이산화 탄소
탄화수소의 경우 플루오린화 수소가 함께 만들어진다. 이산화 탄소, 일산화 탄소, 포스젠 등을 사플루오린화 황으로 플루오린화해서 만들 수 있다. 상업적으로는 플루오린화 수소와를 다이클로로다이플루오로메테인 또는 클로로트라이플르오로메테인과 반응하여 제조한다. 탄소 전극을 사용하여 금속 플루오린화물 MF, MF2의 전기 분해할 때에도 생성된다.