单晶
使用TaCl5-BCl3-H2-Ar混合气体在540~800°C范围内时沉积硼化钽薄片。在源气流量比（BCl3/TaCl5）为6，温度在600°C以上时沉积TaB2（单晶）。在BCl3/TaCl5 = 2/4 ，温度在600-700°C时沉积TaB（单晶）。