蛍光X線
内殻・外殻のエネルギー差は元素ごとに固有であり、そのため、蛍光X線のエネルギーも各元素に固有である。このことから、蛍光X線のエネルギーを実験的に求めることにより、測定試料を構成する元素の分析を行うことができる。また、その強度を測定することにより測定試料中の目的元素の濃度を求めることができる。