砷化鎵
砷化鎵的毒性至今仍沒有被很完整的研究。因為它含有砷，經研究指出，砷是有毒的，也是一種致癌物質。但，因為砷化鎵的晶體很穩定，所以如果身體吸收了少量，其實是可以忽略的。當要做晶圓抛光製程（晶圓使表面微粒變小）時，表面的區域會和水起反應，釋放或分解出少許的砷。就環境、健康和安全等方面來看砷化鎵（就像是和砷）時，及有機金屬前驅物的工業衛生監控研究，都最近指出以上的觀點。