James Clerk Maxwell
一貫性の概念は、19世紀中頃にケルヴィン卿ウィリアム・トムソンやジェームズ・クラーク・マクスウェルらによって発展し、によって奨励された。この概念はまず、1873年と1875年に、CGS単位系（メートル法）とFPS単位系（ヤード・ポンド法）に導入された。国際単位系（SI）は1960年に一貫性のある単位系として設計された。