فلوريد الهيدروجين
يحضر المركب انطلاقاً من كلوريد الفوسفوريل بالتفاعل مع فلوريد الهيدروجين عند درجة حرارة مقدارها 65 °س باستخدام خماسي كلوريد الإثمد حفازاً للتفاعل.