فوق أكسيد الهيدروجين
تستخدم هذه الطريقة لتعقيم الأدوات الطبية شديدة التأثر بالحرارة والرطوبة. وقد استخدم غاز أكسيد الإيثلين منذ الخمسينات باعتباره أفضل الغازات المستخدمة في التعقيم تحت درجة حرارة منخفضة. ثم ظهر بعد ذلك عدة وسائل أخرى مثل فوق أكسيد الهيدروجين + بلازما الغاز والغمس في سائل مخفف من حمض البيراسيتيك.