威廉·肖克利
隧道二極體是日本物理學家江崎玲於奈在1958年8月時發明的，當時他任職於東京通訊工業株式會社（現在的索尼）。1973年時江崎玲於奈和布赖恩·约瑟夫森因為發現上述半導體中的量子穿隧效應而獲得諾貝爾物理獎。羅伯特·諾伊斯在為威廉·肖克利工作時也有有關隧道二極體的想法，但沒有繼續進行研究。