质谱法
原子质谱法与其他类型的由离子源、质量分析仪和检测器组成的质谱法相似。原子的种类由其离子的质荷比来（通过质量分析仪）确定，其浓度由检测到的离子数确定。虽然对原子离子源的质谱仪进行了大量的研究，但离子源质谱法与其他形式的质谱法差异最大。这些离子源还必须雾化样品，或者在电离之前必须进行雾化步骤。原子离子源通常是对原子光谱原子源的修饰。