Mikroteknologi
Pada tahun 1960, para ilmuwan mencari tahu bagaimana cara menyusun sejumlah besar transistor dalam satu buah "chip". Chip ini kemudian dapat dibuat dalam sirkuit mikroelektronik yang secara dramatis dapat meningkatkan performa, fungsi, kemampuan, dan juga mengurangi biaya serta meningkatkan volume produksi. Teknologi ini banyak memicu pengembangan dalam revolusi informasi.
Yang terbaru, ilmuwan telah mengetahui bahwa tidak hanya alat elektronik, namun juga alat mekanis, bisa diminiaturisasi dan diberi tanda fabrikasi, memberikan harapan kepada dunia mekanika seperti yang telah diberikan teknologi sirkuit terintegrasi kepada dunia elektronik. Sementara elektronik menyediakan 'otak' untuk produk dan sistem terbaru, alat mikromekanik dapat menyediakan sensor dan aktuator-- mata dan telinga, tangan dan kaki.
Saat ini, alat mikromekanik yang ada komponen kunci berbagai inovasi produk seperti airbag, ink-jet printer, pemantau tekanan darah, dan sebagainya. Terlihat bahwa alat mikromekanik akan mudah menyebar sama seperti elektronik.
Sistem mikro elektromekanikal atau MEMS ("Micro Electro Mechanical System"), pertama kali disebut pada tahun 1980 untuk menjelaskan sistem mekanikal terbaru dan canggih pada chip, seperti motor mikroelektrik, resonator, roda gigi, dan sebagainya. Saat ini, istilah MEMS digunakan untuk merujuk pada alat mokroskopik dengan fungsi mekanikal yang bisa diproduksi secara massal (seperti contoh, susunan roda gigi mikroskopik yang
dipasang pada mikrochip dikatakan sebagai MEMS, namun generator laser mini tidak). Di Eropa, istilah MST (Micro System tehnology) lebih sering digunakan, dan di Jepang MEMS disebut dengan ""micromachine"". Perbedaan istilah-istilah tersebut sangatlah kecil.
Meski proses MEMS umumnya diklasifikasikan ke beberapa kategori, seperti permesinan, sesungguhnya terdapat ribuan proses MEMS yang berbeda. Beberapa melakukan proses geometri sederhana, sementara yang lainnya melakukan proses geometri 3-D yang rumit dengan banyak perubahannya. Sebuah perusahaan pembuat akselerometer untuk airbag akan membutuhkan desain dan proses yang sangat berbeda dibandingkan dengan pembuatan
akseleromter untuk navigasi internal. Perubahan dari akselerometer ke alat inersial lainnya seperti giroskop membutuhkan perubahan dalam desain dan proses yang lebih rumit lagi, juga fasilitas perakitan dan tim rekayasanya.
Teknologi MEMS telah menghasilkan sesuatu yang menakjubkan terkait fungsinya yang luas dalam bidang aplikasi yang cukup penting ketika bahkan MEMS tidak bisa menunjukkan performa dan kemampuan standar. Namun, pada zaman ketika segalanya harus berukuran lebih kecil, lebih cepat, dan lebih murah, MEMS menyediakan solusi yang mendesak. MEMS telah memiliki dampak yang cukup
mendalam pada aplikasi tertentu seperti sensor otomotif dan printer inkjet. Industri MEMS yang sedang berkembang adalah pasar bernilai miliaran dolar. Diperkirakan akan tumbuh dengan cepat dan akan menjadi industri utama pada abad ke 21. Mikroteknologi kadang-kadang dirakit menggunakan fotolitografi.
Gelombang cahaya difokuskan melalui suatu pelindung menuju ke permukaan. Gelombang cahaya akan memadatkan lapisan kimia. Bagian dari lapisan yang lembut dan tidak terekspos akan terbasuh, lalu asam akan membentuk bagian yang tidak terlindungi. Mikroteknologi yang paling terkenal dan sukses adalah sirkuit terintegrasi. Benda ini juga telah digunakan untuk membuat permesinan mikro.