محمد عطا
قام جان هورني بتطوير هذه العملية في مختبرات شركة فيرتشايلد لأشباه الموصلات سنة 1959، وذلك بعد قيام محمد محمد عطا الله وداون كانغ بتطوير تقانتي تخميل السطح والأكسدة الحرارية.