存档于2021-06-09） （中文）. 现代信息系统或控制系统是由信息获取、信息存储、信息处理及信息执行等诸部分组成。  中国科学院物理研究所. 建所90周年 中国科学院物理研究所贺信. 2018-06-25 （中文）. 贵所在传感技术、信息功能材料、微系统技术等众多领域取得了一批丰硕成果并获得了多项国家级奖励，极大地推进了我国信息技术科学事业的发展。  缺少或|url=为空 (帮助); 使用|accessdate=需要含有|url= (帮助) 中国科学院上海有机化学研究所. 建所90周年 中国科学院上海有机化学研究所贺信. 2018-06-08 （中文）. 在冶金陶瓷、金属腐蚀与防护、半导体材料和器件、集成电路、微小卫星、信息通信等领域取得诸多重要成果，为国民经济建设、国家安全和社会进步事业做出了卓越贡献。  缺少或|url=为空 (帮助); 使用|accessdate=需要含有|url= (帮助) 中国科学院 “四类机构”. 中国科学院. [2019-03-24]. （原始内容存档于2019-02-01） （中文）.  中国科学院上海微系统与信息技术研究所 所况简介 研究所概况. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所. [2020-01-31]. （原始内容存档于2019-11-16） （中文）.  陶, 英慧. 蔡元培與中央研究院 （一九二七～一九四〇） (PDF). 中央研究院近代史研究所集刊. 1978, (7) [2020-01-05]. （原始内容存档 (PDF)于2021-10-07） （中文）. 十月，大学院院长蔡元培根据此条，着手筹备中研院，聘请学术界人士王希同、胡刚复、王璡、王世杰、周览（鲠生）等三十人，于十一月二十日召开中研院筹备会及各专门委员会联合成立大会，讨论该院组织大纲及筹备会进行方法。  追求卓越 中央研究院八十年 卷一 任重道远 全院篇 (PDF). 中央研究院. 2008 [2019-03-24]. ISBN 978-986014475-8. （原始内容存档 (PDF)于2019-03-24） （中文）. 蔡元培、杨杏佛和其他筹备委员都认为科学研究应该包括以下领域：（1）数学；（2）天文学与气象学；（3）物理学；（4）化学；（5）地质学与地理学；（6）生物科学；（7）人类学与考古学；（8）社会科学；（9）工程学；（10）农林学；（11）医学。但是限于经费，只能择要筹设研究机构。1927年年底，蔡元培和杨杏佛开始筹备理化实业研究所、地质调查所、社会科学研究所和观象台四个研究机构。  追求卓越 中央研究院八十年 卷一 任重道远 全院篇 (PDF). 中央研究院. 2008 [2019-03-24]. ISBN 978-986014475-8. （原始内容存档 (PDF)于2019-03-24） （中文）. 理化实业研究所以基础科学研究为主，但也包括实用的工程学，筹备委员在电学领域有王季同、温毓庆、李熙谋、张廷金等4人，化学领域有曾昭抡、赵燏黄、宋梧生、陈世璋、张乃燕、曹梁厦和吴承洛等7人，物理领域有丁燮林、颜任光和胡刚复3人，在工程学领域有周仁1人。  追求卓越 中央研究院八十年 卷一 任重道远 全院篇 (PDF). 中央研究院. 2008 [2019-03-24]. ISBN 978-986014475-8. （原始内容存档 (PDF)于2019年3月24日） （中文）. 有了五个研究机构以后，蔡元培和杨杏佛在1928年6月9日假上海东亚酒楼召开中央研究院的第一次院务会议，出席者有天文研究所所长高鲁、气象研究所所长竺可桢、社会科学学者陶孟和、地质研究所所长李四光和研究员徐渊摩、社会科学研究所所长杨端六和研究员周鲠生、理化实业研究所所长丁燮林（又名西林，伯明罕大学硕士）和研究员王季同以及宋梧生。在这第一次院务会议上，蔡元培宣布中央研究院正式成立，并将以「Academia Sinica」为名走向全世界。  国立中央研究院概况 中华民国十七年六月至三十七年六月. 国立中央研究院. 1948 [2020-01-27]. （原始内容存档于2019-02-02） （中文）. 本所成立于民国十七年三月。为理化实业研究所之工程组，由今所长周仁先生担任组主任。是年七月改组，自成一所。名为「国立中央研究院工程研究所。」周先生亦即改任所长。并接续连任以讫现在。  追求卓越 中央研究院八十年 卷一 任重道远 全院篇 (PDF). 中央研究院. 2008 [2019-03-24]. ISBN 978-986014475-8. （原始内容存档 (PDF)于2019-03-24） （中文）. 原来在南京的天文、气象、地质、历史语言和社会五所相继回到故址，而原来在上海的工学所也终于回到前法租界旧地，其余数学、物理、化学、动物、植物、心理和医学七个研究所则暂时栖身于上海。原来朱家骅已经知道无法将这些所安置在南京，所以抗战一告结束，他立即以教育部部长身分下令准由中央研究院接收日本人办的「上海自然科学研究所」和「北平人文学研究所」，因此回到上海的七个所不致流离失所。  国立中央研究院概况 中华民国十七年六月至三十七年六月. 国立中央研究院. 1948 [2020-01-27]. （原始内容存档于2019-02-02） （中文）. 留滇艰苦工作七年余，胜利欣传，奉命复员。因交通上之困难等关系，暂将研究钢铁所需之全份图书，仪器，及试验设备，以及其他重大机件等，留置昆明，继续进行钢铁及木材之研究工作。其余部分迁回上海。  姚, 蜀平. 中国科学院的诞生. 中国科学院院刊. 1989, (4) [2020-01-30]. （原始内容存档于2021-06-09） （中文）. 次年3月21日，中国科学院华东办事处成立，并接收了“中研”驻沪办事处及“两院”留沪各研究所。  本院滬區解放以來的概况. 科学通报. 1950, 1 (3) [2020-01-30] （中文）. 一九五〇年二月，李主委任本院办公厅副主任。三月二十一日宣布中国科学院正式接管。  聂力. 山高水长 回忆父亲聂荣臻. 上海文艺出版社. 2006. ISBN 978-753-213-120-4 （中文）. 3月11日，他向毛泽东、林彪、周恩来等中央常委、中央军委、中央“文革”小组送上了《关于军事接管和调整改组国防科研机构的报告》，报告中说：现在国防工业部的各研究院和中国科学院承担国防科研任务的各研究所，大多瘫痪，研究工作停顿，三线建设问题很多。这种状况十分不利，必须迅速改变。  使用|accessdate=需要含有|url= (帮助) 中共中央文献研究室 (编). 毛泽东年谱（一九四九－一九七六 第六卷）. 中央文献出版社. 2013. ISBN 978-750-733-992-5 （中文）. （1967年3月20日）同日 阅周恩来三月十八日关于对国防工业部门和国防科研院、所实行军管的报告，批示：“退总理照办。”周恩来的报告说：对国防工业各部门的研究院、所和科学院所属承担国防任务的各研究所，拟同意聂荣臻同志的意见，交国防科委实行军管。报告还说：国务院工交、财贸、农林、卫生各部门正遵照主席指示，分别进行排队，拟在工作瘫痪部门，亦实行军管，其办法如对国防工业各部。  使用|accessdate=需要含有|url= (帮助) 中共中央文献研究室 (编). 毛泽东年谱（一九四九－一九七六 第六卷）. 中央文献出版社. 2013. ISBN 978-750-733-992-5 （中文）. （1967年）10月25日 阅聂荣臻九月二十日关于国防科研体制调整改组方案的报告，批示：“聂荣臻同志：此件压了很久，今天看过，很好，照办。”报告提出：一、将中央批准接管的国防科研单位调整编组为若干个研究院。二、积极解决国防科研单位的试制加工力量，缩短研制周期。三、认真做好军管工作，有步骤地进行接管和调整，条件成熟一个就接管和组建一个，争取明年上半年基本上都组建起来。十一月九日，中共中央、国务院、中央军委、中央文革小组转发聂荣臻的报告。  使用|accessdate=需要含有|url= (帮助) 中国科学院 走进中国科学院 院史所史 编年史 1967. [2020-01-31]. （原始内容存档于2020-01-31） （中文）. 同年10月25日，毛泽东批示同意(因此称为“10·25” 批示)。改组方案内容涉及新技术局及其归口各单位要纳入国防部门的有关研究院。根据“10·25” 批示，国防科委体改办公室提出具体方案，并规定于1968年1月起开始执行。  中国科学院上海微系统与信息技术研究所 所况简介 历史沿革. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所. [2020-01-31]. （原始内容存档于2019-07-19） （中文）.  中国科学院 走进中国科学院 院史所史 编年史 1978. [2020-01-31]. （原始内容存档于2020-01-31） （中文）. 一是将“文革”中科学院下放给地方和产业部门，实行双重领导以地方为主或完全下放的科研机构收回，改为院直接领导或双重领导以院为主。  中国科学院. 关于中国科学院上海冶金研究所更名为中国科学院上海微系统和信息技术研究所的通知. 中国科学院 （中文）.  缺少或|url=为空 (帮助); 使用|accessdate=需要含有|url= (帮助) 本院所属各研究机构概况 1 (1). 科学通报. 1950 [2020-01-28] （中文）. 过去工作：偏重于冶金、陶瓷、玻璃、棉纺机等的研究。此外尚有金属电镀法及可塑体之制备等研究工作。  张帆; 肖宏广. 中国科学院科学传播局 , 编. 中国科学院年鉴（2019）. 科学出版社. 2019 [2020-01-27]. ISBN 978-703-062-574-8. （原始内容存档于2020-01-27） （中文）. 上海微系统所是国务院学位委员会批准的首批博士、硕士学位授予单位之一，设有电子科学与技术、信息与通信工程两个专业一级学科博士/硕士研究生培养点和材料物理化学专业二级学科博士/硕士研究生培养点，电子科学与技术、材料科学与工程两个专业一级学科博士后流动站，微电子学与固体电子学专业被列入中国科学院重点学科，与中国科学技术大学联合创办“吴自良超导英才班”。  张劲夫. 请历史记住他们——关于中国科学院与“两弹一星”的回忆. 人民日报. 1999-05-06 [2020-01-02]. （原始内容存档于2020-01-02） （中文）. 1960年，苏联单方面撕毁协议撤退专家。当时受影响最大的是浓缩铀厂，关键材料苏联不给了，整个厂就停顿了。最紧迫的关键技术问题有三个：第一是氟油。……第二是“真空阀门”。没有“真空阀门”，原子弹的气体原料就不能一步一步浓缩，然后把铀235浓缩起来。“真空阀门”的外援也断了。科学院的上海冶金陶瓷所，当时已经分成两个所：一个是冶金所，吴自良任副所长；一个是把陶瓷研究部分改为硅酸盐所，严东生任所长。还有沈阳金属研究所最强的科学家李薰、师昌绪，再有张沛霖副所长。我们科学院主要依靠上海冶金所、沈阳金属所已经先开展研究。在上海冶金所集中力量攻这个关，搞“真空阀门”。结果这个关攻破了！攻克这个项目，除科学院金属所、冶金所外，还有复旦大学、上海有条件的工厂等。这样，我们的浓缩铀厂才能生产。这时宋任穷调走了，刘杰同志当二机部部长。他一见我的面，双手紧紧地握着我的手说：“感谢你呀！我的工厂能生产了！”这项成果在原子弹爆炸成功以后得了特等奖。所幸的是，这些我们早就开展了研究，是钱三强出的题目，出题目很重要。  中国科学院上海微系统与信息技术研究所 所况简介 历任所长. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所. [2018-05-16]. （原始内容存档于2018-05-17） （中文）.  中共中国科学院党组. 中共中国科学院党组关于谢晓明等同志职务任免的通知 科发党任字〔2021〕29号. 中国科学院人事局. 2021-02-07 [2021-10-07]. （原始内容存档于2021-10-07） （中文）.