不活性気体
蒸発型ゲッターポンプの構造は、活性金属（通常はチタン）製のフィラメントと、水などで冷却されたケースからなる。フィラメントを加熱して蒸発させると、ケース内壁にチタンの清浄な膜を生成する。チタンは化学的に活性なため、水素・酸素・窒素・一酸化炭素もしくはその他の活性ガスを化学的に吸着し、結果的に真空度が上がる。イオンポンプと異なり、ヘリウム等の不活性気体は排気できない。また、構造上可動部分はないがフィラメントを蒸発させるため寿命がある。