Carbon dioxide
من الطرق الأخرى للتحضير أيضاً تفاعل التفكك الضوئي للأوزون المنحل في ثنائي أكسيد الكربون السائل، أو في مزيج من ثنائي أكسيد الكربون مع سداسي فلوريد الكبريت CO2/SF6 عند درجة حرارة